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컨덕턴스를 가변시킬 수 있는 유량조절유닛에 있어서, 양측에 연결관이 결합되는 하우징;상기 하우징 내부에 구비되어, 상기 하우징 내경을 가변시키는 컨덕턴스조절부; 및상기 컨덕턴스조절부를 구동시켜 유동되는 유체의 컨덕턴스를 조절하는 컨덕턴스조작부;를 포함하고,상기 하우징은, 관 형상의 몸체부와, 상기 몸체부의 중단에서 원주방향을 따라 외측으로 돌출된 가이드부를 갖고, 상기 컨덕턴스조작부는 상기 하우징의 외측에 형상맞춤되도록 내면에 가이드홈이 형성되며,상기 가이드부 일측에 내장되는 제1자성체와, 상기 컨덕턴스조작부에 내장되는 제2자성체를 포함하여, 상기 컨덕턴스조작부를 원주방향으로 이동시키면, 상기 제1자성체와 상기 제2자성체 사이에 작용하는 인력에 의해, 상기 제1자성체가 상기 가이드홈을 따라 이동되면서 상기 컨덕턴스조절부를 구동하여 상기 하우징 내부 단면적을 가변시키고,상기 컨덕턴스 조절부는, 상기 하우징 중앙단 내면에 고정설치되는 고정링과, 상기 고정링의 내측에 위치되는 구동링과, 상기 제1자성체가 장착되는 홀더와, 상기 홀더와 상기 구동링을 연결하는 작동바와, 상기 구동링이 구동됨에 따라 내외측으로 이동되어 상기 하우징 내부 단면적을 가변시키는 복수의 날개를 포함하는 것을 특징으로 하는 컨덕턴스 가변 기능을 갖는 유량조절유닛
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제 1항에 있어서, 상기 몸체부 외면 일측에 구비되어, 상기 컨덕턴스 조작부의 조작거리를 제한하는 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컨덕턴스 가변 기능을 갖는 유량조절유닛
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제 4항에 있어서, 가변되는 상기 하우징 내부 단면적 및 컨덕턴스 중 적어도 어느 하나를 표시하여 확인할 수 있도록 상기 몸체부 외면에 형성되는 인디케이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컨덕턴스 가변 기능을 갖는 유량조절유닛
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제 1항에 있어서, 상기 컨덕턴스는 하기 수학식 1에 의해 정의되는 것을 특징으로 하는 컨덕턴스 가변 기능을 갖는 유량조절유닛:[수학식 1]상기 수학식 1에서 T는 캘빈단위온도, M은 유체의 g/mol, A는 가변되는 하우징 내부 단면적이다
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제 1항 및 제4항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 따른 컨덕턴스 가변 기능을 갖는 유량조절유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공밸브
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진공도를 조절하기 위한 시스템에 있어서, 진공챔버;상기 진공챔버 내의 유체가 토출되는 흡입관;상기 흡입관 끝단에 구비되어 상기 진공챔버 내의 유체를 흡입시키기 위한 동력을 제공하는 흡입펌프; 및상기 흡입관 일측에 구비되어, 토출되는 상기 유체의 유량을 조절하는 제8항에 따른 진공밸브;를 포함하는 것을 특징으로 하는 컨덕턴스 가변 기능을 갖는 진공밸브를 이용한 진공도 조절시스템
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제 9항에 있어서, 상기 흡입관 일측에는 흡입개폐밸브가 구비되고,상기 진공챔버와 상기 흡입관 사이를 연결하는 유량조절관을 더 포함하고, 상기 진공밸브는 상기 유량조절관 일측에 구비되는 것을 특징으로 하는 컨덕턴스 가변 기능을 갖는 진공밸브를 이용한 진공도 조절시스템
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제 10항에 있어서, 상기 진공챔버 내로 유체를 유입시키는 유입관과, 상기 유입관 일측에 구비되는 유입개폐밸브; 및상기 진공챔버 내의 압력, 온도, 진공도를 실시간으로 측정하는 측정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컨덕턴스 가변 기능을 갖는 진공밸브를 이용한 진공도 조절시스템
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제 11항에 있어서, 상기 측정부에서 측정된 값을 기반으로 상기 유입개폐밸브, 상기 흡입개폐밸브, 상기 흡입펌프 및 상기 진공밸브를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컨덕턴스 가변 기능을 갖는 진공밸브를 이용한 진공도 조절시스템
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제 12항에 있어서, 상기 제어부는 상기 유입개폐밸브와 상기 흡입개폐밸브가 닫혀진 상태에서 상기 진공밸브의 컨덕턴스조작부를 구동시켜 유체의 컨덕턴스를 가변하여 상기 진공챔버 내의 진공도가 설정된 값이 되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 컨덕턴스 가변 기능을 갖는 진공밸브를 이용한 진공도 조절시스템
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제8항에 따른 진공밸브를 이용하여, 진공도를 조절하기 위한 방법에 있어서, 유입관 일측에 구비된 유입개폐밸브를 개방하여 진공챔버 내로 유체를 유입시키는 단계; 상기 유입개폐밸브를 닫고, 흡입관 일측에 구비된 흡입개폐밸브를 개방한 후, 흡입펌프를 가동하는 단계; 및상기 흡입개폐밸브를 닫고, 유량조절관 일측에 구비되는 컨덕턴스 가변 기능을 갖는 진공밸브를 통해 유체의 컨덕턴스를 가변시키면서 상기 진공챔버 내의 진공도를 조절하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 컨덕턴스 가변 기능을 갖는 진공밸브를 이용한 진공도 조절방법
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