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금속 박막 및 상기 금속 박막의 하면 또는 상면에 배치된 칼코겐 박막을 포함하는 금속 전구체 박막을 기판 상에 형성하는 것; 및 상기 금속 전구체 박막 상으로 칼코겐 소스를 제공하는 칼코겐화 공정을 수행하여 제 1 금속 칼코겐 화합물 박막을 형성하는 것을 포함하는 금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 금속 전구체 박막은 인 시츄(in-situ) 공정 또는 액스 시츄(ex-situ) 공정을 이용하여 형성되고,액스 시츄(ex-situ) 공정을 이용하여 형성된 상기 금속 전구체 박막은 공기에 노출됨으로써 부분적으로 산화되는 금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 2 항에 있어서,상기 금속 전그체 박막은 공기 노출로 인해 순수 금속막 및 부분적으로 산화된 금속막을 포함하는 금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 금속 전구체 박막은 상기 금속 박막의 하면에 배치된 제 1 칼코겐 박막 및 상기 금속 박막의 상면에 배치된 제 2 칼코겐 박막을 포함하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 칼코겐 박막은 황(S), 셀레늄(Se), 텔루륨(Te), 또는 이들의 혼합물을 포함하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 칼코겐 박막은 1개 내지 4개의 칼코겐 원자로 구성된 칼코겐 증기를 이용하여 증착되는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 금속 박막은 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 스트론튬 (Sr), 바나듐 (V), 망간 (Mn), 코발트 (Co), 니켈 (Ni), 구리 (Cu), 아연 (Zn), 카드뮴 (Cd), 팔라듐 (Pd), 레늄 (Re), 탄탈륨 (Ta), 니오븀 (Nb), 하프늄 (Hf), 갈륨 (Ga), 말루미늄 (Al), 인듐 (In), 주석 (Sn), 티타늄(Ti) 또는 이들의 합금 중에서 선택되는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 칼코겐 박막의 두께는 상기 금속 박막의 두께보다 얇은 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 금속 박막은 0
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 금속 칼코겐 화합물 박막은 0
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제 1 항에 있어서, 상기 칼코겐화 공정은 350℃ 내지 600℃ 온도 범위에서 수행되는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 칼코겐화 공정은 1개 내지 4개의 칼코겐 원자로 구성된 칼코겐 증기를 이용하여 증착되는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 칼코겐화 공정 후, 칼코겐화된 막을 약 500 ℃ 내지 700 ℃의 온도 범위에서 어닐링하는 단계를 더 포함하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
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금속 박막 및 상기 금속 박막의 상면 또는 하면에 배치된 칼코겐 박막을 포함하는 금속 전구체 박막을 기판 상에 형성하는 것; 상기 금속 전구체 박막 상으로 칼코겐 소스를 제공하는 칼코겐화 공정을 수행하여 제 1 금속 칼코겐 화합물 박막을 형성하는 것; 및 상기 제 1 금속 칼코겐 화합물 박막에 대해 광 어닐링 공정을 수행하여 제 2 금속 칼코겐 화합물 박막을 형성하는 것을 포함하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
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제 14 항에 있어서, 상기 광 어닐링 공정을 수행하기 전에, 상기 제 1 금속 칼코겐 화합물 박막 상에 투명 봉지막을 형성하는 것을 더 포함하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
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제 15 항에 있어서, 상기 투명 봉지막은 상기 광 어닐링 공정에서 광원의 에너지보다 큰 밴드 갭 에너지를 갖는 봉지 물질을 포함하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
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제 14 항에 있어서, 상기 광 어닐링 공정에 이용되는 광의 에너지 밀도는 30 mJ/cm2보다 크고 400 mJ/cm2보다 작은 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
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제 14 항에 있어서, 상기 광 어닐링 공정은 대기 중에서 수행되는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
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제 14 항에 있어서, 상기 광 어닐링 공정은 추가적인 가열 및 냉각을 하지 않고 실온에서 수행되는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
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제 14 항에 있어서, 상기 광 어닐링 공정은 상압 하에 수행되는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
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