| 1 |
1
금속 박막 및 상기 금속 박막의 하면 또는 상면에 배치된 칼코겐 박막을 포함하는 금속 전구체 박막을 기판 상에 형성하는 것; 및 상기 금속 전구체 박막 상으로 칼코겐 소스를 제공하는 칼코겐화 공정을 수행하여 제 1 금속 칼코겐 화합물 박막을 형성하는 것을 포함하는 금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 금속 전구체 박막은 상기 금속 박막의 하면에 배치된 제 1 칼코겐 박막 및 상기 금속 박막의 상면에 배치된 제 2 칼코겐 박막을 포함하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서, 상기 칼코겐 박막은 황(S), 셀레늄(Se), 또는 텔루륨(Te)을 포함하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서, 상기 금속 박막은 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 스트론튬 (Sr), 바나듐 (V), 망간 (Mn), 코발트 (Co), 니켈 (Ni), 구리 (Cu), 아연 (Zn), 카드뮴 (Cd), 팔라듐 (Pd), 레늄 (Re), 탄탈륨 (Ta), 니오븀 (Nb), 하프늄 (Hf), 갈륨 (Ga), 말루미늄 (Al), 인듐 (In), 주석 (Sn) 및 티타늄(Ti) 중에서 선택되는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서, 상기 칼코겐 박막의 두께는 상기 금속 박막의 두께보다 얇은 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
|
| 6 |
6
제 5 항에 있어서, 상기 금속 박막은 0
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 금속 칼코겐 화합물 박막은 0
|
| 8 |
8
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 금속 칼코겐 화합물 박막은 ±5% 이내의 두께 편차를 갖는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
|
| 9 |
9
제 1 항에 있어서, 상기 칼코겐화 공정은 350℃ 내지 600℃ 온도 범위에서 수행되는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
|
| 10 |
10
금속 박막 및 상기 금속 박막의 상면 또는 하면에 배치된 칼코겐 박막을 포함하는 금속 전구체 박막을 기판 상에 형성하는 것; 상기 금속 전구체 박막 상으로 칼코겐 소스를 제공하는 칼코겐화 공정을 수행하여 제 1 금속 칼코겐 화합물 박막을 형성하는 것; 및 상기 제 1 금속 칼코겐 화합물 박막에 대해 광 어닐링 공정을 수행하여 제 2 금속 칼코겐 화합물 박막을 형성하는 것을 포함하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
|
| 11 |
11
제 10 항에 있어서, 상기 광 어닐링 공정을 수행하기 전에, 상기 제 1 금속 칼코겐 화합물 박막 상에 투명 절연막을 형성하는 것을 더 포함하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
|
| 12 |
12
제 11 항에 있어서, 상기 투명 절연막은 상기 광 어닐링 공정에서 광원의 에너지보다 큰 밴드 갭 에너지를 갖는 절연 물질을 포함하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
|
| 13 |
13
제 10 항에 있어서, 상기 광 어닐링 공정은 30 mJ/cm2 내지 400 mJ/cm2 세기의 광을 사용하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
|
| 14 |
14
제 10 항에 있어서, 상기 광 어닐링 공정은 대기 중에서 수행되는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
|
| 15 |
15
제 10 항에 있어서, 상기 광 어닐링 공정은 가열하지 않고 실온에서 수행되는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
|
| 16 |
16
제 10 항에 있어서, 상기 광 어닐링 공정은 상압 하에 수행되는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
|
