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레이저빔을 조사하는 레이저부; 측정을 위한 기체가 포집되며 상기 레이저빔이 통과하는 측정 셀; 상기 측정 셀을 통과한 레이저빔이 집광되는 광검출부; 상기 레이저빔을 이용하여 분석을 수행하는 프로세서부; 및 상기 측정 셀의 주변을 감싸며, 일정한 온도의 열매체가 흐르는 재킷 형태의 열 교환부를 포함하는 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치에 있어서,상기 열매체는 물, 가스, 기름, 무기전열매체 중 적어도 하나 이상이고, 상기 열매체를 가열 또는 냉각하는 것은 열전소자를 포함하는 온도제어모듈이며,상기 온도제어모듈은 다수의 열전소자가 장착되어 있으며 상기 다수의 열전소자를 전기적으로 연결하는 도전패턴이 형성되어 있는 인쇄회로보드를 포함하는 열전소자모듈, 상기 다수의 열전소자의 상면 및 하면 세라믹패널과 접하는 상면 열교환기 및 하면 열교환기, 상기 상면 열교환기 및 상기 하면 열교환기를 고정하는 체결부재를 포함하고,상기 상면 또는 하면 열교환기는 일단의 단면에 형성된 열교환 유체 유입구 및 상기 열교환 유체 유입구와 동일한 단면에 형성된 열교환 유체 배출구; 상기 열교환 유체 유입구로부터 시작되어 열교환기 내부를 순환하여 상기 열교환 유체 배출구로 연결되는 내부 순환부를 포함하며, 상기 내부 순환부는 투입 유체와 배출 유체가 항상 향류로 쌍으로 배치되는 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치
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제1항에 있어서,상기 레이저부는 파장가변형 다이오드 레이저(Tunable Diode Laser) 또는 분포 궤환형 레이저(Distributed Feedback laser)인 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치
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제1항에 있어서,열 교환부가 없이 열전소자가 직접 측정 셀에 부착된 것인 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치
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제1항에 있어서,상기 미세먼지 전구물질은 NOx, SOx인 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치
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제1항에 있어서,상기 열매체의 흐름은 진동을 발생하지 않는 펌프에 의한 것인 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치
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제7항에 있어서,상기 펌프는 페리스탈틱 펌프인 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치
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레이저빔을 조사하는 레이저부; 측정을 위한 기체가 포집되며 상기 레이저빔이 통과하는 측정 셀; 상기 측정 셀을 통과한 레이저빔이 집광되는 광검출부; 상기 레이저빔을 이용하여 분석을 수행하는 프로세서부;를 포함하는 광학시스템을 이용한 제1항, 제2항, 제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치의 측정 셀 온도를 제어하는 방법에 있어서,일정한 온도의 열매체가 흐르는 재킷 형태의 열 교환부로 상기 측정 셀의 주변을 감싸며, 열전소자를 포함하는 온도제어모듈로 상기 열매체를 가열 또는 냉각하거나,상기 측정 셀에 열전소자가 직접 부착된 상태에서 상기 열전소자의 온도를 제어하는 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치의 측정 셀 온도를 제어하는 방법
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