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능면체 결정을 포함하고,하기 화학식 1로 표현되는 PZT계 박막:[화학식 1]Pb(ZrxTi1-x)O3상기 화학식 1에서, X는 0
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청구항 1에 있어서,Pb(Zr0
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청구항 1에 있어서,에너지 저장 밀도가 10 J/cm3 이상 15 J/cm3 이하인 것인 PZT계 박막
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청구항 1에 있어서,두께가 500 nm 이상 1,000 nm 이하인 것인 PZT계 박막
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청구항 1에 따른 PZT계 박막을 포함하는 커패시터
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청구항 5에 있어서,상기 PZT계 박막의 에너지 저장 밀도가 10 J/cm3 이상 15 J/cm3 이하인 커패시터
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7
납 전구체, 지르코늄 전구체 및 티타늄 전구체를 포함하는 전구체 용액을 준비하는 전구체 용액 준비단계;상기 전구체 용액을 기판 상에 도포하는 도포단계; 및상기 전구체 용액을 열처리하는 열처리단계;를 포함하고,상기 전구체 용액에 포함되는 티타늄 이온의 함량은 지르코늄 이온 및 티타늄 이온의 총 몰수에 대하여, 0
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청구항 7에 있어서,상기 열처리단계는 300 ℃ 이상 650 ℃ 이하의 온도에서 상기 전구체 용액을 열처리하는 것인 PZT계 박막의 제조 방법
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청구항 7에 있어서,상기 도포단계 및 상기 열처리단계를 교대로 2회 이상 반복하는 단계를 더 포함하는 것인 PZT계 박막의 제조 방법
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