| 1 |
1
통상의 용액성장장치에 포함되는 도가니의 일측에 구비되며, 도가니의 바닥면을 기준으로 상협하광의 관체형상을 이루고, 도가니에 고정결합되되, 상부 개구가 단결정 시드 방향으로 향하도록 고정결합되며,구조부재의 하단에서부터 상단까지의 높이가 용액의 깊이의 1/2 이상이고,도가니 내 용액의 상부루프가 하부루프보다 더 커지도록 구현되어, 하부루프에 비하여 종자와 더 가까운 상부루프로부터 탄소의 공급이 이루어져 종자에 대한 탄소공급량과 속도를 제고하는 것을 특징으로 하는 용액성장법에서 단결정 성장속도를 증가시키기 위한 도가니 내장형 구조부재
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 구조부재는 도가니의 바닥면에 고정결합되는 것을 특징으로 하는 용액성장법에서 단결정 성장속도를 증가시키기 위한 도가니 내장형 구조부재
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 구조부재에는,측면의 어느 하나의 지점에서부터 하단에 이르기까지 적어도 외경이 동일하도록 구성되며, 상기 외경이 동일한 영역의 적어도 일부에는 수나사산이 형성되고, 도가니의 하면에는 상기 수나사산에 대응되는 암나사산이 형성되며, 이로써 구조부재가 도가니와 나사결합되는 것을 특징으로 하는 용액성장법에서 단결정 성장속도를 증가시키기 위한 도가니 내장형 구조부재
|
| 4 |
4
제3항에 있어서,상기 암나사산은,도가니의 하부에 안착홈을 가공하고, 그 안착홈의 측면을 나사가공하여 형성되는 것을 특징으로 하는 용액성장법에서 단결정 성장속도를 증가시키기 위한 도가니 내장형 구조부재
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 안착홈에는 최대 두께가 상기 구조부재의 외경이 동일한 구간의 높이와 동일하게 가공되며, 상기 외경이 동일한 구간의 내면에 안착되도록 측면 형상과 직경이 정해지는 지지대가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 용액성장법에서 단결정 성장속도를 증가시키기 위한 도가니 내장형 구조부재
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 지지대는 상기 구조부재와 동일한 성분인 것을 특징으로 하는 용액성장법에서 단결정 성장속도를 증가시키기 위한 도가니 내장형 구조부재
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,단결정 성장공정 시작 전에, 상기 구조부재는 그 전체가 용액에 침잠되는 것을 특징으로 하는 용액성장법에서 단결정 성장속도를 증가시키기 위한 도가니 내장형 구조부재
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,상기 도가니는 탄소 도가니이며, 구조부재, 지지대의 재질 또한 탄소 재질이고, Si 융액에서 SiC 단결정을 성장시키기 위한 용액성장법으로서, 구조부재로부터 공급되는 탄소의 유량을 증대시키고자 하는 것을 특징으로 하는 용액성장법에서 단결정 성장속도를 증가시키기 위한 도가니 내장형 구조부재
|
| 9 |
9
삭제
|
| 10 |
10
제1항에 있어서,단결정 성장공정의 종료시에 측정되는 상기 용액의 깊이는 상기 구조부재의 하단에서부터 상단까지의 높이보다 더 큰 것을 특징으로 하는 도가니 내장형 구조부재
|
| 11 |
11
제1항에 있어서,구조부재의 상단 홀의 내경은 종자의 직경 이상인 것을 특징으로 하는 도가니 내장형 구조부재
|
| 12 |
12
제1항에 있어서,구조부재의 하단 홀의 외경은 (도가니 내경 - 종자직경)/2 이상인 것을 특징으로 하는 도가니 내장형 구조부재
|
| 13 |
13
제1항에 있어서,상기 구조부재의 측벽과 바닥이 이루는 내각(α)은 45 내지 85°인 것을 특징으로 하는 도가니 내장형 구조부재
|
| 14 |
14
제1항에 있어서, (도가니 내경 / 용액의 깊이)는 2
|
