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상부에 리니어 스테이지가 설치된 베이스의 하부에 3개 이상으로 설치됨과 더불어 하부에 설치된 하부프레임의 상부에 설치되는 한편, 제진장치제어기에 연결되어 에어스프링과 복수개의 수직 및 수평 VCM, 수직 및 수평 방향진동센서, 상부진동센서와 바닥진동센서를 통합제어하도록 된 제진마운트와, 상기 제진마운트의 에어스프링상판에 설치한 변위센서타켓의 하부에 위치하도록 설치되어 변위센서타켓과의 간격을 감지하도록 설치함으로서 에어스프링상판의 하부면과 에어스프링챔버의 상부에 조립된 클램프링의 상부면과의 떨어진 간극을 감지하도록 된 변위센서와, 상기 변위센서의 값에 따라 제진장치제어기에서 신호를 받아 실시간으로 작동하여 에어를 공급함으로서 에어스프링의 높낮이를 실시간으로 조절할 수 있도록 된 서보밸브를 포함하는 능동형 제진장치를 이용한 이송장치의 제어방법에 있어서,상기 제진장치제어기는, 제진마운트의 에어스프링상판에 설치한 변위센서타켓의 하부에 위치하도록 설치되어 변위센서타켓과의 간격을 감지하도록 설치함으로서 에어스프링상판의 하부면과 에어스프링챔버의 상부에 조립된 클램프링의 상부면과의 떨어진 간극을 감지하도록 착지위치에서 각 변위센서의 값을 0으로 초기화하는 단계와,상기 제진마운트의 상부에 설치된 베이스의 상부에서 이동하는 리니어 스테이지의 모션컨트롤러로부터 리니어 스테이지의 위치 및 가속도 정보를 수신하고, 상기 변위센서로 베이스의 위치와, 에어스프링의 상판쪽에 설치된 상부진동센서로 베이스의 가속도와, 에어스프링의 하부에 설치된 바닥진동센서로 지면의 가속도를 각각 측정하는 단계와,상기 리니어 스테이지의 가속도 정보로부터 6축(X,Y,Z,roll,pitch,yaw)별 반발력 외란과, 상기 리니어 스테이지의 위치정보로부터 6축별 무게 중심 이동 외란 및, 지면 가속도 신호로부터 3축(X,Y,Z)별 바닥진동 전달 외란을 각각 예측하는 단계와,상기 예측된 외란에 대한 상쇄력을 계산하는 단계와,상기 베이스의 목표위치에 대한 위치 오차 신호와 베이스의 목표가속도(0)에 대한 가속도 오차 신호를 각각 생성하는 단계와,상기 리니어 스테이지의 위치로부터 회전관성모멘트를 계산하고, 계산된 회전관성모멘트에 비례하여 위치피드백 제어 파라메터와 진동피드백 제어 파라메터를 각각 갱신하는 단계와,상기 6축 별 위치 및 가속도 오차에 대한 제어력을 계산하는 단계와,상기 반발력 외란 상쇄력과, 바닥진동 외란 상쇄력 및 가속도 오차에 대한 제어력을 합산후 분배기인 VCM 역기구학 행렬을 통해 각VCM에 분배하고, 상기 무게중심 이동 외란 상쇄력과 위치오차 제어력 합산 후 서보밸브의 분배기인 역기구학 행렬을 통해 각 서보밸브에 분배하는 단계와,동작 주기를 맞추기 위해 일정한 샘플링 시간동안 대기하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 능동형 제진장치를 이용한 이송장치의 제어방법
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제 5항에 있어서,상기 제진마운트의 상부에 설치된 베이스의 상부에서 이동하는 리니어 스테이지의 모션컨트롤러로부터 리니어 스테이지의 위치 및 가속도 정보를 수신하고, 상기 변위센서로 베이스의 위치와, 에어스프링의 상판쪽에 설치된 상부진동센서로 베이스의 가속도와, 에어스프링의 하부에 설치된 바닥진동센서로 지면의 가속도를 각각 측정하는 단계의 다음이면서,상기 베이스의 목표위치에 대한 위치 오차 신호와 베이스의 목표가속도(0)에 대한 가속도 오차 신호를 각각 생성하는 단계의 이전에,상기 베이스의 위치 신호는 변위센서에서 발생하는 느린주파수 대역만을 통과하여 위치피드백제어기로 보내도록 된 로우패스필터(LPF)와, 상기 상부진동센서에서 발생하는 빠른주파수 대역만을 통과하여 진동피드백제어기로 보내도록 하이패스필터(HPF)에 의해, 상기 변위센서와 상부진동센서에서 발생하는 주파수의 동작영역이 겹쳐서 VCM에 보내는 제어신호와 서보밸브로 보내는 제어신호를 서로 간섭되는 것을 방지하도록 된 대역분리단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 능동형 제진장치를 이용한 이송장치의 제어방법
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