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압축기(10), 응축기(20), 내부 열교환기(30), 팽창밸브(40), 및 증발기(50)를 포함하되, 상기 압축기(10)와 상기 응축기(20) 사이의 라인(L1), 상기 응축기(20)와 상기 내부 열교환기(30) 사이의 라인(L2), 상기 내부 열교환기(30)와 상기 팽창밸브(40) 사이의 라인(L3), 상기 팽창밸브(40)와 상기 증발기(50) 사이의 라인(L4), 상기 증발기(50)와 상기 내부 열교환기(30) 사이의 라인(L5), 상기 내부 열교환기(30)와 상기 압축기(10) 사이의 라인(L6), 및상기 내부 열교환기(30)는 서로 간격을 두고 마주하는 내부 라인(31, 32)을 포함하고,냉매 순환은 압축기(10) -003e# 라인(L1) -003e# 응축기(20) -003e# 라인(L2) -003e# 내부 열교환기(30)의 내부라인(31) -003e# 라인(L3) -003e# 팽창밸브(40) -003e# 라인(L4) -003e# 증발기(50) -003e# 라인(L5) -003e# 내부 열교환기(30)의 내부라인(32) -003e# 라인(L6) -003e# 압축기(10)의 순으로 이루어져 단단 압축 증기 압축식 냉동 시스템인 MR(Mixed Refrigerant) 냉동 시스템에 이용됨으로써, 반도체 제조 공정에 사용되는 -80℃ ~ -120℃ 온도 수준의 브라인을 제공하는 혼합 냉매이며, 하이드로플루오로카본, 플루오로카본, 아르곤 및 프로판을 포함하되,상기 하이드로플루오로카본은 R245fa이고, 상기 플루오로카본은 R14, R116, R218의 그룹이며,성분 함량은 질량%로, R245fa 22-37, R14 18-32, R116 14-33, R218 22-34, 아르곤 1-7 및 프로판 0
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