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제 1 뷰포트(view port)가 형성되는 베이스 플레이트;상기 베이스 플레이트의 상부에 설치되어 외부로부터 밀폐된 상태를 유지하고, 상단에는 상기 제 1 뷰포트와 마주보도록 제 2 뷰포트가 형성되는 진공챔버(vacuum chamber);상기 진공챔버의 일측에 설치되어 진공챔버의 내부와 연통되는 구조로 형성되는 적어도 하나 이상의 플랜지(flange);상기 진공챔버의 외부에 설치되어 상기 제 2 뷰포트를 통과하여 진공챔버의 내부로 조사되는 레이저를 발생시키는 레이저 발생장치;상기 진공챔버의 내부에 설치되며, 기판 및 상기 기판에 증착되는 증착 타겟이 장착되는 캐로셀 어셈블리(carousel assembly); 및상기 진공챔버 내부의 진공도를 측정하고, 상기 레이저 발생장치 및 캐로셀 어셈블리의 작동을 제어하는 컨트롤러;를 포함하며,상기 캐로셀 어셈블리는,드라이브 유닛을 구비하는 회전축;상기 회전축의 최상단에 설치되고, 증착 타겟이 배치될 수 있는 복수 개의 배치공들이 형성되는 제 1 캐로셀;상기 회전축의 중단에 설치되고, 기판이 장착되는 복수 개의 장착공들이 형성되는 제 2 캐로셀;상기 회전축의 최하단에 설치되고, 상기 제 1 뷰포트와 마주보는 위치에 관통공이 형성되며, 일측에는 조사된 레이저를 반사하여 상기 증착 타겟에 집광시키는 미러가 설치되는 제 3 캐로셀;을 포함하고,상기 제 1 캐로셀 및 제 2 캐로셀은 드라이브 유닛에 결합되어 회전축을 중심으로 하여 회전하되, 상호 간에 독립적인 회전 운동을 수행하는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 증착장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 뷰포트는 개구부가 형성된 플랜지 형상으로 이루어지고, 상기 개구부에는 용융 실리카(fused silica) 또는 사파이어(sapphire)로 이루어지는 창(window)이 장착되는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 증착장치
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제 1 항에 있어서, 상기 베이스 플레이트는,상기 캐로셀 어셈블리의 작동을 위한 전력을 공급하는 전기 입력부(electrical input); 및 상기 진공챔버의 내부를 디가싱(degassing)하기 위한 진공펌프 연결부(vacuum pump connection);를 포함하는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 증착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 드라이브 유닛은,회전을 위한 구동력을 인가할 수 있도록 피니언 기어를 포함하는 스텝 모터(step motor);상기 피니언 기어에 맞물리는 래크(rack) 구조가 내측에 형성되는 회전 기어;를 포함하는 구성으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 증착장치
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펄스 레이저 증착장치를 이용하는 펄스 레이저 증착 방법으로서,(a) 캐로셀 어셈블리의 제 1 캐로셀 및 제 2 캐로셀에 각각 증착 타겟 및 기판을 장착하는 단계;(b) 컨트롤러를 이용하여 진공챔버 내부의 진공도를 측정하고, 그 내부를 진공 상태로 설정하는 단계;(c) 상기 컨트롤러는 레이저 발생장치 및 캐로셀 어셈블리의 작동을 제어하여, 레이저 발생장치로부터 조사된 레이저를 이용하여 제 1 캐로셀에 장착된 증착 타겟을 어블레이션 시켜 박막을 기판에 증착시키는 단계;(d) 증착이 완료된 박막의 표면을 상기 레이저 발생장치를 이용하여 세정시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 증착 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 단계(d) 이후에, 양자 효율의 통합 측정법, 광전 음극의 스펙트럼 특성 측정법, 또는 광전 음극의 표면의 양자 효율 맵(QE map) 측정법 중 어느 하나를 이용하여 증착된 박막의 양자 효율을 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 증착 방법
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