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제1 전극과 제2 전극 사이의 전계에 기초하여 전자를 방출시키는 전계 방출 소자를 에이징하는 장치에 있어서,제1 시간 동안, 상기 전계 방출 소자의 상기 제1 전극에 인가되는 전압의 크기를 목표 전압 레벨까지 증가시키는 전압 생성기; 및상기 제1 시간 이후의 제2 시간 동안, 상기 전계 방출 소자의 전계 방출 전류의 크기를 목표 전류 레벨까지 증가시키고, 상기 제2 시간 이후의 제3 시간 동안, 상기 목표 전류 레벨을 갖는 상기 전계 방출 전류의 펄스폭을 목표 펄스폭까지 증가시키는 전류 제어기를 포함하는 장치
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제1 항에 있어서,상기 전압 생성기는,상기 제1 시간 이후에, 전자 방출량을 조절하기 위한 상기 전계 방출 소자의 게이트 전극에 인가되는 게이트 전압을 더 생성하는 장치
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제2 항에 있어서,상기 전압 생성기는,상기 제1 시간 동안, 상기 제2 전극과 상기 게이트 전극을 단락시키고,상기 제1 전극은 아노드 전극이고, 상기 제2 전극은 캐소드 전극인 장치
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제2 항에 있어서,상기 전압 생성기는,상기 제1 시간 동안, 상기 제1 전극과 상기 게이트 전극을 단락시키고,상기 제1 전극은 캐소드 전극이고, 상기 제2 전극은 아노드 전극인 장치
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제1 항에 있어서,상기 전류 제어기는,상기 제1 시간 동안, 상기 전계 방출 전류의 흐름을 차단하고, 상기 제2 시간 동안, 상기 목표 펄스폭보다 작은 초기 에이징 펄스폭을 갖고, 상기 목표 전류 레벨까지 증가하는 피크 값을 갖도록 상기 전계 방출 전류를 제어하는 장치
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제5 항에 있어서,상기 전류 제어기는,상기 제3 시간 동안, 상기 전계 방출 전류의 펄스폭을 상기 초기 에이징 펄스폭으로부터 상기 목표 펄스폭까지 로그 스케일로 증가시키는 장치
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제1 항에 있어서,상기 전류 제어기는,상기 제2 시간 동안, 상기 전계 방출 전류의 피크 값을 상기 목표 전류 레벨까지 증가시키되, 상기 피크 값이 적어도 한번 동일한 크기로 반복되도록 상기 전계 방출 전류를 제어하는 장치
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8
제1 항에 있어서,상기 전류 제어기는,상기 제3 시간 동안, 상기 전계 방출 전류의 상기 펄스폭을 상기 목표 펄스폭까지 증가시키되, 상기 펄스폭이 적어도 한번 동일한 크기로 반복되도록 상기 전계 방출 전류를 제어하는 장치
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9
제1 항에 있어서,상기 전압 생성기는,상기 제3 시간 이후의 제4 시간 동안, 상기 제1 전극에 상기 목표 전압 레벨을 갖는 상기 전압을 인가하고,상기 전류 제어기는,상기 제4 시간 동안, 피크 값이 상기 목표 전류 레벨로 유지되고, 펄스폭이 상기 목표 펄스폭으로 유지되도록, 상기 전계 방출 전류를 제어하는 장치
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10
제1 항에 있어서,상기 전류 제어기는,제1 제어 신호에 기초하여, 상기 전계 방출 전류의 펄스폭을 결정하는 제1 트랜지스터;제2 제어 신호에 기초하여, 상기 전계 방출 전류의 피크 값을 결정하는 제2 트랜지스터;상기 제1 제어 신호를 상기 제1 트랜지스터의 게이트에 제공하고, 상기 제2 제어 신호를 상기 제2 트랜지스터의 게이트에 제공하는 함수 생성기; 및상기 전계 방출 전류를 측정하는 전류 측정기를 포함하는 장치
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11
제1 항에 있어서,상기 전압 생성기 및 상기 전류 제어기를 제어하는 에이징 제어기를 더 포함하되,상기 에이징 제어기는,상기 제1 시간 동안, 상기 제1 전극에 인가되는 상기 전압의 크기를 상기 목표 전압 레벨까지 순차적으로 증가하고, 상기 제1 시간 이후에 상기 목표 전압 레벨을 유지하도록 상기 전압 생성기를 제어하고, 상기 제2 시간 동안, 상기 전계 방출 전류의 피크 값을 상기 목표 전류 레벨까지 순차적으로 증가하도록 상기 전류 제어기를 제어하고, 상기 제3 시간 동안, 상기 전계 방출 전류의 펄스폭을 상기 목표 펄스폭까지 순차적으로 증가하도록 상기 전류 제어기를 제어하고, 상기 제3 시간 이후의 제4 시간 동안, 상기 목표 전류 레벨의 피크 값을 갖고, 상기 목표 펄스폭을 갖도록 상기 전류 제어기를 제어하는 장치
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12
제11 항에 있어서,제3 전극과 제4 전극 사이의 전계에 기초하여 전자를 방출시키는 제2 전계 방출 소자의 제2 전계 방출 전류를 제어하되, 상기 제2 시간 동안, 상기 제2 전계 방출 전류의 크기를 상기 목표 전류 레벨까지 증가시키고, 상기 제3 시간 동안, 상기 제2 방출 전류의 펄스폭을 상기 목표 펄스폭까지 증가시키는 제2 전류 제어기; 및상기 제2 전류 제어기를 제어하는 제2 에이징 제어기를 더 포함하되,상기 전압 생성기는,상기 제1 시간 동안, 상기 제3 전극에 인가되는 전압의 크기를 상기 목표 전압 레벨까지 증가시키는 장치
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제12 항에 있어서,상기 전계 방출 전류, 상기 제2 전계 방출 전류, 및 상기 제1 및 제3 전극에 인가되는 상기 전압에 기초하여, 상기 에이징 제어기 및 상기 제2 에이징 제어기의 제어 변수를 결정하는 통합 제어기를 더 포함하고,상기 에이징 제어기 및 상기 제2 에이징 제어기는 상기 제어 변수에 기초하여, 상기 전계 방출 전류 및 상기 제2 전계 방출 전류 각각의 크기 및 펄스폭을 결정하는 장치
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전계 방출 소자를 에이징하는 방법에 있어서,제1 시간 동안, 상기 전계 방출 소자의 제1 전극에 인가되는 전압을 목표 전압 레벨까지 순차적으로 증가시키는 단계;상기 제1 시간 이후, 상기 전압을 상기 목표 전압 레벨로 유지하는 단계;상기 제1 시간 이후 제2 시간 동안, 상기 전계 방출 소자의 전계 방출 전류를 목표 전류 레벨까지 순차적으로 증가시키는 단계;상기 제2 시간 이후 제3 시간 동안, 상기 목표 전류 레벨을 갖는 상기 전계 방출 전류의 펄스폭을 목표 펄스폭까지 순차적으로 증가시키는 단계; 및상기 제3 시간 이후 제4 시간 동안, 상기 전계 방출 전류가 상기 목표 전류 레벨 및 상기 목표 펄스폭을 유지하도록 제어하는 단계를 포함하는 방법
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제14 항에 있어서,상기 전압을 목표 전압 레벨까지 순차적으로 증가시키는 단계는,상기 전계 방출 소자의 제2 전극과 게이트 전극을 단락시키는 단계;상기 전압을 기준 전압 레벨만큼 증가시키는 단계; 및상기 전압이 상기 목표 전압 레벨에 도달하는지 판단하는 단계를 포함하는 방법
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제15 항에 있어서,상기 전계 방출 전류를 목표 전류 레벨까지 순차적으로 증가시키는 단계는,상기 제2 전극과 상기 게이트 전극을 전기적으로 분리하는 단계;상기 전계 방출 전류의 피크 값을 기준 전류 레벨만큼 증가시키는 단계; 및상기 전계 방출 전류가 상기 목표 전류 레벨에 도달하는지 판단하는 단계를 포함하는 방법
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제14 항에 있어서,상기 전계 방출 전류의 펄스폭을 목표 펄스폭까지 순차적으로 증가시키는 단계는,상기 펄스폭을 기준 폭만큼 증가시키는 단계; 및상기 펄스폭이 상기 목표 펄스폭에 도달하는지 판단하는 단계를 포함하는 방법
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