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광 대역의 빛을 생성하는 광원부;상기 광원부로부터 생성된 빛을 분배하는 광분배부;상기 광분배부로부터 분배된 빛 중 일부를 전달받아 서로 다른 광로를 따라 진행하는 수평편광 및 수직편광으로 분리하고, 분리된 상기 수평편광 및 수직편광을 스캐닝 방향이 서로 수직이 되도록 변환하여 동시에 피검체에 출사하고, 상기 피검체로부터 반사된 반사 수평편광 및 반사 수직편광을 입사받는 샘플단;상기 광분배부에서 분배된 빛 중 다른 일부를 전달받아 분리하여 수평편광 성분 및 수직편광 성분을 포함하는 기준광을 생성하는 기준단;상기 반사 수평편광, 상기 반사 수직편광, 및 상기 기준광을 전달받아, 서로 수직인 XZ 평면 영상 이미지 및 YZ 평면 영상 이미지를 동시에 획득할 수 있는 수평편광 성분의 간섭신호 및 수직편광 성분의 간섭신호를 생성하는 간섭부; 및상기 간섭신호를 전기적 신호로 변환하는 검출부;를 포함하고,상기 샘플단은,서로 수직인 가상의 XYZ 3차원 공간에 X축 및 Z축 방향으로 배치된 회전축을 중심으로 각각 회전하는 한 쌍의 스캐닝 미러를 포함하고, 전달받은 상기 빛을 Z축 방향으로 조사하는 갈바노미터 스캐너(galanometer scanner);상기 갈바노미터 스캐너로부터 조사된 빛을 제5 수평편광 및 제5 수직편광으로 분리하여, 상기 제5 수평편광을 Z축 방향으로 출사하고, 상기 제5 수직편광을 X축 방향으로 출사하는 제1 샘플단 편광분배기;출사된 상기 제5 수평편광을 Y축 방향으로 반사하는 제1-1 미러, 상기 제1-1 미러에서 반사된 상기 제5 수평편광을 Z축 방향으로 반사하는 제1-2 미러, 및 상기 제1-2 미러에서 반사된 상기 제5 수평편광을 X축 방향으로 반사하는 제1-3 미러를 포함하는 제1 미러부;상기 제1-3 미러에서 반사된 상기 제5 수평편광을 입사받아 제6 수직편광으로 변환하여 출사하는 1/2 파장판;출사된 상기 제5 수직편광을 Y축 방향으로 반사하는 제2-1 미러, 및 상기 제2-1 미러에서 반사된 상기 제5 수직편광을 Z축 방향으로 반사하는 제2-2 미러를 포함하여, 상기 제5 수직편광을 제6 수평편광으로 변환하는 제2 미러부;상기 제6 수평편광 및 상기 제6 수직편광을 입사받아 동시에 Z축 방향으로 출사하는 제2 샘플단 편광분배기;를 포함하여, 스캔 방향이 Y축 방향인 상기 제6 수평편광, 및 스캔 방향이 X축 방향인 상기 제6 수직편광을 상기 피검체로 조사하는 동시 직각 스캐닝 듀얼 빔 광 결맞음 영상시스템
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청구항 1에 있어서,상기 광분배부로부터 분배된 빛 중 일부를 입사받아 수평편광 및 수직편광으로 분리하여 상기 샘플단으로 출사하는 편광분배부;를 더 포함하는 동시 직각 스캐닝 듀얼 빔 광 결맞음 영상시스템
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청구항 2에 있어서,상기 편광분배부는상기 광분배부로부터 입사받은 빛을 제1 수평편광 및 제1 수직편광으로 분리하여 출사하는 편광분배기;출사되는 상기 제1 수직편광이 진행하는 제1 광로에 배치되는 제1 반사미러;상기 편광분배기와 상기 제1 반사미러 사이에 배치되어, 상기 제1 수직편광을 제2 수평편광으로 변환시켜 상기 편광분배기로 출사하는 제1 1/4 파장판;출사되는 상기 제1 수평편광이 진행하는 제2 광로에 배치되는 제2 반사미러; 및상기 편광분배기와 상기 제2 반사미러 사이에 배치되어, 상기 제1 수평편광을 제2 수직편광으로 변환시켜 상기 편광분배기로 출사하는 제2 1/4 파장판;을 포함하여, 상기 편광분배기가, 상기 제2 수평편광 및 상기 제2 수직편광을 상기 샘플단으로 출사하고, 상기 반사 수평편광 및 상기 반사 수직편광을 입사받아 전달하는 동시 직각 스캐닝 듀얼 빔 광 결맞음 영상시스템
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4
청구항 3에 있어서,상기 편광분배부는상기 제1 반사미러가 상기 제1 광로를 따라 이동되거나, 또는 상기 제2 반사미러가 상기 제2 광로를 따라 이동되어, 상기 제2 수평편광의 광학 길이와 상기 제2 수직편광의 광학 길이를 서로 다르게 조절하는 동시 직각 스캐닝 듀얼 빔 광 결맞음 영상시스템
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청구항 2에 있어서,상기 기준단은상기 광분배부로부터 입사받은 빛을 45도 편광으로 편향시켜 상기 기준광을 생성하는 선형 편광기;를 포함하는 동시 직각 스캐닝 듀얼 빔 광결맞음 영상시스템
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청구항 5에 있어서,상기 간섭부는상기 반사 수평편광, 상기 반사 수직편광, 및 상기 기준광을 간섭시켜 상기 간섭신호를 생성하는 1개의 간섭계;를 포함하는 동시 직각 스캐닝 듀얼 빔 광 결맞음 영상시스템
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청구항 2에 있어서,상기 광분배부는상기 광원부로부터 생성된 빛을 제1 분배광 및 제2 분배광으로 분배하는 주 광분배기;상기 제1 분배광 중 일부를 상기 편광분배부로 진행시키고, 다른 일부를 상기 기준단으로 진행시키는 제1 광분배기; 및상기 제2 분배광 중 일부를 상기 편광분배부로 진행시키고, 다른 일부를 상기 기준단으로 진행시키는 제2 광분배기;를 포함하는 동시 직각 스캐닝 듀얼 빔 광 결맞음 영상시스템
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8
청구항 7에 있어서,상기 편광분배부는상기 제1 분배광 중 일부를 제1 수평편광 및 제1 수직편광으로 분리하여 상기 제1 수평편광을 상기 샘플단으로 출사하고, 상기 반사 수평편광을 입사받아 상기 제1 광분배기로 전달하며, 상기 제2 분배광 중 일부를 제2 수평편광 및 제2 수직편광으로 분리하여 상기 제2 수직편광을 상기 샘플단으로 출사하고, 상기 반사 수직편광을 입사받아 상기 제2 광분배기로 전달하는 편광분배기;를 포함하는 동시 직각 스캐닝 듀얼 빔 광 결맞음 영상시스템
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9
청구항 8에 있어서,상기 기준단은상기 제1 분배광 중 다른 일부를 제3 수평편광 및 제3 수직편광으로 분리하여 상기 제3 수평편광을 진행시키고, 상기 제2 분배광 중 다른 일부를 제4 수평편광 및 제4 수직편광으로 분리하여 상기 제4 수직편광을 진행시키는 제1 기준단 편광분배기; 및상기 제3 수평편광 및 상기 제4 수직편광을 전달받아 분리하여 진행시키는 제2 기준단 편광분배기;를 포함하는 동시 직각 스캐닝 듀얼 빔 광 결맞음 영상시스템
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청구항 9에 있어서,상기 간섭부는상기 제1 광분배기로부터 상기 반사 수평편광을 전달받고, 상기 제2 기준단 편광분배기로부터 상기 제3 수평편광을 전달받아, 상기 수평편광 성분의 간섭신호를 생성하는 제1 간섭계; 및상기 제2 광분배기로부터 상기 반사 수직편광을 전달받고, 상기 제2 기준단 편광분배기로부터 상기 제4 수직편광을 전달받아, 상기 수직편광 성분의 간섭신호를 생성하는 제2 간섭계;를 포함하는 동시 직각 스캐닝 듀얼 빔 광 결맞음 영상시스템
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청구항 10에 있어서,상기 검출부는상기 수평편광 성분의 간섭신호를 전기적 신호로 변환하는 제1 밸런스 광검출기; 및상기 수직편광 성분의 간섭신호를 전기적 신호로 변환하는 제2 밸런스 광검출기;를 포함하는 동시 직각 스캐닝 듀얼 빔 광 결맞음 영상시스템
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청구항 1에 있어서,상기 기준단은상기 광분배부로부터 입사받은 빛을 제1 수평편광 및 제1 수직편광으로 분리하여 출사하는 편광분배기;출사되는 상기 제1 수직편광이 진행하는 제1 광로에 배치되는 제1 반사미러;상기 편광분배기와 상기 제1 반사미러 사이에 배치되고, 상기 제1 수직편광을 제2 수평편광으로 변환시켜 상기 편광분배기로 출사하는 제1 1/4 파장판;출사되는 상기 제1 수평편광이 진행하는 제2 광로에 배치되는 제2 반사미러; 및상기 편광분배기와 상기 제2 반사미러 사이에 배치되어, 상기 제1 수평편광을 제2 수직편광으로 변환시켜 상기 편광분배기로 출사하는 제2 1/4 파장판;을 포함하여, 상기 편광분배기가, 상기 제2 수평편광 및 상기 제2 수직편광을 상기 간섭부로 출사하는 동시 직각 스캐닝 듀얼 빔 광 결맞음 영상시스템
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삭제
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청구항 1에 있어서,상기 샘플단은한 쌍의 렌즈를 포함하고, 한 쌍의 상기 스캐닝 미러 사이의 광로, 상기 제2 샘플단 편광분배기를 통과하는 광로, 및 상기 제1 샘플단 편광분배기와 상기 1/2 파장판 사이의 광로 중 적어도 어느 하나 이상의 광로에 배치되는 4f 시스템;을 더 포함하는 동시 직각 스캐닝 듀얼 빔 광 결맞음 영상시스템
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청구항 1에 있어서,스캐닝 동안 획득된 상기 영상 이미지 사이의 상관관계(correlation)를 측정하여, 상기 피검체의 움직임을 감지하고, 상기 영상 이미지를 보정하는 영상보정부;를 더 포함하는 동시 직각 스캐닝 듀얼 빔 광 결맞음 영상시스템
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