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폴리머에, 가스 입자에 의한 표면 에너지 전달률이 5 - 27eV/Å인 가스 입자를 조사하여 나노주름, 구멍, 또는 나노돌기를 형성하는 단계를 포함하고,상기 폴리머는 1
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제1항에 있어서,상기 폴리머는 폴리에틸렌 텔레프탈레이트(Polyethylene Terephthalate, PET), 폴리이미드(Polyimide, PI), 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylene Naphthalate, PEN), 폴리에테르설폰(Polyethersulfone, PES), 또는 이의 1종 이상의 혼합물인, 나노구조 형성방법
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제1항에 있어서,가스 입자에 의한 표면 에너지 전달률이 5 - 20 eV/Å인 가스 입자를 조사하여 나노 주름 구조를 형성하는, 나노구조 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 가스 입자의 조사는 100eV 이상 500eV 미만의 에너지를 가진 가스 입자를 조사하여 나노 주름 구조를 형성하는, 나노구조 형성방법
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제5항에 있어서,상기 나노 주름 구조는 10 - 100nm의 폭을 가지는, 나노구조 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 가스 입자 조사는 500eV 이상의 에너지를 가진 가스 입자를 조사하여 나노 구멍 또는 나노돌기를 형성하는, 나노구조 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 가스 입자는 아르곤, 크립톤, 제논, 산소, 질소, 수소, 또는 이의 1종 이상의 혼합 입자군인, 나노구조 형성방법
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제9항에 있어서, 상기 혼합 입자군의 2종 이상의 입자는 동시에 또는 순차적으로 조사되는, 나노구조 형성방법
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제9항에 있어서, 상기 가스 입자는 이온 또는 중성가스 입자인, 나노구조 형성방법
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폴리머에, 가스 입자에 의한 표면 에너지 전달률이 5 - 20eV/Å인 가스 입자를 조사하여 나노주름, 구멍, 또는 나노돌기를 형성하는 단계를 포함하고,상기 폴리머는 1
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제12항에 있어서,상기 폴리머는 폴리메틸메타크릴레이트(Poly Methyl Methacrylate, PMMA), 폴리카보네이트(Polycarbonate, PC), 또는 이의 1종 이상의 혼합물인, 나노구조 형성방법
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제12항에 있어서,가스 입자에 의한 표면 에너지 전달률이 10 - 20 eV/Å인 가스 입자를 조사를 하여 나노 주름 구조를 형성하는, 나노구조 형성방법
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제12항에 있어서, 상기 가스 입자의 조사는 500eV 이상 1000eV 미만의 에너지를 가진 가스 입자를 조사하여 나노 주름 구조를 형성하는, 나노구조 형성방법
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제14항에 있어서,상기 나노 주름 구조는 20 - 300nm의 폭을 가지는, 나노구조 형성방법
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제12항에 있어서, 상기 가스 입자 조사는 500eV 미만의 에너지를 가진 가스 입자를 조사하여 나노 구멍을 형성하는, 나노구조 형성방법
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제12항에 있어서, 상기 가스 입자 조사는 200 eV 이상 700 eV 미만의 에너지를 가진 산소 입자를 조사하여 나노 돌기를 형성하는, 나노구조 형성방법
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제19항에 있어서, 표면에 10 - 100nm 폭의 복수의 나노 주름 구조가 형성된, 폴리머
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제19항에 있어서,표면에 복수의 나노 돌기가 형성된, 폴리머
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제22항에 있어서,표면에 20 - 300 nm 폭의 복수의 나노 주름 구조가 형성된, 폴리머
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제19항 또는 제22항에 있어서, 상기 폴리머 상에 금속 또는 금속산화물이 증착된, 폴리머
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제19항 또는 제22항에 기재된 폴리머를 포함하는 제품
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