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종자결정의 소형화 또는 박형화를 가능하게 하고 내부 결함 발생을 억제하는 종자결정의 지지구조 및 이로부터 제조되는 단결정

  • 기술번호 : KST2019002544
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 종자결정의 소형화 또는 박형화를 가능하게 하고 내부 결함 발생을 억제하는 종자결정의 지지구조 및 이로부터 제조되는 단결정에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 용액성장법을 구현하는 장치에 포함되며, 탄소 재질의 종자결정 지지봉, 상기 지지봉의 하부에 결합되는 비정질 또는 다결정 세라믹스, 및 상기 비정질 또는 다결정 세라믹스의 하부에 결합되며, 상기 비정질 또는 다결정 세라믹스와 동일 조성의 단결정 종자결정을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 종자결정의 소형화 또는 박형화를 가능하게 하고 내부 결함 발생을 억제하는 종자결정의 지지구조를 제공한다.
Int. CL C30B 15/32 (2006.01.01) C30B 29/36 (2006.01.01) C30B 29/06 (2006.01.01) C30B 15/36 (2006.01.01) C30B 28/10 (2006.01.01)
CPC C30B 15/32(2013.01) C30B 15/32(2013.01) C30B 15/32(2013.01) C30B 15/32(2013.01) C30B 15/32(2013.01)
출원번호/일자 1020170117807 (2017.09.14)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1966707-0000 (2019.04.02)
공개번호/일자 10-2019-0030407 (2019.03.22) 문서열기
공고번호/일자 (20190408) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.09.14)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정성민 대한민국 경기도 광명시 소하로 *, *
2 이명현 대한민국 경상남도 진주시 소호로 **,
3 김영희 대한민국 서울특별시 서대문구
4 신윤지 대한민국 경상남도 김해시
5 권용진 대한민국 경상남도 진주시 가호로 **,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 수 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, *층(역삼동, 케이앤와이빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0894185-96
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.09.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0113637-29
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.09.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0631834-55
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2018-1134675-00
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2018-1261396-12
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.12.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1261399-48
8 등록결정서
Decision to grant		 2019.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0221528-73
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
용액성장법을 구현하는 장치에 포함되며,탄소 재질의 종자결정 지지봉,상기 지지봉의 하부에 본딩에 의하여 결합되는 알파상의 비정질 또는 다결정 탄화규소 세라믹스, 및상기 비정질 또는 다결정 탄화규소 세라믹스의 하부에 결합되며, 상기 비정질 또는 다결정 탄화규소 세라믹스와 동일 조성의 탄화규소 단결정 종자결정,을 포함하여 구성되되,상기 알파상의 비정질 또는 다결정 탄화규소 세라믹스는 상기 탄소 재질의 종자결정 지지봉에 PVT 공정에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 종자결정의 소형화 또는 박형화를 가능하게 하고 내부 결함 발생을 억제하는 종자결정의 지지구조
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 종자결정의 두께는 300 내지 500㎛인 것을 특징으로 하는 종자결정의 소형화 또는 박형화를 가능하게 하고 내부 결함 발생을 억제하는 종자결정의 지지구조
4 4
제1항에 있어서,상기 비정질 또는 다결정 세라믹스는 적어도 1mm의 두께인 것을 특징으로 하는 종자결정의 소형화 또는 박형화를 가능하게 하고 내부 결함 발생을 억제하는 종자결정의 지지구조
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
제1항에 있어서,상기 α-SiC는 2000 내지 2500℃에서 소성하여 제조되는 것을 특징으로 하는 종자결정의 소형화 또는 박형화를 가능하게 하고 내부 결함 발생을 억제하는 종자결정의 지지구조
9 9
제1항에 있어서,상기 종자결정은 상용 웨이퍼의 적어도 일부인 것을 특징으로 하는 종자결정의 소형화 또는 박형화를 가능하게 하고 내부 결함 발생을 억제하는 종자결정의 지지구조
10 10
삭제
11 11
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 일진디스플레이 전략적핵심소재기술개발사업 TSSG법에 의한 전위밀도 300ea/cm2이하 고품질 SiC 단결정성장기술 개발