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메인 몸체;상기 메인 몸체의 길이 방향을 따라 메인 몸체의 상면에서 하방으로 함몰 형성된 메인 채널; 및 상기 메인 몸체의 폭 방향을 따라 메인 몸체의 상면에서 하방으로 함몰 형성되되, 상기 메인 채널의 상측과 연통되며, 양단 또는 어느 한 단이 상기 메인 채널의 폭 방향 단부를 관통하여 형성되는 서브 채널을 포함하되,상기 서브 채널의 상하 두께는 상기 메인 채널의 상하 두께 보다 얇게 형성되고, 상기 서브 채널은, 복수 개가 이격 형성되며, 상기 복수의 서브 채널을 연통하는, 격자 채널을 적어도 하나 이상 포함하는, 마이크로 유체 소자
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제 1항에 있어서,상기 유체 소자는,상기 메인 채널 및 서브 채널의 상측을 밀폐하도록 상기 메인 몸체의 상측에 결합되되, 상기 메인 채널의 일측과 연통되는 유입부 및 상기 메인 채널의 타측과 연통되는 유출부가 관통 형성되는 캡 플레이트를 포함하는, 마이크로 유체 소자
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메인 몸체;상기 메인 몸체를 상하 관통하여 형성된 유입부;상기 유입부와 소정거리 이격되며, 상기 메인 몸체를 상하 관통하여 형성된 유출부;상기 유입부와 유출부를 연통하도록 상기 메인 몸체의 상측에서 하방으로 함몰 형성된 메인 채널; 및상기 메인 몸체의 폭 방향을 따라 메인 몸체의 상면에서 하방으로 함몰 형성되되, 상기 메인 채널의 상측과 연통되며, 양단 또는 어느 한 단이 상기 메인 채널의 폭 방향 단부를 관통하여 형성되는 서브 채널을 포함하되,상기 서브 채널의 상하 두께는 상기 메인 채널의 상하 두께 보다 얇게 형성되고, 상기 서브 채널은, 복수 개가 이격 형성되며, 상기 복수의 서브 채널을 연통하는, 격자 채널을 적어도 하나 이상 포함하는, 마이크로 유체 소자
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제 3항에 있어서,상기 유체 소자는, 상기 유입부, 유출부, 메인 채널 및 서브 채널의 상측을 밀폐하도록 상기 메인 몸체의 상측에 결합되는 캡 플레이트를 더 포함하는, 마이크로 유체 소자
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메인 몸체;상기 메인 몸체에 형성되며, 유체가 유입되는 유입부;상기 메인 몸체 상에 상기 유입부와 소정거리 이격 형성되며, 유체가 유출되는 유출부;상기 유입부와 연통되도록 상기 메인 몸체의 상측에서 하방으로 함몰 형성된 제1 메인 채널;상기 제1 메인 채널과 이격되며, 상기 유출부와 연통되도록 상기 메인 몸체의 상측에서 하방으로 함몰 형성된 제2 메인 채널; 및상기 메인 몸체의 상면에서 하방으로 함몰 형성되되, 일측이 상기 제1 메인채널의 상측과 연통되고, 타측이 상기 제2 메인 채널의 상측과 연통되는 서브 채널 을 포함하되,상기 서브 채널의 상하 두께는 상기 제1 및 제2 메인 채널의 상하 두께 보다 얇게 형성되고, 상기 서브 채널은, 복수 개가 이격 형성되며, 상기 복수의 서브 채널을 연통하는, 격자 채널을 적어도 하나 이상 포함하는, 마이크로 유체 소자
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삭제
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제 1항 또는 제 3항 또는 제 5항에 있어서,상기 메인 채널의 폭은 수 내지 수백 마이크로미터이고, 상기 서브 채널의 폭은 수 나노미터 내지 수 마이크로미터인 것을 특징으로 하는, 마이크로 유체 소자
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제 2항 또는 제 3항 또는 제 5항에 있어서,상기 유입부, 유출부 및 메인 채널은, 발수성 또는 친수성을 나타내는 것을 특징으로 하는, 마이크로 유체 소자
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제 8항에 있어서,상기 서브 채널은 발수성을 나타내는 것을 특징으로 하는, 마이크로 유체 소자
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제 1항의 마이크로 유체 소자를 제조하기 위한 몰드에 있어서,상기 몰드는,베이스 기판;상기 메인 채널의 상부 및 서브 채널의 성형을 위해 상기 베이스 기판의 상측에 적층되는 제1 층; 및상기 메인 채널의 하부의 성형을 위해 상기 제1 층의 상면에 적층되는 제2 층을 포함하는, 마이크로 채널 제조 용 몰드
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제 3항의 마이크로 유체 소자를 제조하기 위한 몰드에 있어서,상기 몰드는, 베이스 기판;상기 유입부 및 유출부의 상부, 상기 메인 채널의 상부 및 서브 채널의 성형을 위해 상기 베이스 기판의 상측에 적층되는 제1 층;상기 유입부 및 유출부의 중간부 및 상기 메인 채널의 하부의 성형을 위해 상기 제1 층의 상면에 적층되는 제2 층; 및상기 유입부 및 유출부의 하부의 성형을 위해 상기 제2 층의 상면에 적층되는 제3 층을 포함하는, 마이크로 채널 제조 용 몰드
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제 10항 또는 제 11항에 있어서,상기 몰드는, 상기 메인 몸체의 둘레부 성형을 위해 상기 기판의 둘레를 따라 일정 높이로 적층되는 둘레층을 더 포함하는, 마이크로 채널 제조 용 몰드
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