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리모트 플라즈마를 이용한 원자층 증착 시스템

  • 기술번호 : KST2019002686
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따르는 리모트 플라즈마를 이용한 원자층 증착 시스템은 트래블링 웨이브 방식의 반응 챔버, 및 플라즈마를 발생시키고, 상기 발생된 플라즈마를 상기 반응 챔버로 공급하는 플라즈마 발생기를 포함하고, 상기 반응 챔버와 상기 플라즈마 발생기 사이의 거리는 변경 가능한 것이다.
Int. CL C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 16/52 (2018.01.01) C23C 16/44 (2006.01.01) H01J 37/32 (2006.01.01)
CPC C23C 16/45544(2013.01) C23C 16/45544(2013.01) C23C 16/45544(2013.01) C23C 16/45544(2013.01) C23C 16/45544(2013.01) C23C 16/45544(2013.01)
출원번호/일자 1020170120564 (2017.09.19)
출원인 서울과학기술대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0032077 (2019.03.27) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.09.19)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안지환 대한민국 서울특별시 성동구
2 유진근 대한민국 경기도 안산시 단원구
3 오성국 대한민국 서울특별시 노원구
4 김형준 대한민국 서울특별시 은평구
5 신정우 대한민국 서울특별시 성동구
6 양병찬 대한민국 서울특별시 강북구
7 고도현 대한민국 제주특별자치도 서귀포시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인엠에이피에스 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 서울특별시 노원구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.09.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0913169-56
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.06.08 수리 (Accepted) 9-1-2018-0026728-06
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.07.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0486884-04
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.09.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0912776-51
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2019-0912763-68
7 등록결정서
Decision to grant		 2020.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0067540-66
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
리모트 플라즈마를 이용한 원자층 증착 시스템에 있어서, 트래블링 웨이브 방식의 반응 챔버;플라즈마를 발생시키고, 상기 발생된 플라즈마를 상기 반응 챔버로 공급하는 플라즈마 발생기; 및상기 반응 챔버와 상기 플라즈마 발생기를 연결하는 플렉시블 튜빙을 포함하고, 상기 반응 챔버와 상기 플라즈마 발생기 사이의 거리는 변경 가능하고,상기 반응 챔버와 상기 플라즈마 발생기 사이의 거리는 상기 플렉시블 튜빙을 통해 변경 가능한 것인, 원자층 증착 시스템
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삭제
3 3
제 1 항에 있어서,복수의 전구체 캐니스터와 연결 가능한 매니폴드를 더 포함하고, 상기 반응 챔버는 원통 형상을 가지고, 상기 반응 챔버의 일단은 상기 매니폴드에 연결되며, 상기 일단은 테이퍼 형상의 리듀서를 구비하는 것인, 원자층 증착 시스템
4 4
제 1 항에 있어서,상기 반응 챔버의 내부 압력을 측정하는 압력계;상기 반응 챔버의 내부 기체를 배기하는 펌프; 및상기 반응 챔버로 기판을 반입 및 반출하는 기판 반입부를 더 포함하고, 상기 압력계와 상기 기판 반입부는 QF 파이프관을 이용하여 상기 반응 챔버에 연결되고, 상기 펌프는 CF 파이프관을 이용하여 상기 반응 챔버에 연결되는 것인, 원자층 증착 시스템
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 플라즈마 발생기는, 석영관; 상기 석영관을 둘러싸는 코일;상기 석영관으로 플라즈마 가스를 공급하는 가스 공급부; 및상기 석영관을 지지하는 복수개의 기둥을 포함하는 것인, 원자층 증착 시스템
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국생산기술연구원 창의산업융합 특성화 인재양성사업 창의산업융합 특성화 인재양성사업