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알루미나 및 정방정 지르코니아로 구성된 ZTA 성형체; 및상기 ZTA 성형체 표면에 코팅된 알루미나 층을 포함하는 MCFC용 매니폴드 다이렉트릭
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제1항에 있어서, 상기 ZTA 성형체와 알루미나 층은 소결체인 MCFC용 매니폴드 다이렉트릭
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제1항에 있어서, 상기 ZTA 성형체는 정방정 지르코니아를 10 내지 30중량%의 함량으로 포함하는 것인 MCFC용 매니폴드 다이렉트릭
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제1항에 있어서, 상기 알루미나 층은 5 내지 30㎛의 두께를 갖는 것인 MCFC용 매니폴드 다이렉트릭
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알루미나 분말 및 정방정 지르코니아 분말을 혼합하여 혼합 분말을 제조하는 단계;상기 혼합 분말을 압축 성형하여 소정 형상의 정방정 지르코니아 강화 알루미나(ZTA) 성형체를 제조하는 단계;알루미나 분말이 용매에 분산된 알루미나 분산액에 상기 ZTA 성형체를 침지하여 상기 ZTA 성형체 표면에 알루미나 코팅층을 형성하는 단계; 및상기 알루미나 코팅층이 형성된 ZTA 성형체를 동시 소결하여 이중층 구조의 소결체를 얻는 단계를 포함하는 MCFC용 매니폴드 다이일렉트릭 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 혼합 분말은 정방정 지르코니아 분말이 10 내지 30중량%의 함량으로 포함하는 것인 MCFC용 매니폴드 다이일렉트릭 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 용매는 물, 알코올, 톨루엔 또는 아세톤으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나인 MCFC용 매니폴드 다이일렉트릭 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 알루미나 코팅층은 건조 후 두께가 5 내지 30㎛로 되도록 형성하는 것인 MCFC용 매니폴드 다이일렉트릭 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 소결은 1600 내지 1650℃에서 수행하는 것인 MCFC용 매니폴드 다이일렉트릭 제조방법
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