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레이저 클리닝 장치에 포함된 광학계의 레이저 광의 출력 측에 위치하여, 상기 광학계의 내부로 유입되는 오염 물질을 차단하기 위한 하나 이상의 보호 창(protective window)을 포함하는 보호 장치; 및상기 레이저 광의 출력 측에 현재 위치하고 있는 보호 창의 오염 상태를 감지하고, 상기 오염 상태에 기초하여 상기 레이저 클리닝 장치의 안전 인터로크(safe interlock) 기능이 동작하도록 제어하고, 상기 현재 위치하고 있는 보호 창에서 새로운 보호 창으로 교환되도록 상기 보호 장치를 제어하는 제어 장치를 포함하고,상기 하나 이상의 보호 창은 상기 레이저 광과 동일한 광 파장을 검출하여 상기 오염 상태를 감지하기 위한 감지 홀(sensing hole)을 포함하는 레이저 클리닝 보호 장치
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제1항에 있어서,상기 보호 장치는,모터; 및원형 디스크 형태로, 상기 하나 이상의 보호 창이 원형으로 위치하고, 상기 하나 이상의 보호 창이 슬라이드 터닝(slide turning) 방법으로 자동으로 교체되도록 상기 모터에 의해 회전 가능한 몸체를 더 포함하는 레이저 클리닝 보호 장치
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제2항에 있어서,상기 제어 장치는,상기 레이저 광과 동일한 광 파장을 검출하여 상기 오염 상태를 감지하기 위한 오염 감지 센서;상기 오염 감지 센서의 감지 신호를 증폭하는 증폭기;증폭된 신호를 기준 신호와 비교하여 상기 모터를 구동하기 위한 구동 신호를 생성하는 비교기; 및상기 구동 신호에 응답하여 상기 모터를 구동시키는 구동기(driver)를 포함하는 레이저 클리닝 보호 장치
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제3항에 있어서,상기 제어 장치는,상기 레이저 광의 출력 측에 위치하며 상기 하나 이상의 보호 창이 슬라이드 터닝되어 상기 레이저 광의 출력 측에 위치하도록 슬릿 형상으로 구현되는 센서 블록을 더 포함하고,상기 센서 블록은,상기 몸체가 회전하여 상기 하나 이상의 보호 창이 통과할 수 있는 슬릿을 포함하고,상기 오염 감지 센서는,상기 센서 블록에 부착되어 상기 슬릿 사이에 위치하는 보호 창에 구현된 상기 감지 홀을 통해 상기 슬릿 사이에 위치하는 보호 창에 접촉하는 레이저 클리닝 보호 장치
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레이저 클리닝 장치에 포함된 광학계의 레이저 광의 출력 측에 현재 위치하고 있는 보호 창(protective window)의 오염 상태를 감지하는 단계;상기 오염 상태에 기초하여 상기 레이저 클리닝 장치의 안전 인터로크(safe interlock) 기능이 동작하도록 제어하는 단계; 및상기 안전 인터로크 기능 동작 후에, 상기 현재 위치하고 있는 보호 창을 새로운 보호 창으로 슬라이드 터닝(slide turning) 방법으로 자동으로 교환하는 단계를 포함하고,상기 현재 위치하고 있는 보호 창은 상기 레이저 광과 동일한 광 파장을 검출하여 상기 오염 상태를 감지하기 위한 감지 홀(sensing hole)을 포함하는 레이저 클리닝 방법
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