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도너기판에 유기재료를 적하하는 적하부;상기 적하부와 연결되며, 상기 도너기판의 상부에 정렬된 타겟기판에 상기 유기재료의 전사가 이루어지도록 마련된 전사부;상기 전사부에 위치한 상기 도너기판을 향해 광을 조사하여 타겟기판에 상기 유기재료를 전사하는 광조사부;상기 전사부로부터 상기 도너기판을 회수하여 세정하는 세정부; 및상기 타겟기판에 대한 증착 공정이 이루어지고, 상기 타겟기판을 상기 전사부에 제공 및 회수하는 증착부를 포함하며,상기 도너기판은,베이스부;상기 베이스부의 길이 방향으로 연장되어 마련되되, 요홈유닛이 형성되도록 상기 베이스부의 폭 방향으로 상호 이격되어 복수개로 마련되는 구획유닛을 갖는 패턴부;상기 패턴부의 일측 또는 양측에 위치하며, 유기재료가 적하되도록 마련되는 웰부;상기 베이스부와 상기 패턴부 사이에 마련되는 광열변환부; 및이웃한 상기 구획유닛이 이격된 상태를 유지할 수 있는 두께로 형성되며, 상기 패턴부의 표면을 따라 연장 형성되는 금속코팅층를 포함하고,상기 금속코팅층은, 광열변환부로부터 전달된 열에 의해 상기 요홈유닛 내에 담긴 유기재료가 기설정된 시간 내에 타겟 기판에 모두 전사될 수 있도록 하는 열전도도를 갖는 소재로 마련되고,상기 웰부는, 상기 웰부에 적하된 유기재료가 모세관력에 의해 상기 요홈유닛의 일측으로 유입되어 상기 요홈유닛의 타측으로 확장될 수 있도록 마련됨으로써, 상기 요홈유닛의 내측에 상기 유기재료가 균일하게 채워지도록 하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치
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제 1 항에 있어서, 상기 패턴부는, 무기물 또는 유기물을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치
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제 3 항에 있어서, 상기 무기물은 산화 규소, 질화 규소, 산질화 규소, 산화 알루미늄, 산화 아연, 및 산화 인듐 주석으로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치
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제 3 항에 있어서, 상기 유기물은 폴리아크릴계 수지, 에폭시 수지, 페놀 수지, 폴리아미드계 수지, 폴리이미드계 수지, 불포화 폴리에스테르계 수지, 폴리페닐렌계 수지, 폴리페닐렌설파이드계 수지, 및 벤조사이클로부텐으로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치
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제 1 항에 있어서,상기 도너기판에 적하된 유기재료는 모세관력에 의해 상기 요홈유닛에 주입되는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치
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제 1 항에 있어서,상기 적하부는,상기 세정부에 의해 세정된 상기 도너기판이 내부로 반입되는 적하챔버;상기 적하챔버에 반입된 상기 도너기판이 안착되는 적하스테이지;상기 도너기판에 상기 유기재료를 적하하는 적하노즐;상기 적하노즐에 유기재료를 공급하는 재료탱크; 및상기 도너기판에 적하된 유기재료를 건조시키는 드라이유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치
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제 1 항에 있어서,상기 전사부는,상기 타겟기판에 대한 유기재료의 전사가 이루어지는 전사챔버; 및상기 전사챔버의 일측에 마련되며, 상기 도너기판을 상기 전사챔버에 반입하고, 상기 전사챔버로부터 반출하도록 이루어진 로드락챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치
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제 8 항에 있어서,상기 전사부는,상기 전사챔버의 상기 증착부측에 형성되며, 상기 전사챔버에 상기 타겟기판을 반입하고, 상기 전사챔버로부터 상기 타겟기판을 반출하도록 이루어진 증착게이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치
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제 8 항에 있어서,상기 전사부는,상기 로드락챔버의 일측에 형성되며, 상기 적하부에서 상기 로드락챔버로 유기재료가 적하된 도너기판을 반입하고, 상기 로드락챔버에서 상기 세정부로 전사가 완료된 도너기판을 반출하도록 마련된 제1 로드락게이트; 및상기 로드락챔버의 타측에 형성되며, 상기 로드락챔버에서 상기 전사챔버로 유기재료가 적하된 도너기판을 반출하고, 상기 전사챔버에서 상기 로드락챔버로 전사가 완료된 도너기판을 반입하도록 마련된 제2 로드락게이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치
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제 1 항에 있어서,상기 세정부는,상기 도너기판이 반입되는 세정챔버;상기 세정챔버 내에 마련되며, 상기 도너기판의 상부를 향해 세정액을 분사하는 샤워헤드; 및상기 샤워헤드로부터 분사된 세정액을 수용하도록 상기 샤워헤드의 하부에 마련된 수조를 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치
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제 11 항에 있어서,상기 세정부는,상기 샤워헤드에 의해 세정된 상기 도너기판이 이송되어 안착되는 세정스테이지;상기 세정스테이지에 안착된 상기 도너기판 상에 잔류한 이물질을 제거하도록 마련된 블로워를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치
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제 11 항에 있어서,상기 샤워헤드에 세정액을 공급하도록 마련된 세정액공급조; 및상기 수조에 수용된 세정액을 상기 세정액공급조로 회수하는 세정액회수조를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치
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제 1 항에 따른 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치의 유기발광 디스플레이 제조방법에 있어서,a) 상기 적하부에 반입된 상기 도너기판에 유기재료를 적하하는 단계;b) 상기 유기재료가 적하된 상기 도너기판 및 상기 타겟기판을 상기 전사부로 이송하는 단계;c) 상기 도너기판에 적하된 유기재료를 상기 타겟기판에 전사하는 단계;d) 상기 도너기판을 상기 세정부로 이송하고, 상기 타겟기판을 상기 증착부로 이송하는 단계;e) 상기 세정부로 이송된 상기 도너기판을 세정하는 단계; 및f) 상기 세정된 도너기판을 상기 적하부로 이송하는 단계를 포함하며,상기 타겟기판에 전사된 유기재료는 유기층을 형성하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치의 유기발광 디스플레이 제조방법
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제 14 항에 있어서,상기 a) 내지 f) 단계에 따라, 상기 도너기판은 상기 적하부, 상기 전사부, 상기 세정부를 반복 순환하며 재활용되도록 마련된 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치의 유기발광 디스플레이 제조방법
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