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제조장비 센싱 데이터의 전처리를 위한 전류 센싱 데이터의 비선형 특성을 보정하는 방법에 있어서,전류 신호의 비선형 특성을 보정하기 위한 복수의 보정부의 보정 이득을 기 설정된 보정 이득으로 셋팅하는 단계;전류 센서로부터 입력된 상기 전류 신호를 수신하는 단계;상기 입력된 전류 신호의 크기 정보에 기초하여 레퍼런스 실효값을 획득하는 단계;상기 입력된 전류 신호에 대한 실효값을 측정하는 단계;상기 측정된 실효값과 상기 레퍼런스 실효값의 오차를 산출하는 단계 및상기 산출된 오차에 기초하여 상기 복수의 보정부의 보정 이득을 조정하는 단계를 포함하는 비선형 특성 보정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 산출된 오차에 기초하여 상기 복수의 보정부의 보정 이득을 조정하는 단계는,상기 복수의 보정부에 포함된 각각의 비교기에 대하여, 상기 측정된 실효값과 상기 레퍼런스 실효값의 오차가 상기 비교기에 대해 기 설정된 크기 이상이 될 때까지 상기 입력되는 전류 신호의 크기를 증가시키는 단계;상기 기 설정된 크기 이상인 경우, 상기 측정된 실효값을 상기 복수의 보정부에 포함된 각각의 비교기에 대한 임계값으로 설정하는 단계 및상기 레퍼런스 실효값을 상기 측정된 실효값으로 나누어 상기 복수의 보정부에 대한 상기 보정 이득을 산출하는 단계를 포함하는 것인 비선형 특성 보정 방법
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제 2 항에 있어서,상기 산출된 오차에 기초하여 상기 복수의 보정부의 보정 이득을 조정하는 단계는,상기 복수의 보정부에 대한 보정 이득의 조정이 완료될 때까지 수행되는 것인 비선형 특성 보정 방법
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제 2 항에 있어서,상기 측정된 실효값과 상기 복수의 보정부에 포함된 각각의 비교기에 설정된 임계값을 비교하는 단계;상기 복수의 비교기에 대하여 상기 측정된 실효값보다 큰 임계값을 가지는 보정부는 상기 조정된 보정 이득으로 설정하고, 상기 측정된 실효값보다 작은 임계값을 가지는 보정부는 상기 기 설정된 보정이득으로 보정 이득을 설정하는 단계; 및상기 조정된 보정 이득에 기초하여 상기 측정된 실효값을 보정하는 단계를 더 포함하는 비선형 특성 보정 방법
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제조장비 센싱 데이터의 전처리를 위한 전류 센싱 데이터의 비선형 특성을 보정하는 전류 측정 장치에 있어서,전류 센서로부터 전류 신호를 수신하는 수신부,상기 전류 신호에 대한 실효값을 측정하는 실효값 측정부 및상기 입력된 전류 신호의 비선형 특성을 보정하기 위한 복수의 보정부를 포함하되,상기 복수의 보정부는 상기 전류 신호의 크기 정보에 기초하여 획득된 레퍼런스 실효값과 상기 측정된 실효값과의 오차를 산출하고, 상기 산출된 오차에 기초하여 각각의 보정 이득을 조정하는 것인 전류 측정 장치
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제 5 항에 있어서,상기 복수의 보정부는 상기 산출된 오차가 복수의 보정부에 포함된 비교기 각각에 대하여 기 설정된 임계값 이상이 될 때까지 상기 전류 신호의 크기를 증가시키고, 기 설정된 임계값 이상이 되는 경우, 상기 측정된 실효값을 각각의 비교기에 대한 상기 임계값으로 설정하며, 상기 레퍼런스 실효값을 상기 측정된 실효값으로 나누어 보정 이득으로 산출하는 것인 전류 측정 장치
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제 6 항에 있어서,상기 보정 이득의 조정은 상기 복수의 보정부에 대한 보정 이득의 조정이 완료될 때까지 수행되는 것인 전류 측정 장치
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제 6 항에 있어서,상기 복수의 보정부는 상기 측정된 실효값과 각각의 비교기에 설정된 임계값을 비교하고, 상기 복수의 비교기에 대하여 상기 측정된 실효값보다 큰 임계값을 가지는 경우 상기 조정된 보정 이득으로 설정하고, 상기 측정된 실효값보다 작은 임계값을 가지는 경우 상기 기 설정된 보정 이득으로 보정 이득을 설정하며, 상기 조정된 보정 이득에 기초하여 상기 측정된 실효값을 보정하는 것인 전류 측정 장치
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