| 1 |
1
테라헤르츠 신호를 감지하는 안테나, 발열하는 발열체, 열을 측정하는 제1 볼로미터 및 신호를 전송하는 제1 신호선을 가지는 실효 단위 화소가 일정 간격으로 복수개 배열되어 테라헤르츠 신호를 감지하는 실효 화소 어레이; 및 상기 실효 화소 어레이와 이격되게 배치되고, 열을 측정하는 제2 볼로미터 및 신호를 전송하는 제2 신호선을 가지는 기준 단위 화소가 일정 간격으로 복수개 배열되어 화소별 볼로미터의 저항 편차를 보정하는 기준이 되는 기준 화소 어레이;를 포함하되,상기 기준 단위 화소는,상기 제2 볼로미터의 양끝단에 상기 제2 신호선이 각각 연결되고, 서로 수평하게 배치되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 이미지 센서용 화소 어레이 구조
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서,상기 기준 단위 화소는,안테나 및 발열체를 포함하지 않는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 이미지 센서용 화소 어레이 구조
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
제 1항에 있어서,상기 기준 단위 화소는,상기 실효 단위 화소와 대응되는 영역에 기준 단위 화소와 동일한 구조의 추가 기준 단위 화소를 적어도 하나 추가 배치하여 그룹화된 기준 단위 화소를 형성하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 이미지 센서용 화소 어레이 구조
|
| 5 |
5
제 4항에 있어서,상기 그룹화된 기준 단위 화소는,상기 기준 단위 화소 및 상기 추가 기준 단위 화소의 피치(pitch)가 상기 실효 단위 화소 간의 피치보다 짧은 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 이미지 센서용 화소 어레이 구조
|
| 6 |
6
제 4항에 있어서,상기 그룹화된 기준 단위 화소는,상기 추가 기준 단위 화소를 통해 볼로미터의 저항 평균값이 상기 기준 단위 화소만 형성될 때보다 기준 저항 값에 더 가까이 수렴되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 이미지 센서용 화소 어레이 구조
|
| 7 |
7
기판;상기 기판의 상부에 형성되고, 실효 화소 어레이 및 기준 화소 어레이를 포함하는 화소 어레이; 및상기 기판 및 상기 화소 어레이 사이에 형성되어 상기 화소 어레이에서 측정된 값을 판독하는 판독집적회로;를 포함하되,상기 실효 화소 어레이는,테라헤르츠 신호를 감지하는 안테나, 발열하는 발열체, 열을 측정하는 제1 볼로미터 및 신호를 전송하는 제1 신호선을 가지는 실효 단위 화소가 일정 간격으로 복수개 배열되어 테라헤르츠 신호를 측정하고,상기 기준 화소 어레이는,상기 실효 화소 어레이와 이격되게 배치되고, 열을 측정하는 제2 볼로미터 및 신호를 전송하는 제2 신호선을 가지는 기준 단위 화소가 일정 간격으로 복수개 배열되어 제조공정 상의 화소별 볼로미터의 저항 편차를 보정하는 기준이 되며,상기 기준 단위 화소는,상기 제2 볼로미터의 양끝단에 상기 제2 신호선이 각각 연결되고, 서로 수평하게 배치되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 이미지 센서
|
| 8 |
8
테라헤르츠 신호를 수신하는 테라헤르츠 이미지 센서; 및상기 수신된 테라헤르츠 신호에 포함된 이미지 정보를 검출하고, 상기 검출된 이미지 정보를 이용하여 이미지를 구현하는 제어부;를 포함하되,상기 테라헤르츠 이미지 센서는,기판;상기 기판의 상부에 형성되고, 실효 화소 어레이 및 기준 화소 어레이를 포함하는 화소 어레이; 및상기 기판 및 상기 화소 어레이 사이에 형성되어 상기 화소 어레이에서 측정된 값을 판독하는 판독집적회로;를 포함하고,상기 실효 화소 어레이는,테라헤르츠 신호를 감지하는 안테나, 발열하는 발열체, 열을 측정하는 제1 볼로미터 및 신호를 전송하는 제1 신호선을 가지는 실효 단위 화소가 일정 간격으로 복수개 배열되어 테라헤르츠 신호를 측정하고,상기 기준 화소 어레이는,상기 실효 화소 어레이와 이격되게 배치되고, 열을 측정하는 제2 볼로미터 및 신호를 전송하는 제2 신호선을 가지는 기준 단위 화소가 일정 간격으로 복수개 배열되어 제조공정 상의 화소별 볼로미터의 저항 편차를 보정하는 기준이 되며,상기 기준 단위 화소는,상기 제2 볼로미터의 양끝단에 상기 제2 신호선이 각각 연결되고, 서로 수평하게 배치되는 것을 특징으로 하는 영상장치
|
| 9 |
9
기판이 준비되는 단계;상기 기판의 상부에 화소 어레이에서 측정된 값을 판독하는 판독집적회로가 형성되는 단계; 및상기 판독집적회로의 상부에 실효 화소 어레이 및 기준 화소 어레이를 포함하는 화소 어레이가 형성되는 단계;를 포함하되,상기 실효 화소 어레이는,테라헤르츠 신호를 감지하는 안테나, 발열하는 발열체, 열을 측정하는 제1 볼로미터 및 신호를 전송하는 제1 신호선을 가지는 실효 단위 화소가 일정 간격으로 복수개 배열되어 테라헤르츠 신호를 측정하고,상기 기준 화소 어레이는,상기 실효 화소 어레이와 이격되게 배치되고, 열을 측정하는 제2 볼로미터 및 신호를 전송하는 제2 신호선을 가지는 기준 단위 화소가 일정 간격으로 복수개 배열되어 제조공정 상의 화소별 볼로미터의 저항 편차를 보정하는 기준이 되며,상기 기준 단위 화소는,상기 제2 볼로미터의 양끝단에 상기 제2 신호선이 각각 연결되고, 서로 수평하게 배치되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 이미지 센서의 제조방법
|
