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방사선을 조사하여 가시광으로 변환하기 위한 방사선 디텍터의 섬광체 구조물에 있어서,섬광체 쉬트에 레이저 가공으로 형성된, 에어갭에 의해 구분된 1차원 또는 2차원 섬광체 픽셀 어레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터의 섬광체 구조물
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제1항에 있어서,상기 에어갭에 도포된 반사물질을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터의 섬광체 구조물
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섬광물질 분말을 이용하여 섬광체 쉬트를 제작하는 단계; 및레이저를 상기 섬광체 쉬트 상에 조사하여 에어갭으로 구분되는1차원 또는 2차원 섬광체 픽셀 어레이를 형성하는 단계를 포함하고,상기 섬광체 픽셀 어레이에 방사선을 조사하여 가시광으로 변환하기 위한 것으로서, 상기 에어갭 또는 상기 에어갭에 도포된 반사물질에 의해, 픽셀간 빛의 퍼짐 또는 산란을 줄이고 해상도를 증가시키는 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터의 섬광체 구조물 제작 방법
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제3항에 있어서,상기 섬광체 쉬트를 제작하는 단계에서, 섬광물질 분말을 이용한 물리적 기상증착 방식 또는 스크린 프린팅 방식으로 소정의 기판에 상기 섬광체 쉬트가 제작되는 방식을 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터의 섬광체 구조물 제작 방법
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제3항에 있어서,상기 섬광체 픽셀 어레이는, 픽셀의 가로 또는 세로 피치가 30~500μm, 픽셀간 이격거리 2~50μm 인 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터의 섬광체 구조물 제작 방법
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제3항에 있어서,상기 섬광체 픽셀 어레이를 형성하는 단계 후에, 진공 증착 방식 또는 스프레이 방식으로 금속물질을 이용하여 상기 에어갭에 상기 반사물질을 도포하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터의 섬광체 구조물 제작 방법
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어레이 형태의 복수의 픽셀 센서를 가지는 이미지 센서; 및상기 복수의 픽셀 센서에 대응되도록 에어갭 또는 에어갭에 도포된 반사물질로 구분된 픽셀들의 섬광체 픽셀 어레이를 구비하고, 상기 이미지 센서의 상부에 부착되며, 방사선을 받아 가시광으로 변환하기 위한 섬광체 구조물을 포함하고,상기 이미지 센서는, 상기 섬광체 픽셀 어레이의 각 픽셀에서의 상기 가시광에 비례하는 전기적 신호를 독출하기 위한 것으로서,상기 에어갭은 섬광체 쉬트를 레이저 가공하여 획득된 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
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