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일 말단에 자성 재료부를 포함하고, 이와 상접하여 기능성 물질을 포함하는 타겟을 튜브의 내측에 배치하는 단계;상기 튜브의 외측에 상기 자성 재료부와 상호 인력을 갖는 자석을 배치하는 단계;및상기 자석을 이용하여 상기 기능성 물질을 포함하는 타겟을 이동 또는 회전시키면서, 상기 타겟의 기능성 물질에 대하여 레이져, 전자빔 및 플라즈마로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종의 조사를 수행하여, 상기 튜브의 내면에 상기 기능성 물질을 증착시키는 단계;를 포함하는 튜브 내면 코팅 방법
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제1항에 있어서,상기 기능성 물질은 티타늄(Ti), 지르코늄(Zr), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 바나듐(V), 니오븀(Nb), 텅스텐(W), 탄탈륨(Ta), 알루미늄(Al), 아연(Zn), 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 레늄(Re) 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 튜브 내면 코팅 방법
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제1항에 있어서,상기 증착시키는 단계의 증착 분위기는 진공, 아르곤, 질소, 산소 및 이들의 혼합기체로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종으로 수행되는 튜브 내면 코팅 방법
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제1항에 있어서,상기 튜브와 상기 자성 재료를 포함하는 기능성 물질 사이에 윤활 수단을 배치하는 단계;를 더 포함하는 튜브 내면 코팅 방법
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튜브;상기 튜브의 내측에 배치되고, 일 말단에 자성 재료부를 포함하고, 이와 상접하여 배치되며, 레이져, 전자빔 및 플라즈마로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종에 의하여 조사되는 기능성 물질을 포함하는 타겟; 및 상기 튜브의 외측에 배치되고, 상기 자성 재료부와 상호 인력을 갖는 자석;을 포함하는 튜브 내면 코팅 장치
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제9항에 있어서, 상기 튜브와 상기 자성 재료를 포함하는 기능성 물질 사이에 배치된 윤활 수단;를 더 포함하는 튜브 내면 코팅 장치
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