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복수 개의 가스통과 구멍들을 구비하고 강성을 가지는 평탄한 평판; 및상기 평판의 하측에 위치되며 상기 가스통과 구멍들에 대응되는 위치에 각각 미세홀을 위치시키는 가스토출부;를 포함하고,상기 가스토출부는 탄성을 가지며, 복수 개의 상기 미세홀들을 통해 압축가스를 토출하여 패널을 부상시키는, 패널 이송장치
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제 1항에 있어서,상기 미세홀들은 시침 방식으로 형성되어서 상기 가스토출부의 탄성에 의해 수축되어 직경이 줄어들게 형성되는, 패널 이송장치
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제 1항에 있어서, 압축가스를 생성하는 콤프레서를 더 포함하고, 상기 가스토출부는 관 형상으로 형성되며,상기 콤프레서는 상기 가스토출부와 연결되어서 상기 가스토출부의 관로 내에 압축가스를 공급하고, 상기 압축가스는 상기 가스토출부의 복수 개의 미세홀들에 분배되어 상기 평판의 상부로 토출되는, 패널 이송장치
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제 1항에 있어서,상기 패널을 부상시키는 상기 압축가스를 수용하는 가스수용부를 더 포함하고,상기 가스수용부의 상부에는 상기 가스토출부가 설치되며, 상기 가스토출부는 판 형상으로 상기 평판의 하측에 접촉되어서, 상기 가스수용부 내의 상기 압축가스는 분배되어 복수 개의 상기 미세홀들과 상기 가스통과 구멍을 통과해 상기 평판의 상부로 토출되는, 패널 이송장치
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제 1항에 있어서, 상기 미세홀들의 내측면에는 요철이 형성되어서, 상기 압축가스가 통과하는 상기 미세홀들 내의 유동저항이 증대되는, 패널 이송장치
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제 1항에 있어서, 상기 미세홀들의 관통길이는 상기 가스토출부의 두께보다 길도록 형성되어서, 상기 압축가스가 통과하는 상기 미세홀들 내의 유동저항이 증대되는, 패널 이송장치
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제 1항에 있어서, 상기 압축가스를 공급하는 콤프레서 및 상기 가스토출부의 하부에 배치되는 가스수용부를 더 포함하고, 상기 압축가스는 상기 콤프레서에서 생성되어 상기 가스수용부에 전달되며, 상기 가스수용부 내에 수용된 상기 압축가스는 상기 미세홀을 통과하고, 상기 미세홀을 통과한 상기 압축가스는 상기 가스통과 구멍을 통과하여 상기 평판의 상부로 토출되는, 패널 이송장치
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패널 이송장치에 설치되는 노즐모듈에 있어서, 상기 패널 이송장치의 노즐 또는 가스통과 구멍의 직경과 동일한 직경으로 형성되는 가스토출부; 및상기 가스토출부를 관통하도록 형성되는 미세홀;을 포함하고, 상기 패널 이송장치로 공급되는 압축가스는 상기 미세홀을 통과하여 상기 패널 이송장치의 상부로 토출되며, 패널 이송장치의 노즐 또는 가스통과 구멍에 설치되는, 노즐모듈
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제 8항에 있어서, 상기 미세홀은 시침 방식으로 형성되고 상기 가스토출부는 탄성을 가져서 상기 미세홀의 직경은 상기 탄성에 의해 수축되는, 노즐모듈
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제 8항에 있어서, 상기 미세홀의 길이는 상기 가스토출부의 두께보다 길거나 상기 미세홀의 내측면에는 요철이 형성되는, 노즐모듈
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