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가장 하부에 제공되는 기판; 및상기 기판의 상측에 제공되고, 메타표면으로 제공되고, 타원형 슬릿을 구비하는 기능층을 포함하되,상기 타원형 슬릿은 반경이 커지는 0°003c#003c#90° 및 180°003c#003c#270°에서 기하학적 전하(m)가 0보다 크고, 반경이 축소되는 90°003c#003c#180° 및 270°003c#003c#360°에서 기하학적 전하(m)가 0보다 작은 이중으로 축퇴된 기하학적 전하를 갖는광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체
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제1 항에 있어서, 상기 기능층은 은(Ag)이고, 상기 기판은 이산화규소(SiO2)인광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체
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제1 항에 있어서,상기 타원형 슬릿은 내측 타원과 외측 타원에 의해 구획되고,상기 내측 타원과 상기 외측 타원은 어느 하나의 중심으로부터 같은 방향으로 길게 연장되는 광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체
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제3 항에 있어서,상기 내측 타원은, 상기 중심으로부터 가장 가까운 지점까지의 거리가 23 내지 63nm 범위에 있고, 가장 먼 지점까지의 거리가 66 내지 106nm 범위에 있는광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체
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제4 항에 있어서,상기 내측 타원은, 상기 중심으로부터 가장 가까운 지점까지의 거리는 43nm이고, 가장 먼 지점까지의 거리는 86nm인광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체
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제4 항 또는 제5 항에 있어서,상기 중심으로부터 상기 외측 타원의 가장 가까운 지점은 상기 중심과 상기 내측 타원의 가장 가까운 지점을 잇는 선의 연장선 상에 위치하고, 상기 중심으로부터 상기 외측 타원의 가장 먼 지점은 상기 중심과 상기 내측 타원의 가장 먼 지점을 잇는 선의 연장선 상에 위치하고,상기 중심으로부터 상기 외측 타원의 가장 가까운 지점과 상기 중심으로부터 상기 내측 타원의 가장 가까운 지점 사이의 거리는 10 내지 70nm이고,상기 중심으로부터 상기 외측 타원의 가장 먼 지점과 상기 중심으로부터 상기 내측 타원의 가장 먼 지점 사이의 거리는 50내지 110nm인광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체
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제6 항에 있어서,상기 중심으로부터 상기 외측 타원의 가장 가까운 지점과 상기 중심으로부터 상기 내측 타원의 가장 가까운 지점 사이의 거리는 50nm이고,상기 중심으로부터 상기 외측 타원의 가장 먼 지점과 상기 중심으로부터 상기 내측 타원의 가장 먼 지점 사이의 거리는 100nm인광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체
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제3 항에 있어서,상기 타원형 슬릿은 중심으로부터 가까운 부분에서 먼 부분을 향하면서 슬릿의 폭이 점차 폭이 넓어지는 형태로 제공되는광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체
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제1 항에 있어서,상기 타원형 슬릿의 깊이는 상기 기능층의 두께와 동일하게 형성되는광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체
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제1 항에 있어서,상기 기판은 이산화규소, 실리콘, 불화 칼슘 중 하나로 형성되고,상기 기능층은 금 또는 은 중 하나로 형성되는광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체
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기판; 및상기 기판에 적층되고, 메타표면으로 제공되고, 복수 개의 타원형 슬릿을 구비하는 기능층을 포함하되,상기 타원형 슬릿은 반경이 커지는 0°003c#003c#90° 및 180°003c#003c#270°에서 기하학적 전하(m)가 0보다 크고, 반경이 축소되는 90°003c#003c#180° 및 270°003c#003c#360°에서 기하학적 전하(m)가 0보다 작은 이중으로 축퇴된 기하학적 전하를 갖는광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체
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제11 항에 있어서,복수 개의 상기 타원형 슬릿은 기 설정된 간격으로 배치되는광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체
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제11 항에 있어서,어느 하나의 상기 타원형 슬릿과 가장 가까운 타원형 슬릿은 x, y 좌표계에서의 상대 좌표로서 (, )에 위치되고,는 ±700 내지 770nm이고, 는 ±700 내지 770nm인광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체
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제13 항에 있어서,는 ±740nm이고, 는 ±740nm인광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체
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제11 항에 있어서,상기 타원형 슬릿의 주기는 식 에 따라서 도출되고, , 는 어느 하나의 상기 타원형 슬릿에 대한 다른 타원형 슬릿의 상대 위치인 광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체
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제11 항에 있어서,+45°선형 편광이 조명될 때 기하학적 전하(m)가 +1이고, -45°선형 편광이 조명될 때 기하학적 전하(m)가 -1인 광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체
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가장 하부에 형성되는 기판을 제공하는 단계;상기 기판에 메타표면을 갖는 기능층을 적층하는 단계; 및상기 기능층에 타원형 슬릿을 형성하는 단계를 포함하되,상기 타원형 슬릿은 반경이 커지는 0°003c#003c#90° 및 180°003c#003c#270°에서 기하학적 전하(m)가 0보다 크고, 반경이 축소되는 90°003c#003c#180° 및 270°003c#003c#360°에서 기하학적 전하(m)가 0보다 작은 이중으로 축퇴된 기하학적 전하를 갖는광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체의 제조방법
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제18 항에 있어서,상기 기판은 이산화규소이고, 상기 기능층은 은이며,상기 기능층은 전자빔 증착기 또는 스퍼터에 의해 상기 기판 상에 적층되는광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체의 제조방법
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제19 항에 있어서,상기 타원형 슬릿은 집속 이온빔 밀링 공정에 의해 상기 기능층 상에 형성되는광자 스핀 홀 효과를 갖는 메타물질 구조체의 제조방법
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