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투명기판 상에 제1투명전극을 형성하는 단계;상기 제1투명전극 상에 금속확산층을 형성하는 단계;상기 금속확산층 상에 CIGS계 광흡수층을 형성하는 단계; 및상기 CIGS계 광흡수층 상에 제2투명전극을 형성하는 단계를 포함하고,상기 금속확산층은 금속셀렌화물 또는 금속황화물을 포함하는 것을 특징으로 하고,상기 제1투명전극은 투명전도성산화물을 포함하는 것을 특징으로 하고,상기 금속확산층 상에 상기 CIGS계 광흡수층을 형성하는 단계에 있어서, 상기 CIGS계 광흡수층은 동시증발법을 수행하여 형성하고, 상기 동시증발법을 수행하는 중에 상기 금속확산층의 금속이 상기 형성되는 CIGS계 광흡수층에 도핑되는 것을 특징으로 하는 투광형 CIGS계 박막 태양전지의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 투명전도성산화물은 ITO, AZO, GZO, BZO, IZO, IGZO 및 InOX:H 중 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하고, 상기 X는 0보다 큰 실수인 것인 투광형 CIGS계 박막 태양전지의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속확산층은 상기 제1투명전극의 산소가 상기 CIGS계 광흡수층으로 확산되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 투광형 CIGS계 박막 태양전지의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 CIGS계 광흡수층은 Cu-In-Ga-Se의 사원 화합물을 포함하여 형성하고, 상기 사원 화합물의 화학식 Cu(In1-xGax)Se2에서 0003c#x≤1인 것을 특징으로 하는 투광형 CIGS계 박막 태양전지의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속확산층 상에 CIGS계 광흡수층을 형성하는 단계와 상기 CIGS계 광흡수층 상에 제2투명전극을 형성하는 단계 사이에,상기 CIGS계 광흡수층 상에 버퍼층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투광형 CIGS계 박막 태양전지의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 버퍼층은 CdS, ZnS, ZnO, ZnOH, Zn1-xMgxO, ZnSe, ZnIn2Se4, InxSey 및 In2S3중 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하고, 상기 x 및 y는 0보다 큰 실수인 것인 투광형 CIGS계 박막 태양전지의 제조방법
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투명기판;상기 투명기판 상에 위치하는 제1투명전극;상기 제1투명전극 상에 위치하는 금속확산층;상기 금속확산층 상에 위치하는 CIGS계 광흡수층; 및상기 CIGS계 광흡수층 상에 위치하는 제2투명전극을 포함하고,상기 금속확산층은 금속셀렌화물 또는 금속황화물을 포함하는 것을 특징으로 하고,상기 제1투명전극은 투명전도성산화물을 포함하는 것을 특징으로 하고,상기 CIGS계 광흡수층은 상기 금속확산층 상에 동시증발법을 수행하여 형성되고, 상기 동시증발법을 수행하는 중에 상기 금속확산층의 금속이 상기 형성되는 CIGS계 광흡수층에 도핑된 것을 특징으로 하는 투광형 CIGS계 박막 태양전지
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제9항에 있어서,상기 투명기판은 유리, 투명 플라스틱 및 이들의 혼합물 중 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 투광형 CIGS계 박막 태양전지
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제9항에 있어서,상기 투명전도성산화물은 ITO, AZO, GZO, BZO, IZO, IGZO 및 InOX:H 중 선택되는 적어도 어느 하나 이상의 것을 포함하는 것을 특징으로 하고, 상기 X는 0보다 큰 실수인 것인 투광형 CIGS계 박막 태양전지
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제9항에 있어서,상기 CIGS계 광흡수층은 Cu-In-Ga-Se의 사원 화합물을 포함하고, 상기 사원 화합물의 화학식 Cu(In1-xGax)Se2에서 0≤x≤1인 것을 특징으로 하는 투광형 CIGS계 박막 태양전지
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제9항에 있어서,상기 금속확산층은 상기 제1투명전극의 산소가 상기 CIGS계 광흡수층으로 확산되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 투광형 CIGS계 박막 태양전지
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제9항에 있어서,상기 CIGS계 광흡수층과 상기 제2투명전극 사이에, 상기 CIGS계 광흡수층 상에 위치하는 버퍼층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 특징으로하는 투광형 CIGS계 박막 태양전지
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제16항에 있어서,상기 버퍼층은 CdS, ZnS, ZnO, ZnOH, Zn1-xMgxO, ZnSe, ZnIn2Se4, InxSey 및 In2S3중 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하고, 상기 x 및 y는 0보다 큰 실수인 것인 투광형 CIGS계 박막 태양전지
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