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제1면 및 이와 대향하는 제2면을 갖는 유전체;상기 제1면에 형성되며, 접지된 접지 전극;상기 제2면에 형성되면, 전원과 연결되는 파워 전극; 및상기 제2면에 형성되며, 상기 파워 전극과 소정 간격으로 이격된 부유 전극을 포함하되,상기 유전체는, 상기 제1면이 외측면으로 제공되고 상기 제2면이 내측면으로 제공되는 튜브 형태로 제공되고,상기 파워 전극은 상기 부유 전극 보다 상기 유전체의 선단에 인접 위치하고, 상기 부유 전극의 일 단부와 마주하는 제1영역과, 상기 유전체의 선단에 인접한 제2영역을 포함하며,상기 제2영역에 제공되고, 유전 재료로 형성된 제1유전체 튜브를 더 포함하는 플라스마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 접지 전극의 적어도 일부 영역은, 상기 파워 전극과 상기 부유 전극의 사이 구간과 마주하여 제공되는 플라스마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 부유 전극은 상기 전원과 단락된 플라스마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 전원으로부터 상기 파워 전극에 인가되는 전력은 글로우 방전에서 글로우-아크 천이가 발생되는 구간의 전류 및 전압이 인가되는 플라스마 발생 장치
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제 4 항에 있어서,상기 글로우 방전에서 글로우-아크 천이가 발생되는 구간의 전압 인가 시, 상기 파워 전극과 상기 부유 전극 사이에는 공기 유전체 장벽 방전부터 비열평형 아크 방전이 발생되는 플라스마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 유전체의 재질은 SiO2, Al2O3, 그리고 탄소-수소 고분자 화합물, 상대투자율 10~5,000 사이의 전이금속 중 적어도 어느 하나를 포함하는 플라스마 발생 장치
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 제1유전체 튜브의 선단은 상기 파워 전극의 전방으로 돌출되고, 후단은 상기 파워 전극과 상기 부유 전극의 사이 구간에 위치하는 플라스마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 접지 전극에 도포되어 상기 접지 전극의 외부 노출을 차단하며, 유전 재료로 형성된 제2유전체 튜브를 더 포함하는 플라스마 발생 장치
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