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모재를 준비하는 단계;상기 모재의 표면에 TiO2 졸 용액 또는 TiO2-SiO2 하이브리드 졸 용액을 포함하는 코팅재를 코팅하는 단계; 및상기 코팅된 모재 표면을 중이온빔 조사장치로부터 발생하는 중이온빔에 노출하는 단계;를 포함하며,상기 중이온빔의 에너지의 크기는 2 내지 40 MeV이고,상기 중이온빔의 주입량은 50uC 내지 10,000uC이며,상기 중이온빔 조사장치에 인가되는 전류는 0
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제1항에 있어서,상기 중이온빔 조사장치에 사용되는 원소는 철(Fe), 아이오딘(I), 텅스텐(W), 구리(Cu), 실리콘(Si), 아르곤(Ar), 금(Au), 알루미늄(Al), 티탄(Ti) 및 이들을 하나 이상 혼합한 군에서 선택되는 어느 하나인 중이온빔 조사에 의한 TiO2 코팅 또는 TiO2-SiO2 하이브리드 코팅의 표면개질 방법
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제1항에 있어서,상기 중이온빔에 노출하는 단계는 1회 또는 2회 이상 수행하는 중이온빔 조사에 의한 TiO2 코팅 또는 TiO2-SiO2 하이브리드 코팅의 표면개질 방법
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제5항에 있어서,상기 중이온빔에 노출하는 단계를 2회 이상 수행하는 경우, 상기 코팅된 모재 표면을 중이온빔에 노출하는 단계 이후에 상기 중이온빔을 조사한 코팅모재의 표면에 제2코팅재를 코팅하는 단계를 더 포함하는 중이온빔 조사에 의한 TiO2 코팅 또는 TiO2-SiO2 하이브리드 코팅의 표면개질 방법
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제6항에 있어서,상기 제2코팅재는 TiO2 졸 용액 또는 TiO2-SiO2 하이브리드 졸 용액인 중이온빔 조사에 의한 TiO2 코팅 또는 TiO2-SiO2 하이브리드 코팅의 표면개질 방법
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제1항에 있어서,상기 모재는 304 스테인레스강, Alloy 800H, Alloy 690, Hastelloy X, Hayness230, Hayness556, CX2002U, Alloy X750, Alloy 718, Sanicro28 및 이들의 복합재료에서 선택되는 어느 하나의 금속인 중이온빔 조사에 의한 TiO2 코팅 또는 TiO2-SiO2 하이브리드 코팅의 표면개질 방법
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