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블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스 및 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019003685
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스는, 블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스에 있어서, 소정 패턴 구조의 제 1 강자성층(ferromagnetic layer)과, 상기 제 1 강자성층 상에 형성된 비자성층(non-magnetic layer)과, 상기 제 1 강자성층과 상기 비자성층을 매립하는 형태로 수평하게 형성되어 상기 비자성층의 상부를 노출시키는 제 1 반강자성층(antiferromagnetic layer)과, 상기 비자성층과 상기 제 1 반강자성층 상에 형성된 제 2 강자성층과, 상기 제 2 강자성층 상에 형성된 제 2 반강자성층을 포함하고, 상기 메모리 디바이스는, 상기 제 1 강자성층과 상기 비자성층의 상부가 제 1 영역으로 구획되고, 상기 제 1 영역을 제외한 나머지 상부가 제 2 영역으로 구획될 수 있다.
Int. CL H01L 43/02 (2006.01.01) H01L 43/10 (2006.01.01) H01L 43/12 (2006.01.01)
CPC H01L 43/02(2013.01) H01L 43/02(2013.01) H01L 43/02(2013.01)
출원번호/일자 1020170133199 (2017.10.13)
출원인 울산과학기술원, 재단법인대구경북과학기술원
등록번호/일자 10-1976791-0000 (2019.05.02)
공개번호/일자 10-2019-0041685 (2019.04.23) 문서열기
공고번호/일자 (20190509) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.10.13)
심사청구항수 23

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군
2 재단법인대구경북과학기술원 대한민국 대구 달성군 현

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이기석 울산광역시 울주군
2 한희성 울산광역시 울주군
3 홍정일 대구광역시 달성군
4 임미영 대구광역시 달성군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 제일특허법인(유) 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대구 달성군 현
2 울산과학기술원 울산광역시 울주군
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-1009104-18
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-1015579-77
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0788902-09
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.18 수리 (Accepted) 4-1-2018-5260250-39
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2019-0012907-81
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.01.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0012908-26
7 등록결정서
Decision to grant
2019.04.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0287742-62
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5134633-04
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스에 있어서,소정 패턴 구조의 제 1 강자성층(ferromagnetic layer)과,상기 제 1 강자성층 상에 형성된 비자성층(non-magnetic layer)과,상기 제 1 강자성층과 상기 비자성층을 매립하는 형태로 수평하게 형성되어 상기 비자성층의 상부를 노출시키는 제 1 반강자성층(antiferromagnetic layer)과,상기 비자성층과 상기 제 1 반강자성층 상에 형성된 제 2 강자성층과,상기 제 2 강자성층 상에 형성된 제 2 반강자성층을 포함하고,상기 메모리 디바이스는,상기 제 1 강자성층과 상기 비자성층의 상부가 제 1 영역으로 구획되고, 상기 제 1 영역을 제외한 나머지 상부가 제 2 영역으로 구획되는블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제 1 강자성층은,자성체의 자화 방향이 고정되어 있는 고정층(fixed layer)이고,상기 제 2 강자성층은,외부 자극에 의해 자성체의 자화 방향이 변화되는 자유층(free layer)이며, 자기 구조체인 블로흐 포인트(Bloch point)를 포함하는블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
3 3
제 2 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 반강자성층은,상기 제 2 강자성층의 표면 자화가 상기 외부 자극에 의해 변화되는 것을 방지하도록 기능하는블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
4 4
제 2 항에 있어서,상기 블로흐 포인트는,상기 제 1 영역에 임계세기 이상의 전류가 수직 방향으로 인가될 때 형성되는블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
5 5
제 2 항에 있어서,상기 블로흐 포인트는 외부 전류에 의하여 움직이며,임계세기 이상의 상기 외부 전류가 수직 방향으로 인가될 때 상기 제 2 영역에 있는 블로흐 포인트가 상기 제 1 영역으로 이동하는블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
6 6
제 2 항에 있어서,상기 블로흐 포인트의 이동은,상기 제 1 영역 내에 있는 상기 자유층의 자화 방향의 반전을 일으키는블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
7 7
제 6 항에 있어서,상기 자유층의 자화 방향은,상기 제 1 영역 내에 있는 상기 자유층의 박막의 상단 위쪽 자화 방향이 상단 아래쪽 자화 방향으로 반전되거나 또는 상기 제 1 영역 내에 있는 상기 자유층의 박막의 상단 아래쪽 자화 방향이 상단 위쪽 자화 방향으로 반전되는블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
8 8
제 7 항에 있어서,상기 자유층의 자화 방향의 반전은,상기 고정층의 자화 방향과 상기 자유층의 자화 방향이 같을 때 저항이 상대적으로 낮고, 상기 고정층의 자화 방향과 상기 자유층의 자화 방향이 다를 때 저항이 상대적으로 높아지는 거대 자기저항(GMR: Giant magneto-resistance) 또는 터널링 자기저항(TMR: Tunneling magneto-resistance)을 이용하는블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
9 9
제 1 항에 있어서,상기 제 1 강자성층은,코발트, 코발트-철-보론 합금, 코발트-철 합금 중 어느 하나인블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
10 10
삭제
11 11
제 1 항에 있어서,상기 비자성층은,비자성 금속 또는 절연체 중 어느 하나인블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
12 12
제 11 항에 있어서,상기 비자성층은,구리 또는 크롬인블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
13 13
삭제
14 14
제 1 항에 있어서,상기 제 2 강자성층은,니켈-철 합금, 코발트, 니켈, 철 중 어느 하나인블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
15 15
삭제
16 16
제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 반강자성층 각각은,이리듐-망간 합금, 코발트-산화니켈 합금, 망간-플레티넘 합금, 페로망간, 산화코발트 중 어느 하나인블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
17 17
삭제
18 18
제 1 항에 있어서,상기 제 1 강자성층과 비자성층은,소정 간격만큼 이격된 두 개의 적층 구조체로 형성되며, 하나의 적층 구조체는 정보의 기록소자로 기능하고, 다른 하나의 적층 구조체는 정보의 판독소자로 기능하는블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
19 19
제 1 항에 있어서,상기 제 1 강자성층과 비자성층은,하나의 적층 구조체로 형성되어 정보의 기록소자 또는 정보의 판독소자로 기능하는블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
20 20
제 1 항에 있어서,상기 소정 패턴 구조는,원형, 사각형, 다각형 중 어느 하나인블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
21 21
베이스 상에 소정 패턴 구조의 제 1 강자성층을 형성하는 단계와,상기 제 1 강자성층 상에 비자성층을 형성하는 단계와,상기 제 1 강자성층과 상기 비자성층을 매립하는 형태로 수평하게 형성되며, 상기 비자성층의 상부를 노출시키는 제 1 반강자성층을 형성하는 단계와,상기 비자성층과 상기 제 1 반강자성층 상에 제 2 강자성층을 형성하는 단계와,상기 제 2 강자성층 상에 제 2 반강자성층을 형성하는 단계를 포함하는 블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스의 제조 방법
22 22
제 21 항에 있어서,상기 제 1 강자성층은,자성체의 자화 방향이 고정되어 있는 고정층(fixed layer)이고,상기 제 2 강자성층은,외부 자극에 의해 자성체의 자화 방향이 변화되는 자유층(free layer)이며, 자기 구조체인 블로흐 포인트(Bloch point)를 포함하는블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스의 제조 방법
23 23
제 21 항에 있어서,상기 제 1 강자성층과 비자성층은,소정 간격만큼 이격된 두 개의 적층 구조체로 형성되며, 하나의 적층 구조체는 정보의 기록소자로 기능하고, 다른 하나의 적층 구조체는 정보의 판독소자로 기능하는블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스의 제조 방법
24 24
제 21 항에 있어서,상기 제 1 강자성층과 비자성층은,하나의 적층 구조체로 형성되어 정보의 기록소자 또는 정보의 판독소자로 기능하는블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스의 제조 방법
25 25
블로흐 포인트를 이용한 메모리 디바이스에 있어서,제 1 반강자성층(antiferromagnetic layer)과,상기 제 1 반강자성층 상에 형성된 제 1 강자성층(ferromagnetic layer)과,상기 제 1 강자성층 상에 형성된 소정 패턴 구조의 비자성층(non-magnetic layer)과,상기 비자성층 상에 형성된 제 2 강자성층과,상기 비자성층과 상기 제 2 강자성층을 매립하는 형태로 수평하게 형성되어 상기 제 2 강자성층의 상부를 노출시키는 제 2 반강자성층을 포함하고,상기 메모리 디바이스는,상기 비자성층과 제 2 강자성층의 하부가 제 1 영역으로 구획되고, 상기 제 1 영역을 제외한 나머지 하부가 제 2 영역으로 구획되는블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
26 26
제 25 항에 있어서,상기 제 1 강자성층과 비자성층은,소정 간격만큼 이격된 두 개의 적층 구조체로 형성되며, 하나의 적층 구조체는 정보의 기록소자로 기능하고, 다른 하나의 적층 구조체는 정보의 판독소자로 기능하는블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
27 27
제 25 항에 있어서,상기 제 1 강자성층과 비자성층은,하나의 적층 구조체로 형성되어 정보의 기록소자 또는 정보의 판독소자로 기능하는블로흐 포인트 구조체를 이용한 메모리 디바이스
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 울산과학기술원 해외대형연구시설활용연구지원사업 자성 솔리톤의 3차원 스핀구조 및 동역학 연구
2 미래창조과학부 울산과학기술원 해외우수연구기관유치사업 방사광 가속기 현미경을 이용한 스핀 동역학 연구
3 미래창조과학부 대구경북과학기술원 (2-3한국연구재단)로렌스 버클리 국립연구소-DGIST 공동연구센터 (2-3한국연구재단)로렌스 버클리 국립연구소-DGIST 공동연구센터
4 미래창조과학부 대구경북과학기술원 나노구조 반강자성체 자구의 동역학 관찰 나노구조 반강자성체 자구의 동역학 관찰
5 미래창조과학부 고려대학교 산학협력단 미래소재디스커버리사업 설계기반 Spin-Orbitronics 소재개발