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사각 형상이고, 실리콘 멤브레인 및 설정된 두께 이하로 형성되는 유리막 중 어느 하나의 재료로 구성된 측정 기판; 상기 측정 기판의 상부에 위치하고, 백금 및 이리듐을 사용하여 제작되고, 백금을 주 재료로 사용할 경우, 상기 백금과 상기 측정 기판 사이에 크롬 및 타이타늄나이트라이드(TiN) 중 어느 하나가 적층되어 상기 측정 기판과 상기 백금이 접착되고, 크롬 및 백금이 상기 측정 기판 상에 차례로 증착되는 방식으로 제작되고, CVD, 스퍼터링, ALD, 졸-겔 법, 스핀 코팅 중 어느 하나의 방법으로 증착되는 다수개의 온도 측정 회로; 상기 다수개의 온도 측정 회로의 상부에 위치하고, 스핀 코팅에 의해 PDMS(polydimethylsiloxane) 또는 SiO2로 형성되며, 상단에서 발생된 열이 하부로 전달될 때 열손실을 줄이기 위해 1
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제 2항에 있어서, 상기 온도 측정 센서는 TCR 방법을 이용한 온도 측정 시 온도 측정 센서와 연결되는 두 개의 전극을 하나의 저항체로 구성하고 세포의 배양 혹은 약물 반응에 따른 온도를 측정하는 것을 특징으로 하는 고감도 바이오 센서 키트
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제 2항에 있어서, 상기 측정 기판 상의 상기 온도 측정 회로와 상기 임피던스 측정 회로가 형성된 영역에 세포 배양이 가능한 배지 영역을 형성하고 상기 배지는 상기 측정 기판 상에 적어도 2개 이상 설치되는 것을 특징으로 하는 고감도 바이오 센서 키트
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제 2항에 있어서, 상기 측정기판은 센서의 전체 면적이 수㎛2 내지 수cm2 의 범위로 형성되는 것을 특징으로 하는 고감도 바이오 센서 키트
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제 2항에 있어서, 상기 측정 기판에 형성되는 다수개의 전극은 기판 외부의 장치들과 전기적 연결을 수행하도록 배선(wiring)되는 것을 특징으로 하는 실시간 고감도 바이오 센서 키트
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제 2항에 있어서, 상기 온도 측정 회로 및 상기 임피던스 측정 회로는 온도 및 임피던스를 자체적으로 측정 할 수 있는 기능을 가진 리더기와 연결되고, 특정 세포의 약물별 반응 또는 다양한 종류의 세포에서의 반응을 측정 하는 것을 특징으로 하는 고감도 바이오 센서 키트
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사각 형상이고, 실리콘 멤브레인 및 설정된 두께 이하로 형성되는 유리막 중 어느 하나의 재료로 구성된 측정 기판의 양측에 실리콘나이트라이드(Si3N4)를 도포한 후 KOH 에칭방식으로 상기 기판을 구성하는 실리콘을 식각하여 두께를 감소시키는 단계; 상기 측정 기판에 셰도우 마스크를 이용하여 온도 측정 회로의 패턴 형성 영역에 노광 및 현상하는 단계;스퍼터링으로 상기 온도 측정 회로 패턴에 일치하도록 전도물질을 증착하는 단계; 상단에서 발생된 열이 하부로 전달될 때 열손실을 줄이기 위해, 상기 온도 측정 회로 패턴에 일치하도록 증착된 전도물질의 상부에 PDMS(polydimethylsiloxane) 또는 SiO2을 스핀 코팅하여 1
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제 12항에 있어서,상기 측정 기판 상의 상기 온도 측정 회로와 상기 임피던스 측정 회로가 형성된 영역에 세포 배양이 가능한 배지 영역을 형성하는 단계; 및 상기 배지 영역을 외부와 차단하는 절연벽을 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 배지 영역은 상기 배지 영역은 상기 측정 기판 상에 적어도 2개 이상 설치되는 것을 특징으로 하는 고감도 바이오 센서 키트 제조방법
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