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인쇄용 도장 제조방법

  • 기술번호 : KST2019003771
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 인쇄용 도장 제조방법에 대한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 나노다발부로 인쇄면을 구성하여 고품위의 인쇄가 가능한 인쇄용 도장 제조방법에 대한 것이다. 본 발명은 기판의 상면에 제1 감광제막을 형성하는 단계; 제1 포토리소그래피 공정으로 상기 제1 감광제막을 패터닝하여 제1 홀을 형성하는 단계; 및 상기 제1 홀을 통해 외부로 노출되는 상기 기판의 제1 식각부를 식각하여, 복수개의 나노다발들을 포함하는 제1 나노다발부를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 나노다발부를 형성하는 단계는 상기 기판에 대하여 이방성 식각 특성을 갖는 식각액 내에 상기 기판을 제공하는 단계를 포함하는 인쇄용 도장 제조방법을 제공한다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020170134832 (2017.10.17)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0043029 (2019.04.25) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문제현 대전광역시 유성구
2 강승열 대전광역시 유성구
3 김주연 대전시 중구
4 유병곤 충북 영동군
5 조남성 대전광역시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-1023272-09
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번호 청구항
1 1
기판의 상면에 제1 감광제막을 형성하는 단계;제1 포토리소그래피 공정으로 상기 제1 감광제막을 패터닝하여 제1 홀을 형성하는 단계; 및상기 제1 홀을 통해 외부로 노출되는 상기 기판의 제1 식각부를 식각하여, 복수개의 나노다발들을 포함하는 제1 나노다발부를 형성하는 단계를 포함하고,상기 제1 나노다발부를 형성하는 단계는 상기 기판에 대하여 이방성 식각 특성을 갖는 식각액 내에 상기 기판을 제공하는 단계를 포함하는 인쇄용 도장 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 기판의 하면에 내산성 보호막을 형성하는 단계를 더 포함하는 인쇄용 도장 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 기판은 실리콘을 포함하는 인쇄용 도장 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 식각액은 질산은(AgNO3) 및 불산(HF)을 포함하는 인쇄용 도장 제조방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 기판 및 상기 제1 나노다발부 상에 형상 전사 수지를 도포하여, 베이스부 및 상기 제1 나노다발부로부터 전사된 제2 나노다발부를 형성하는 단계를 더 포함하는 인쇄용 도장 제조방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 형상 전사 수지 도포 전에,상기 기판 및 상기 제1 나노다발부에 표면처리를 하는 단계를 더 포함하는 인쇄용 도장 제조방법
7 7
제 5 항에 있어서,상기 베이스부 하면에 지지층을 부착하는 단계를 더 포함하는 인쇄용 도장 제조방법
8 8
제 1 항에 있어서,상기 기판 및 상기 제1 나노다발부의 상면에 제2 감광제막을 형성하는 단계;제2 포토리소그래피 공정으로 상기 제2 감광제막을 패터닝하여 제2 홀을 형성하는 단계; 및상기 제2 홀을 통해 외부로 노출되는 상기 기판의 제2 식각부를 식각하여 베이스부를 형성하는 단계를 더 포함하되,패터닝된 상기 제2 감광제막은 상기 제1 나노다발부를 덮는 인쇄용 도장 제조방법
9 9
제 8 항에 있어서,상기 베이스부 하면에 지지층을 부착하는 단계를 더 포함하는 인쇄용 도장 제조방법
10 10
제 1 항에 있어서,상기 제1 나노다발부를 형성하는 단계는,은(Ag) 입자들이 상기 기판의 상면에 로딩되는 단계 및 상기 은 입자들을 촉매로 하여 불산(HF)이 상기 기판과 반응하는 단계를 포함하는 인쇄용 도장 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.