요약 | 레이저 이온가속용 격자 구조체 타겟은 나노 구조의 격자 구조체, 상기 격자 구조체 상부에 형성되는 금속 박막, 그리고 상기 격자 구조체 하부에 형성되는 고체 타겟을 포함한다. |
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Int. CL | H01J 27/24 (2006.01.01) G21B 1/19 (2006.01.01) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1020180124043 (2018.10.17) |
출원인 | 한국전자통신연구원 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2019-0043106 (2019.04.25) 문서열기 |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 |
대한민국 | 1020170134874 | 2017.10.17
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법적상태 | 공개 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | N |
심사청구항수 | 1 |