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2차 고조파를 이용한 초고해상도 광활성 원자 현미경

  • 기술번호 : KST2019003784
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 2차 고조파를 이용한 초고해상도 광활성 원자 현미경에 관한 것이다. 상기 광활성 원자 현미경은, 시료를 열탄성 팽창시키기 위하여, 상기 대물대의 소정의 위치로 사전 설정된 기준 주파수의 펄스 레이저 빔을 포커싱하여 제공하는 광활성용 광 제공부; 말단부에 캔틸레버 팁이 장착된 캔틸레버; 상기 캔틸레버 팁의 진동에 따라 변화되는 캔틸레버 팁의 위치에 대응되는 신호를 검출하여 제공하는 신호 검출부; 상기 신호 검출부로부터 제공되는 신호들로부터 1차 고조파 신호 및 2차 고조파 신호를 검출하여 출력하는 록인 증폭기 모듈; 상기 록인 증폭기 모듈로부터 제공된 1차 고조파 신호 및 2차 고조파 신호를 이용하여 각각 상기 시료에 대한 제1 초고해상도 영상 및 제2 초고해상도 영상을 생성하는 영상 신호 처리부; 및 상기 캔틸레버 및 상기 이송 스테이지의 움직임을 제어하는 현미경 제어기; 를 구비하고, 상기 현미경 제어기의 제어에 따라 상기 캔틸레버 팁이 시료의 표면에 접촉되도록 구성되어, 시료의 열탄성 팽창에 따른 캔틸레버 팁의 움직임을 감지하여 시료에 대한 광학적 특성을 검출한다. 상기 2차 고조파 신호를 이용한 제2 초고해상도 영상은 1차 고조파 신호에 따른 제1 초고해상도 영상보다 더 좋은 신호 대비(Contrast)를 갖게 되어, 해상도를 향상시킬 수 있게 된다.
Int. CL G01Q 60/24 (2010.01.01) G01N 21/17 (2006.01.01)
CPC G01Q 60/24(2013.01) G01Q 60/24(2013.01) G01Q 60/24(2013.01)
출원번호/일자 1020170134434 (2017.10.17)
출원인 포항공과대학교 산학협력단, 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0042863 (2019.04.25) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.10.17)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김철홍 경상북도 포항시 남구
2 김윤석 서울특별시 강남구
3 이승현 경상북도 포항시 남구
4 권오웅 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이지연 대한민국 서울특별시 관악구 남부순환로 ****, ***호 제니스국제특허법률사무소 (봉천동, 청동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
2 성균관대학교 산학협력단 경기도 수원시 장안구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-1020041-44
2 보정요구서
Request for Amendment
2017.10.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0152464-19
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2017-1094610-81
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.03.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.05.09 수리 (Accepted) 9-1-2018-0021885-94
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.09.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0637943-63
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2018-1143203-85
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.12.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1254420-56
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.12.13 수리 (Accepted) 1-1-2018-1254419-10
10 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination
2019.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0043563-19
11 출원심사처리보류통지서
Notice of Deferment of Processing of Application Examination
2019.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0446947-55
12 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination
2019.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0067176-04
13 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination
2019.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0089669-16
14 등록결정서
Decision to grant
2019.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0703300-43
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
대물대에 탑재되는 시료에 대한 초고해상도 영상을 제공하는 광활성 원자 현미경에 있어서,시료를 스캐닝하기 위하여 상기 대물대를 XY 방향으로 이송시키도록 구성된 이송 스테이지;시료를 열탄성 팽창시키기 위하여, 상기 대물대의 소정의 위치로 사전 설정된 기준 주파수(fr)를 갖는 펄스 레이저 빔을 포커싱하여 제공하는 광활성용 광 제공부;말단부에 캔틸레버 팁이 장착되어 상기 대물대의 상부에 위치하는 캔틸레버;상기 캔틸레버 팁의 진동에 따라 변화되는 캔틸레버 팁의 위치에 대응되는 신호를 검출하여 제공하는 신호 검출부;상기 신호 검출부로부터 제공되는 신호들로부터 1차 고조파 신호 및 2차 고조파 신호를 검출하여 출력하는 록인 증폭기 모듈;상기 록인 증폭기 모듈로부터 제공된 1차 고조파 신호를 이용하여 상기 시료에 대한 제1 초고해상도 영상을 생성하고, 상기 록인 증폭기 모듈로부터 제공된 2차 고조파 신호를 이용하여 상기 시료에 대한 제2 초고해상도 영상을 생성하는 영상 신호 처리부; 및상기 캔틸레버 및 상기 이송 스테이지의 움직임을 제어하는 현미경 제어기; 를 구비하고, 상기 기준 주파수(fr)는 광활성용 광 제공부의 광원으로부터 시료로 제공되는 펄스 레이저 빔의 반복률(Repetition rate)과 동일한 주파수인 것을 특징으로 하며,상기 현미경 제어기의 제어에 따라 상기 캔틸레버 팁이 시료의 표면에 접촉되도록 구성되어, 시료의 열탄성 팽창에 따른 캔틸레버 팁의 움직임을 감지하여 시료에 대한 광학적 특성을 검출하는 것을 특징으로 하는 초고해상도 광활성 원자 현미경
2 2
제1항에 있어서, 상기 현미경 제어기는, 상기 신호 검출부로부터 캔틸레버 팁의 위치에 따른 신호를 수신하여 상기 영상 신호 처리부로 제공하고, 상기 영상 신호 처리부는, 상기 현미경 제어기로부터 제공된 신호를 이용하여 열탄성 팽창된 시료에 대한 표면 높이 정보를 포함하는 topography 영상을 생성하여 출력하는 토포그래피 처리부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 초고해상도 광활성 원자 현미경
3 3
제1항에 있어서, 상기 록인 증폭기 모듈은,상기 신호 검출부로부터 제공되는 신호들로부터 상기 기준 주파수(fr)에 대응되는 1차 고조파 신호를 검출하여 출력하는 제1 록인 증폭기; 및 상기 신호 검출부로부터 제공되는 신호들로부터 상기 기준 주파수의 2배의 주파수(2fr)에 대응되는 2차 고조파 신호(2nd harmonic response)를 검출하여 출력하는 제2 록인 증폭기; 를 구비하는 것을 특징으로 하는 초고해상도 광활성 원자 현미경
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서, 상기 신호 검출부는,상기 캔틸레버의 상면에 위치한 광 반사층으로 레이저 빔을 조사하는 움직임 감지용 광원; 및상기 움직임 감지용 광원으로부터 조사된 레이저 빔이 상기 캔틸레버의 광 반사층으로부터 반사된 광을 검출하여 전기적 신호로 변환하여 출력하는 광 위치 검출소자;을 구비하여, 상기 캔틸레버 팁의 진동에 따라 변화되는 캔틸레버 팁의 위치에 대응되는 신호를 검출하여 제공하는 것을 특징으로 하는 초고해상도 광활성 원자 현미경
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 포항공과대학교 산학협력단 선도연구센터육성사업(이공학-SRC/ERC) 국부투사영상과 햅틱기반 수술용 로봇기술 연구센터
2 보건복지부 포항공과대학교 산학협력단 미래보건기술개발사업 심혈관 질환 진단을 위한 기능성 초음파/광파 융합 카테터 개발
3 과학기술정보통신부 포항공과대학교 산학협력단 IT명품인재양성사업 [후원금_산학수익]포스텍 미래 IT 융합연구원
4 미래창조과학부 성균관대학교산학협력단 기초연구사업 초박형 System-On-Skin 소자용 저차원 무기물 전자소재 및 공정 연구