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전기화학 증착 시스템 및 이를 이용한 전기화학 증착 방법

  • 기술번호 : KST2019003902
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전기화학 증착 시스템 및 이를 이용한 전기화학 증착 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반응부의 반응 용액의 농도를 일정하게 유지하기 위해 반응부로 공급되는 반응 용액의 유량을 조절하는 펌프 및 반응전 반응 용액을 가열하여 반응부로 공급하기 위한 가열부를 포함하는 전기화학 증착 시스템 및 이를 이용하여 공정에 사용되는 반응 용액의 양을 조절하여 폐용액의 양을 최소화하고, 반응 용액의 온도를 기판의 온도와 유사한 온도까지 올려 공정 효율을 높일 수 있으며, 이중 비커를 통한 간접적인 열에너지 전달이 아닌 핫 플레이트를 통한 직접적인 열에너지를 전달할 수 있다.
Int. CL C23C 16/448 (2006.01.01) C23C 16/458 (2006.01.01) C23C 16/46 (2006.01.01)
CPC C23C 16/4488(2013.01) C23C 16/4488(2013.01) C23C 16/4488(2013.01)
출원번호/일자 1020170135030 (2017.10.18)
출원인 인제대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0043236 (2019.04.26) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.10.18)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인제대학교 산학협력단 대한민국 경남 김해시 인제로 *

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류혁현 부산광역시 연제구
2 홍예진 경상남도 김해시 인제

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김태선 대한민국 서울(해산으로 인한 퇴사 후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-1025063-10
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2017-5214791-60
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.09.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0040215-10
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.04.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0278213-10
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.06.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0613918-68
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.06.17 수리 (Accepted) 1-1-2019-0613912-95
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0786212-02
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2019.11.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-1237806-67
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-1237805-11
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.12.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0928763-23
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5082225-25
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149036-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반응 용액을 저장하는 반응 용액 저장부; 전기화학 증착 반응을 수행하는 반응부; 상기 반응 용액 저장부와 상기 반응부 사이에서 상기 반응 용액 저장부로부터 상기 반응부로 도입되는 반응 용액의 유량을 조절하는 유량조절부; 상기 유량조절부와 상기 반응부 사이에서 반응 용액을 가열하는 가열부; 및 상기 반응부로부터 배출되는 페반응 용액을 저장하는 폐반응 용액 저장부; 를 포함하는 전기 화학 증착 시스템
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 반응용액 저장부; 유량 조절부, 가열부 및 반응부를 순차적으로 연결하는 반응 용액 유입관 및 반응부; 유량조절부; 및 폐반응 용액 저장부를 순차적으로 연결하는 폐반응 용액 유출관을 포함하는 것인 전기 화학 증착 시스템
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 전기 화학 증착 반응을 수행하는 반응부는 상기 반응 용액 저장부로부터 유입되는 반응 용액을 수용하여 전기 화학 증착 반응이 수행되는 챔버; 상기 챔버의 하면을 형성하고 박막이 형성되는 기판; 상기 챔버 측면으로 삽입되는 기준전극; 및상기 기판 하부에서 기판으로 열을 인가하는 핫플레이트(hot plate);를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기화학 증착 시스템
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 기판과 상기 챔버 사이에는 프로파일 또는 오링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기화학 증착 시스템
5 5
제 3 항에 있어서, 상기 챔버 측면으로 삽입되는 기준 전극은 실링부에 의해 실링되는 것인전기화학 증착 시스템
6 6
제 3 항에 있어서, 상기 반응 용액 유입관 및 폐반응 용액 유출관은 상기 반응부의 챔버로 연결되는 것인 전기화학 증착 시스템
7 7
제 3 항에 있어서,상기 챔버 상면에는 상대 전극이 실장되는 홈이 형성되는 것인 전기화학 증착 시스템
8 8
제 1 항에 있어서,상기 가열부는 중탕 방식으로 반응 용액을 가열하는 것인 전기화학 증착 시스템
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 인제대학교 이공학개인기초연구지원 무에너지 고안정 고효율 광전기화학 전지 시스템 연구