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금속 스크랩/스펀지를 수집하는 단계; 상기 금속 스크랩/스펀지를 수소화시켜 제1 분말을 형성하는 단계; 상기 제1 분말을 볼 밀링을 수행하여 분쇄시켜 제2 분말을 형성하는 단계; 상기 제2 분말을 진공로에 장입시키고, 탈수소화시켜 제3 분말을 형성하는 단계; 상기 제3 분말을 수소화시켜 제4 분말을 형성하는 단계; 상기 제 4 분말을 탈수소화시켜 제5 분말을 형성하는 단계; 및상기 제4 분말 및 제5 분말을 형성하는 단계를 반복적으로 수행하여 고순도 금속분말을 형성하는 단계; 를 포함하고, 상기 고순도 금속분말은, 산소 농도가 저감된 것을 특징으로 하고,상기 제2 분말을 탈수소화시켜 제3 분말을 형성하는 단계에 있어서,상기 제2 분말의 내부에 활성수소(atomic hydrogen)를 형성하고, 상기 활성수소는 상기 제2 분말과 상기 제2 분말의 외부의 기체가 접촉하는 계면에서 수소 분자를 발생시켜 수소 가스를 아웃 갯싱(out-gassing)시키고, 상기 수소 가스는 상기 제2 분말의 산소 성분과 결합하여 제2분말의 산소 농도를 저하시켜 상기 제3 분말을 형성하는 것을 특징으로 하는 고순도 금속분말의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 금속 스크랩/스펀지은 티타늄(Ti), 하프늄(Hf), 지르코늄(Zr), 탄탈럼(Ta) 및 이들을 혼합한 혼합물 중 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 고순도 금속분말의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제4 분말 및 제5 분말을 형성하는 단계를 반복적으로 수행하여 고순도 금속분말을 형성하는 단계에 있어서, 상기 제4 분말 및 제5 분말을 형성하는 단계를 연속적으로 반복 수행하는 것을 특징으로 하는 고순도 금속분말의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제4 분말 및 제5 분말을 형성하는 단계를 반복적으로 수행하는 단계는, 상기 제4 분말 또는 제5 분말이 배치된 상기 진공로의 온도 또는 진공도를 변경시켜 반복 수행하는 것을 특징으로 하는 고순도 금속분말의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 금속 스크랩/스펀지를 수소화시켜 제1 분말을 형성하는 단계에 있어서, 상기 제1 분말은 취성 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 고순도 금속분말의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제1 분말을 분쇄시켜 제2 분말을 형성하는 단계에 있어서, 상기 제2 분말은 상기 제1 분말과 비교하여 산소 농도가 증가한 것을 특징으로 하는 고순도 금속분말의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제2 분말을 탈수소화시켜 제3 분말을 형성하는 단계에 있어서, 상기 탈수소화 공정은, 상기 제2 분말을 진공로에 장입시키고,상기 진공로의 진공도는 10-2torr 내지 10-5torr 범위로 형성하고, 상기 진공로의 온도는 400℃ 내지800℃ 범위로 형성하여 상기 제3 분말을 형성하는 것을 특징으로 하는 고순도 금속분말의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제3 분말을 수소화시켜 제4 분말을 형성하는 단계에 있어서,상기 진공로의 진공도를 상압(Room pressure) 내지 10-2torr에서 10분 내지 3시간을 유지시키거나, 또는 상기 진공로의 온도를 상온(Room temperature) 내지 400℃에서 10분 내지 3시간을 유지시켜 상기 제4 분말을 형성하는 것을 특징으로 하는 고순도 금속분말의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제2 분말을 탈수소화시켜 제3 분말을 형성하는 단계에 있어서,상기 제3 분말은 상기 제2 분말과 비교하여 산소 농도가 저감된 것을 특징으로 하는 고순도 금속분말의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제 4 분말을 탈수소화시켜 제5 분말을 형성하는 단계에 있어서, 상기 탈수소화 공정은, 상기 진공로의 진공도를 10-2torr 내지 10-5torr 범위로 형성하거나, 또는 상기 진공로의 온도는 400℃ 내지900℃ 범위로 형성하여 상기 제5 분말을 형성하는 것을 특징으로 하는 고순도 금속분말의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제4 분말 및 제5 분말을 형성하는 단계를 반복적으로 수행하여 고순도 금속분말을 형성하는 단계에 있어서, 상기 제4 분말 및 제5 분말을 형성하는 단계는 적어도 1회 이상 반복 수행하고,상기 고순도 금속분말은 상기 반복 단계에서 반복 회수에 의해 지속적으로 산소 농도가 저감되는 것을 특징으로 하는 고순도 금속분말의 제조방법
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티타늄 스크랩/스펀지를 수소화시켜 제1 티타늄 분말을 형성하는 단계;상기 제1 티타늄 분말을 볼 밀링을 수행하여 분쇄시켜 제2 티타늄 분말을 형성하는 단계; 상기 제2 티타늄 분말을 진공로에 장입시키고, 상기 진공로의 진공도를 10-2 torr 내지 10-5torr로 형성하고 10분 내지 3시간을 유지시켜 상기 제2 티타늄 분말을 탈수소화시켜 제 3 티타늄 분말을 형성하는 단계; 상기 진공로의 진공도를 500torr 내지 800torr 로 변경시키고, 상기 진공로에 수소 가스를 불어 넣고 10분 내지3시간을 유지시켜 상기 제3 티타늄 분말을 수소화시켜 제4 티타늄 분말을 형성하는 단계; 상기 진공로의 수소 가스를 배기시키고, 상기 진공로의 진공도를 10-2torr 내지 10-5torr 로 변경시켜 상기 제4 티타늄 분말을 탈수소화시켜 제5 티타늄 분말을 형성하는 단계; 및 상기 제4 티타늄 분말 및 제5 티타늄 분말을 형성하는 단계를 반복적으로 수행하여 산소 농도가 저감된 고순도 티타늄분말을 형성하는 단계; 를 포함하되, 상기 제2 티타늄 분말을 상기 진공로에 장입시킨 후에 상기 고순도 티타늄 분말을 형성할 때까지 상기 진공로의 내부를 400℃ 내지 700℃ 분위기로 유지시키는 것을 특징으로 하고,상기 제2 티타늄 분말을 탈수소화시켜 제3 티타늄 분말을 형성하는 단계에 있어서,상기 제2 티타늄 분말의 내부에 활성수소(atomic hydrogen)를 형성하고, 상기 활성수소는 상기 제2 티타늄 분말과 상기 제2 티타늄 분말의 외부의 기체가 접촉하는 계면에서 수소 분자를 발생시켜 수소 가스를 아웃 갯싱(out-gassing)시키고, 상기 수소 가스는 상기 제2 티타늄 분말의 산소 성분과 결합하여 제2 티타늄 분말의 산소 농도를 저하시켜 상기 제3 티타늄 분말을 형성하는 것을 는 것을 특징으로 하는 고순도 티타늄 분말의 제조방법
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제 13항에 있어서, 상기 제4 티타늄 분말 및 제5 티타늄 분말을 형성하는 단계를 반복적으로 수행하여 고순도 금속분말을 형성하는 단계에 있어서, 상기 제4 티타늄 분말 및 제5 티타늄 분말을 형성하는 단계를 연속적으로 반복 수행하는 것을 특징으로 하는 고순도 티타늄 분말의 제조방법
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제 13항에 있어서,상기 제2 티타늄 분말을 탈수소화시켜 제3 티타늄 분말을 형성하는 단계에 있어서, 상기 탈수소화 공정은, 상기 진공로의 진공도는 10-2torr 내지 10-5torr 범위로 형성하거나, 또는 상기 진공로의 온도는 400℃ 내지 800℃ 범위로 형성하여 상기 제3 티타늄 분말을 형성하는 것을 특징으로 하는 고순도 티타늄 분말의 제조방법
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제 13항에 있어서, 상기 제4 티타늄 분말 및 제5 티타늄 분말을 형성하는 단계를 반복적으로 수행하여 고순도 금속분말을 형성하는 단계에 있어서, 상기 제4 티타늄 분말 및 제5 티타늄 분말을 형성하는 단계는 적어도 1회 이상 반복 수행하고,상기 고순도 티타늄 분말은 상기 반복 단계에서 반복 회수에 의해 지속적으로 산소 농도가 저감되는 것을 특징으로 하는 고순도 티타늄 분말의 제조방법
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티타늄 스크랩/스펀지를 수소화시켜 제1 티타늄 분말을 형성하는 단계;상기 제1 티타늄 분말을 볼 밀링을 수행하여 분쇄시켜 제2 티타늄 분말을 형성하는 단계; 상기 제2 티타늄 분말을 진공로에 장입시키고, 상기 진공로의 온도를 800 ℃ 내지 900℃까지 승온시킨 후, 상기 제2 티타늄 분말을 탈수소화시켜 제 3 티타늄 분말을 형성하는 단계; 상기 진공로의 온도를 400℃ 내지 700℃ 로 변경시키고, 상기 진공로에 수소 가스를 불어 넣고 10분 내지3시간을 유지시켜 상기 제3 티타늄 분말을 수소화시켜 제4 티타늄 분말을 형성하는 단계; 상기 진공로의 수소 가스를 배기시키고, 상기 진공로의 온도를 800℃ 내지 900℃로 변경시켜 상기 제4 티타늄 분말을 탈수소화시켜 제5 티타늄 분말을 형성하는 단계; 및상기 제4 티타늄 분말 및 제5 티타늄 분말을 형성하는 단계를 반복적으로 수행하여 산소 농도가 저감된 고순도 티타늄분말을 형성하는 단계; 를 포함하되, 상기 제2 티타늄 분말을 상기 진공로에 장입시킨 후에 상기 진공로의 내부 진공도를 10-2torr 내지 10-5torr분위기로 상기 고순도 티타늄 분말을 형성할 때까지 유지시키는 것을 특징으로 하고,상기 제2 티타늄 분말을 탈수소화시켜 제3 티타늄 분말을 형성하는 단계에 있어서,상기 제2 티타늄 분말의 내부에 활성수소(atomic hydrogen)를 형성하고, 상기 활성수소는 상기 제2 티타늄 분말과 상기 제2 티타늄 분말의 외부의 기체가 접촉하는 계면에서 수소 분자를 발생시켜 수소 가스를 아웃 갯싱(out-gassing)시키고, 상기 수소 가스는 상기 제2 티타늄 분말의 산소 성분과 결합하여 제2 티타늄 분말의 산소 농도를 저하시켜 상기 제3 티타늄 분말을 형성하는 것을 는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 고순도 티타늄분말의 제조방법
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제 18항에 있어서,상기 고순도 티타늄 분말을 형성한 후 상기 진공로를 냉각시키는 것을 특징으로 하는 고순도 티타늄 분말의 제조방법
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제 18항에 있어서, 상기 제4 티타늄 분말 및 제5 티타늄 분말을 형성하는 단계를 반복적으로 수행하여 고순도 금속분말을 형성하는 단계에 있어서, 상기 제4 티타늄 분말 및 제5 티타늄 분말을 형성하는 단계를 연속적으로 반복 수행하는 것을 특징으로 하는 고순도 티타늄 분말의 제조방법
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제 18항에 있어서,상기 제2 티타늄 분말을 탈수소화시켜 제3 티타늄 분말을 형성하는 단계에 있어서, 상기 탈수소화 공정은, 상기 진공로의 진공도는 10-2torr 내지 10-5torr 범위로 형성하거나, 또는 상기 진공로의 온도는 400℃ 내지 800℃ 범위로 형성하여 상기 제3 티타늄 분말을 형성하는 것을 특징으로 하는 고순도 티타늄 분말의 제조방법
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제 18항에 있어서, 상기 제4 티타늄 분말 및 제5 티타늄 분말을 형성하는 단계를 반복적으로 수행하여 고순도 금속분말을 형성하는 단계에 있어서, 상기 제4 티타늄 분말 및 제5 티타늄 분말을 형성하는 단계는 적어도 1회 이상 반복 수행하고,상기 고순도 티타늄 분말은 상기 반복 단계에서 반복 회수에 의해 지속적으로 산소 농도가 저감되는 것을 특징으로 하는 고순도 티타늄 분말의 제조방법
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제 18항에 있어서, 상기 제4 티타늄 분말 및 제5 티타늄 분말을 형성하는 단계를 반복적으로 수행하여 산소 농도가 저감된 고순도 티타늄분말을 형성하는 단계에 있어서, 상기 고순도 티타늄분말을 형성한 이후에, 상기 진공로를 냉각 시에 상기 진공로는 아르곤(Ar) 또는 진공으로 치환시켜 상기 고순도 티타늄분말의 수소화를 방지하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고순도 티타늄 분말의 제조방법
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