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제1 가스와 제1 가스보다 액화온도가 낮은 제2 가스를 혼합하여 혼합가스를 생성하는 이종가스의 혼합장치로서,제1 가스 봄베에 저장되어 있는 제1 가스를 공급받아 일정량 저장하고 있는 버퍼 탱크와 상기 버퍼 탱크로부터 제1 가스를 시간당 일정한 양으로 가스흐름을 제어하는 제1 질량유량계로 구성되어 제1 가스가 이송되는 제1 가스라인;제2 가스 봄베에 저장되어 있는 제2 가스를 시간당 일정한 양으로 가스흐름을 제어하는 제2 질량유량계와 제2 질량유량계와 병렬로 연결되는 바이패스(by-pass)라인으로 구성되어 제2 가스가 이송되는 제2 가스라인; 및상기 제1 가스라인과 제2 가스라인이 연결되어 유입되는 제1 가스와 제2 가스를 혼합하는 가스혼합라인;이종가스 혼합장치 내부에 배치되어 가스가 액화되지 않도록 하는 열을 제공하기 위한 히터부; 및상기 제1 가스라인, 제2 가스라인, 가스혼합라인 및 히터부 중 적어도 하나를 수차 또는 동시에 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이종가스의 혼합장치
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제1항에 있어서,상기 가스혼합라인은 상기 가스혼합라인으로 유입된 상기 제1 가스와 제2 가스를 균질하게혼합하기 위한 스테틱 믹서(static mixer)와 형성된 혼합가스를 일정 압력으로 승압하기 위한 압축기(compressor)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이종가스의 혼합장치
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제1항에 있어서,상기 가스혼합라인은 형성된 혼합가스를 혼합가스 챔버로 이송하는 것을 특징으로 하는 이종가스의 혼합장치
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제1항에 있어서,상기 이종가스의 혼합장치 내부에 제1 가스 및 제2 가스 이외의 기타 가스를 제거되도록 제1 가스라인 또는 제2 가스라인 일 측에 진공펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이종가스의 혼합장치
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제1항에 있어서,상기 제1 가스는 2,3,3,3-테트라플루오로-2-(트리플루오로메틸)-프로판나이트릴(2,3,3,3-tetrafluoro-2-(trifluoromethyl)-propanenitrile), 1,1,1,3,4,4,4-헵타플루오로-3-(트리플로오로메틸)-2-부타논(1,1,1,3,4,4,4-heptafluoro-3-(trifluoromethyl)-2-butanone) 및 퍼플루오로(2-메틸-3-펜타논)(perfluoro(2-methyl-3-pentanone)) 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 이종가스의 혼합장치
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제1항에 있어서,상기 제2 가스는 이산화탄소(CO2)인 것을 특징으로 하는 이종가스 혼합장치
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제1 가스와 제1 가스보다 액화온도가 낮은 제2 가스를 혼합하여 혼합가스를 생성하는 이종가스의 혼합방법으로서,제1 가스라인에 제1 가스를 공급하고, 제2 가스라인에 제2 가스를 공급하고 가스공급단계;상기 가스공급단계를 통해 공급받은 제1 가스와 제2 가스를 가스혼합라인을 통해 균질하게 혼합하여 혼합가스를 형성하고, 형성된 혼합가스를 혼합가스 챔버로 이송하는 제1 혼합단계; 및제2 가스라인에 구성된 바이패스 라인을 통해 제2 가스만을 가스혼합라인을 거쳐 상기 제1 혼합단계에서 형성된 혼합가스가 들어있는 혼합가스 챔버에 주입하여 제1 가스와 제2 가스가 소정의 비율로 혼합된 혼합가스를 형성하는 제2 혼합단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 혼합가스 제조방법
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제7항에 있어서,상기 제2 혼합단계에서 제2 가스는 상기 혼합가스 챔버 하단을 통해 주입되며,상기 제2 가스가 주입될 때 주입 압력이 시간이 지남에 따라 승압하여 공급하되, 주입 압력이 일정 시간 동안 동일한 압력으로 유지하면서 단계적으로 상승시키는 것을 특징으로 하는 혼합가스 제조방법
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제7항에 있어서,상기 제1 가스는 2,3,3,3-테트라플루오로-2-(트리플루오로메틸)-프로판나이트릴(2,3,3,3-tetrafluoro-2-(trifluoromethyl)-propanenitrile), 1,1,1,3,4,4,4-헵타플루오로-3-(트리플로오로메틸)-2-부타논(1,1,1,3,4,4,4-heptafluoro-3-(trifluoromethyl)-2-butanone) 및 퍼플루오로(2-메틸-3-펜타논)(perfluoro(2-methyl-3-pentanone)) 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 혼합가스 제조방법
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제7항에 있어서,상기 제2 가스는 이산화탄소(CO2), 산소(O2), 질소(N2) 및 육불화황(SF6) 중에서 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 혼합가스 제조방법
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