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테라헤르츠 빔을 출력하는 광원;다면체의 면들 각각에 거울이 결합되어 상기 광원으로부터 입사되는 테라헤르츠 빔을 시편이 위치한 방향으로 반사시키는 회전 다면경; 상기 회전 다면경에서 반사된 테라헤르츠 빔을 상기 시편에 입사시키며, 상기 회전 다면경에서 반사된 테라헤르츠 빔의 주광선이 렌즈의 광축에 대하여 평행해지도록 보정하는 텔레센트릭 세타 렌즈; 및상기 시편에서 반사된 테라헤르츠 빔을 검출하는 검출기를 포함하고,상기 회전 다면경은,기 설정된 방향으로 회전하여 상기 테라헤르츠 빔의 반사 방향을 변경함으로써, 상기 시편에 입사되는 테라헤르츠 빔의 위치를 이동시키는 테라헤르츠 반사 영상 시스템
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제1항에 있어서, 상기 회전 다면경은,상기 테라헤르츠 빔을 상기 시편이 위치한 방향으로 반사시키는 제1 면과 상기 시편에서 반사되어 상기 텔레센트릭 세타 렌즈를 통과한 테라헤르츠 빔을 상기 검출기가 위치한 방향으로 반사시키는 제2 면을 포함하고, 상기 텔레센트릭 세타 렌즈는,상기 시편에서 반사된 테라헤르츠 빔을 상기 제2 면에 입사시키는 테라헤르츠 반사 영상 시스템
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제1항에 있어서, 상기 광원이 시준된(collimated) 테라헤르츠 빔을 출력하지 않는 경우, 상기 광원에서 출력된 테라헤르츠 빔을 시준시켜 상기 회전 다면경에 입사시키는 시준 렌즈; 및상기 시편에서 반사된 테라헤르츠 빔을 집속시켜 상기 검출기에 입사시키는 집광 렌즈를 더 포함하는 테라헤르츠 반사 영상 시스템
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제1항에 있어서, 상기 광원에서 출력된 테라헤르츠 빔을 투과시키고, 상기 회전 다면경에서 반사된 테라헤르츠 빔을 상기 검출기가 위치한 방향으로 반사시키는 빔 가르개(beam splitter)를 더 포함하고,상기 텔레센트릭 세타 렌즈는,상기 시편에서 반사된 테라헤르츠 빔을 상기 회전 다면경에 입사시키며, 상기 화전 다면경은,상기 텔레센트릭 세타 렌즈로부터 입사된 테라헤르츠 빔을 상기 빔 가르개가 위치한 방향으로 반사시키는 테라헤르츠 반사 영상 시스템
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테라헤르츠 빔을 출력하는 광원;일정 각도로 기울기를 가지는 거울을 이용하여 상기 광원으로부터 입사되는 테라헤르츠 빔을 시편이 위치한 방향으로 반사시키는 회전경; 상기 회전경에서 반사된 테라헤르츠 빔을 상기 시편에 입사시키며, 상기 상기 회전 다면경에서 반사된 테라헤르츠 빔의 주광선이 렌즈의 광축에 대하여 평행해지도록 보정하는 텔레센트릭 세타 렌즈; 및상기 시편에서 반사된 테라헤르츠 빔을 검출하는 검출기를 포함하고,상기 회전경은,회전축에 결합된 상기 거울을 기 설정된 방향으로 회전하여 상기 테라헤르츠 빔의 반사 방향을 변경함으로써, 상기 시편에 입사되는 테라헤르츠 빔의 위치를 이동시키는 테라헤르츠 반사 영상 시스템
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제5항에 있어서, 상기 광원이 시준된(collimated) 테라헤르츠 빔을 출력하지 않는 경우, 상기 광원에서 출력된 테라헤르츠 빔을 시준시켜 상기 회전 다면경에 입사시키는 시준 렌즈; 및상기 시편에서 반사된 테라헤르츠 빔을 집속시켜 상기 검출기에 입사시키는 집광 렌즈를 더 포함하는 테라헤르츠 반사 영상 시스템
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테라헤르츠 빔을 출력하는 광원;포물면 거울을 이용하여 상기 광원으로부터 입사되는 테라헤르츠 빔을 시편이 위치한 방향으로 반사시키는 포물면 회전경; 상기 포물면 회전경에서 반사된 테라헤르츠 빔을 상기 시편에 입사시키며, 상기 포물면 상기 회전 다면경에서 반사된 테라헤르츠 빔의 주광선이 렌즈의 광축에 대하여 평행해지도록 보정하는 텔레센트릭 세타 렌즈; 및상기 시편에서 반사된 테라헤르츠 빔을 검출하는 검출기를 포함하고,상기 포물면 거울은,상기 광원으로부터 입사되는 테라헤르츠 빔을 시준시켜 상기 텔레센트릭 세타 렌즈로 반사하며, 상기 포물면 회전경은,회전축에 결합된 포물면 거울을 기 설정된 방향으로 회전하여 테라헤르츠 빔의 반사 방향을 변경함으로써, 상기 시편에 입사되는 테라헤르츠 빔의 위치를 이동시키는 테라헤르츠 반사 영상 시스템
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테라헤르츠 빔을 출력하는 광원;회전축에 결합된 포물면 거울을 이용하여 상기 광원으로부터 입사되는 테라헤르츠 빔을 실린더 형태의 시편이 위치한 방향으로 반사시키는 포물면 회전경; 및상기 실린더 형태의 시편에서 반사된 테라헤르츠 빔을 검출하는 검출기를 포함하고,상기 포물면 거울은,상기 광원으로부터 입사되는 테라헤르츠 빔이 상기 실린더 형태의 시편의 내측에 수직 입사되도록 반사하며, 상기 포물면 회전경은,회전축에 결합된 포물면 거울을 기 설정된 방향으로 회전하여 상기 실린더 형태의 시편에 입사되는 테라헤르츠 빔의 위치를 이동시키는 테라헤르츠 반사 영상 시스템
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