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확산방지층과 산화방지막이 형성된 열전레그 및 열전레그로 구성된 열전모듈

  • 기술번호 : KST2019004549
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 확산방지층과 산화방지막이 형성된 열전레그 및 열전레그로 구성된 열전모듈에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 고온부에 설치되는 열전레그의 구성원소와 전극물질의 상호확산을 막고, 외부환경에 노출되어 열전레그의 휘발이나 산화가 발생하지 않도록 보호막이 형성된 열전레그에 관한 것이다. 이와 같은 본 발명의 해결 과제를 달성하기 위하여, 고온부의 기판에 설치되는 상부기판전극과 저온부의 기판에 설치되는 하부기판전극 사이에 연결되는 복수 개의 열전레그에 있어서, 상기 열전레그의 상부면에 형성되는 확산방지층과 상기 확산방지층의 상부면과 상기 열전레그의 외부면에 형성되어 산화가 방지되는 산화방지막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 확산방지층과 산화방지막이 형성된 열전레그 및 열전레그로 구성된 열전모듈을 제공한다.
Int. CL H01L 35/02 (2006.01.01) H01L 35/32 (2006.01.01) H01L 35/16 (2006.01.01) H01L 35/34 (2006.01.01)
CPC H01L 35/02(2013.01) H01L 35/02(2013.01) H01L 35/02(2013.01) H01L 35/02(2013.01)
출원번호/일자 1020170143048 (2017.10.31)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0048256 (2019.05.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.01.03)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주성재 경상남도 창원시 성산구
2 김봉서 경상남도 창원시 성산구
3 민복기 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-1076512-93
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2019.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2019-0005193-13
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.06.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.08.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0090128-52
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.04.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0251195-23
6 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
 2020.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2020-0578669-41
7 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
 2020.07.03 수리 (Accepted) 1-1-2020-0692098-22
8 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
 2020.08.05 수리 (Accepted) 1-1-2020-0823034-51
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2020-0940399-66
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.09.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0940366-60
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번호 청구항
1 1
고온부의 기판에 설치되는 상부기판전극과 저온부의 기판에 설치되는 하부기판전극 사이에 연결되는 복수 개의 열전레그에 있어서,상기 열전레그의 상부면에 형성되는 확산방지층;상기 확산방지층의 상부면과 상기 열전레그의 외부면에 형성되어 산화가 방지되는 산화방지막;으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 확산방지층과 산화방지막이 형성된 열전레그 및 열전레그로 구성된 열전모듈
2 2
제1항에 있어서,상기 열전레그는,p형과 n형이 교번 배치되어 양단에 구비되는 전극에 의해 서로 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 확산방지층과 산화방지막이 형성된 열전레그 및 열전레그로 구성된 열전모듈
3 3
제1항에 있어서,상기 열전레그는,마그네슘 실리사이드(Mg2Si) 재질로 상부면에 형성되는 확산방지층이 니켈, 코발트, 티타늄, 몰리브덴, 크롬, 철, 스테인리스 강 등의 금속이거나, TaN, TiN, TaSiN, TiSiN, MoSi2, TiSi2, TaSi2 중 어느 하나의 재질인 것을 특징으로 하는 확산방지층과 산화방지막이 형성된 열전레그 및 열전레그로 구성된 열전모듈
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제1항 또는 제3항에 있어서,상기 확산방지층은,상기 열전레그의 상부에 스퍼터링 기법을 사용하여 증착시키는 것을 특징으로 하는 확산방지층과 산화방지막이 형성된 열전레그 및 열전레그로 구성된 열전모듈
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제1항에 있어서,상기 산화방지막은,스퍼터링 기법을 사용하여 증착된 Al 또는 Cr이 대기중 또는 산소분위기에서 온도를 올려 산화되어 상기 열전레그의 상부면과 하부면을 제외한 측면부에 알루미늄 산화막(Al2O3) 또는 크롬 산화막(Cr2O3)이 형성되는 것을 특징으로 하는 확산방지층과 산화방지막이 형성된 열전레그 및 열전레그로 구성된 열전모듈
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국전기연구원 한국전기연구원연구운영비지원 중온열전모듈의 신뢰성 향상을 위한 확산방지층 기술 연구