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선형 모터를 이용한 비접촉 수직 이송 장치에 있어서,물품을 픽업하는 이송부; 및상기 이송부의 측부에 위치하여, 상기 이송부를 이동시키는 선형모터를 포함하되,상기 선형 모터는상기 이송부의 측부에 위치하고 코일이 권취된 이동자가 구비된 적어도 하나 이상의 구동부;상기 이동자로부터 측부방향으로 소정의 거리 이격되어 위치하고, 상기 이송부의 이송방향을 따라 복수가 구비된 자석부를 구비한 레일부; 및상기 구동부의 상부 또는 하부에 위치하는 와전류 제동부를 포함하고,상기 구동부는 상기 이송부가 이동하는 방향으로 소정의 거리가 이격되어 위치한 제1 구동부 및 제2 구동부를 포함하고,상기 제1 구동부는 상기 이송부의 이동방향에 수직된 방향으로 소정의 거리 이격되어 위치하는 제1 이동자 및 제2 이동자를 포함하고,상기 제2 구동부는 상기 이송부의 이동방향에 수직된 방향으로 소정의 거리 이격되어 위치하는 제3 이동자 및 제4 이동자를 포함하고,상기 자석부는 상기 제1 이동자와 제3 이동자의 위치와 대응되는 위치에 상기 레일부의 길이방향을 따라 위치한 복수의 제1 자석; 및 상기 제2 이동자와 제4 이동자의 위치와 대응되는 위치에 상기 레일부의 길이방향을 따라 위치한 복수의 제2 자석을 포함하고,상기 와전류 제동부는 상기 제1 자석과 제2 자석의 사이와 대응되는 위치 및 상기 제1 자석과 제2 자석의 외측과 대응되는 위치에 각각 위치하는 주행 안정 코일; 및 상기 제1 자석 및 제2 자석의 중심부와 대응되는 위치에 위치한 비상정지 코일을 포함하고,상기 이송부는 상기 이동자 및 자석부의 추력에 의해 상기 레일부를 따라 이동하는 것인 비접촉 수직 이송 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 자석 및 제2 자석은 상기 이동자를 마주보는 면의 극성이 상기 이송부의 이송방향을 따라 교번하여 위치하도록 배치되며,상기 제1 자석은 인접한 제2 자석과 서로 반대되는 극성을 가지도록 배치되는 것인 비접촉 수직 이송 장치
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제1항에 있어서,상기 레일부와 구동부 간에 척력을 발생시키는 반발 베어링을 더 포함하는 비접촉 수직 이송 장치
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제7항에 있어서,상기 반발 베어링은 상기 이송부의 이동방향에 수직된 방향으로 상기 구동부의 일측면의 양측이 돌출 형성된 돌출부의 일측면에 위치하는 제1 반발 베어링 및상기 제1 반발 베어링과 대응되도록 상기 레일부에 위치하는 제2 반발 베어링을 포함하는 것인 비접촉 수직 이송 장치
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제7항에 있어서,상기 반발 베어링은상기 레일부 또는 구동부에 위치하는 공기 베어링인 것인 비접촉 수직 이송 장치
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제1항에 있어서,상기 이동자의 상부면에 격자 형태로 배치되고, 상기 자석부의 정현파 자장 분포를 측정하여, 상기 자석부의 자장으로부터 상기 자석부와 상기 이동자의 상대 위치를 측정하는 복수의 홀센서를 더 포함하는 것인 비접촉 수직 이송 장치
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제10항에 있어서,상기 복수의 홀센서는 서로 규칙적인 간격으로 배치되어, 상기 자석부의 sine과 cos 자장을 측정하여, 상기 자석부와의 상대 위치를 측정하는 것인 비접촉 수직 이송 장치
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