맞춤기술찾기

이전대상기술

고분해능 검사 장치용 광헤드 및 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치

  • 기술번호 : KST2019004580
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 발명의 일실시예에 따른 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치는 테라헤르츠파를 생성하는 테라헤르츠파 생성부와, 링빔을 검사 대상 물체로 집광시키는 링빔 집광부; 및 상기 테라헤르츠파 생성부 및 상기 링빔 집광부 사이에 배치되고, 상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파를 반사시켜 링(ring) 빔을 형성하는 제 1 엑시콘 미러 및, 상기 제 1 엑시콘 미러로부터 반사된 링빔을 상기 링빔 집광부로 반사시키는 제 2 엑시콘 미러로 구성되는 링빔 형성부를 포함할 수 있다.
Int. CL G01N 21/3581 (2014.01.01) G02B 5/00 (2006.01.01)
CPC G01N 21/3581(2013.01) G01N 21/3581(2013.01)
출원번호/일자 1020170142196 (2017.10.30)
출원인 한국식품연구원
등록번호/일자 10-2043880-0000 (2019.11.06)
공개번호/일자 10-2019-0047864 (2019.05.09) 문서열기
공고번호/일자 (20191202) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.10.30)
심사청구항수 21

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국식품연구원 대한민국 전라북도 완주군

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 옥경식 경기도 오산시 여계산로 **, ***
2 신희준 서울특별시 송파구
3 최성욱 전라북도 완주군

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인태하 대한민국 경기도 수원시 영통구 봉영로 ****, ***호(영통동, 한솔프라자)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국식품연구원 전라북도 완주군
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2017-1070454-03
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.09.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.12.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0006077-18
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0047533-64
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2019-0292050-57
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.04.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0389363-84
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2019-0389365-75
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5135028-45
9 등록결정서
Decision to grant
2019.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0579346-11
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5176835-79
11 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
2019.11.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-5037508-35
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2020-5030341-61
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.04 수리 (Accepted) 4-1-2020-5124131-17
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.09.08 수리 (Accepted) 4-1-2020-5203003-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
테라헤르츠파를 생성하는 테라헤르츠파 생성부;내부에 제 2 홀을 포함하여 링 형상을 가지며, 링빔을 검사 대상 물체로 집광시키는 링빔 집광부; 및상기 테라헤르츠파 생성부 및 상기 링빔 집광부 사이에 배치되고, 상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파를 2개의 외면에서 서로 다른 각도로 반사시켜 링 형태를 갖는 링(ring) 빔을 형성하는 제 1 엑시콘 미러 및, 상기 제 1 엑시콘 미러의 외면에 대응되는 경사진 반사면을 가지며 상기 제 1 엑시콘 미러로부터 반사된 링빔을 상기 링빔 집광부로 반사시키고, 상기 경사진 반사면에서 반사된 링빔은 상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파와 평행한 제 2 엑시콘 미러로 구성되는 링빔 형성부를 포함하는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제 1 엑시콘 미러는,상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파의 경로상에 배치되는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치
3 3
제 1 항에 있어서,상기 제 2 엑시콘 미러는,상기 테라헤르츠파 생성부 및 상기 제 1 엑시콘 미러 사이에 배치되고, 상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파가 통과하여 상기 제 1 엑시콘 미러에 입사되도록 내부에 제 1 홀이 구비되는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서,상기 제 2 엑시콘 미러는,상기 제 1 엑시콘 미러의 외면과 평행하게 형성된 반사면을 포함하는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치
6 6
제 1 항에 있어서,상기 검사 대상 물체로부터 생성된 산란광을 검출하는 산란광 검출부를 더 포함하는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치
7 7
제 6 항에 있어서,상기 산란광 검출부는,상기 링빔 집광부의 내부에 구비되고, 상기 검사 대상 물체로부터 반사되는 산란광을 검출하는 반사 산란광 검출부를 포함하는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치
8 8
제 7 항에 있어서,상기 링빔 집광부는 내부에 제 2 홀을 포함하는 렌즈이고,상기 반사 산란광 검출부는,상기 제 2 홀에 배치되어, 검사 대상 물체로부터 반사되는 산란광을 검출하는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치
9 9
제 8 항에 있어서,상기 제 2 홀 및 상기 제 1 엑시콘 미러 사이에 기계적으로 연결되고, 상기 제 1 엑시콘 미러를 이동시켜 포커싱 위치를 가변시키는 이동부를 더 포함하는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치
10 10
제 1 항에 있어서,상기 링빔 집광부는,상기 제 1 엑시콘 미러 및 검사대상물체의 사이에 배치되는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치
11 11
제 6 항에 있어서,상기 산란광 검출부는,상기 검사 대상 물체로부터 투과되는 산란광을 검출하는 투과 산란광 검출부를 포함하는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치
12 12
제 11 항에 있어서,상기 투과 산란광 검출부는,상기 검사 대상 물체를 투과한 링빔의 내부에 배치되는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치
13 13
제 1 항에 있어서,상기 검사 대상 물체를 투과한 링빔을 검출하는 링빔 검출부를 더 포함하는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치
14 14
제 1 항에 있어서,상기 테라헤르츠 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경시켜 상기 제 1 엑시콘 미러로 입사시키는 각도 변경부를 더 포함하는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치
15 15
제 1 항에 있어서,제 2 엑시콘 미러의 크기는 제 1 엑시콘 미러의 크기보다 큰, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치
16 16
내부에 제 2 홀을 포함하여 링 형상을 가지며, 링빔을 검사 대상 물체로 집광시키는 링빔 집광부; 및테라헤르츠파 생성부 및 상기 링빔 집광부 사이에 배치되고, 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파를 외면에서 반사시켜 링 형태를 갖는 링(ring) 빔을 형성하는 제 1 엑시콘 미러 및, 상기 제 1 엑시콘 미러의 외면에 대응되는 경사진 반사면을 가지며 상기 제 1 엑시콘 미러로부터 반사된 링빔을 상기 링빔 집광부로 반사시키고, 상기 경사진 반사면에서 반사된 링빔은 상기 테라헤르프파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파와 평행한 제 2 엑시콘 미러로 구성되는 링빔 형성부를 포함하는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치용 광헤드
17 17
제 16 항에 있어서,상기 제 1 엑시콘 미러는,상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파의 경로상에 배치되는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치용 광헤드
18 18
제 16 항에 있어서,상기 제 2 엑시콘 미러는,상기 테라헤르츠파 생성부 및 상기 제 1 엑시콘 미러 사이에 배치되고, 상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파가 통과하여 상기 제 1 엑시콘 미러에 입사되도록 내부에 제 1 홀이 구비되는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치용 광헤드
19 19
삭제
20 20
제 16 항에 있어서,상기 제 2 엑시콘 미러는,상기 제 1 엑시콘 미러의 외면과 평행하게 형성된 반사면을 포함하는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치용 광헤드
21 21
제 16 항에 있어서,상기 검사 대상 물체로부터 생성된 산란광을 검출하는 산란광 검출부를 더 포함하는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치용 광헤드
22 22
제 21 항에 있어서,상기 산란광 검출부는,상기 링빔 집광부의 내부에 구비되고, 상기 검사 대상 물체로부터 반사되는 산란광을 검출하는 반사 산란광 검출부를 포함하는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치용 광헤드
23 23
제 16 항에 있어서,상기 링빔 집광부의 내부 및 상기 제 1 엑시콘 미러 사이에 기계적으로 연결되고, 상기 제 1 엑시콘 미러를 이동시켜 포커싱 위치를 가변시키는 이동부를 더 포함하는, 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치용 광헤드
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국식품연구원 한국식품연구원 주요사업 식품이물 검출용 테라헤르츠 고분해능 영상기술 개발