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원자층 증착 헤드 및 이를 포함하는 원자층 증착 장치

  • 기술번호 : KST2019004634
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 원자층 증착 헤드 및 이를 포함하는 원자층 증착 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 원자층 증착 헤드는 전구체 가스가 주입되는 주입구와, 전구체 가스를 흡입하는 흡입구가 형성되는 상부 구조물; 상기 상부 구조물의 하부에 위치하고, 상기 주입구와 연통되어 상기 상부 구조물로부터 유입된 가스를 기판으로 공급하는 복수의 주입슬릿과, 상기 흡입구와 연통되어 상기 기판으로부터 증착에 사용되고 남은 잔여 전구체 가스를 흡입하는 복수의 흡입슬릿이 형성되는 하부 구조물; 상기 하부 구조물 중에 배치되며, 상기 주입슬릿과 연통되며 전구체 가스를 상기 주입슬릿의 전 영역에 고르게 분배되도록 형성되는 주입홀과, 상기 흡입슬릿과 연통되어 상기 기판으로부터 흡입되는 전구체 가스가 이동하는 흡입홀이 마련되며, 상기 주입홀은 상기 주입슬릿의 길이 방향을 따라 서로 일정 간격 이격되도록 복수 개가 마련되어 전구체 가스가 하부로 고르게 분배되고 하부로 갈수록 단면적이 좁아지는 형상을 가져 전구체 가스가 상기 주입홀을 통과하면서 유속이 증가하는 미들헤드부;를 포함하며, 상기 하부 구조물은 상기 상부 구조물의 직하방에 배치되는 상측 하부 구조물과 상기 상측 하부 구조물의 하부에 배치되는 하측 하부 구조물이 별개로 구분되게 구성되며, 상기 미들헤드부는 상기 상측 하부 구조물과 하측 하부 구조물 사이에 배치되고, 상기 주입홀은 흡입홀 사이사이에 배치되되, 상기 흡입홀은 상기 흡입슬릿의 형성방향과 동일하게 길게 형성되는 장공형으로 되고, 상기 주입홀은 상기 흡입홀의 길이방향을 따라 배치되는 단공형으로 된 것을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C23C 16/455 (2006.01.01)
CPC C23C 16/45551(2013.01) C23C 16/45551(2013.01)
출원번호/일자 1020170143500 (2017.10.31)
출원인 제주대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2092641-0000 (2020.03.18)
공개번호/일자 10-2019-0048499 (2019.05.09) 문서열기
공고번호/일자 (20200324) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.10.31)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 제주대학교 산학협력단 대한민국 제주특별자치도 제주시 제주

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최경현 제주특별자치도 제주시 제주대학로 *
2 김수완 제주특별자치도 제주
3 이재욱 제주특별자치도 서귀

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 제주대학교 산학협력단 제주특별자치도 제주시 제주
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-1078672-25
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.05.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.07.09 수리 (Accepted) 9-1-2018-0033758-29
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0544745-16
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.09.05 수리 (Accepted) 1-1-2019-0916607-47
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.09.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0916606-02
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0038660-67
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.02.17 수리 (Accepted) 1-1-2020-0165876-10
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2020.02.17 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-0165875-75
10 등록결정서
Decision to Grant Registration
2020.03.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0185092-47
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번호 청구항
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전구체 가스가 주입되는 주입구와, 전구체 가스를 흡입하는 흡입구가 형성되는 상부 구조물;상기 상부 구조물의 하부에 위치하고, 상기 주입구와 연통되어 상기 상부 구조물로부터 유입된 가스를 기판으로 공급하는 복수의 주입슬릿과, 상기 흡입구와 연통되어 상기 기판으로부터 증착에 사용되고 남은 잔여 전구체 가스를 흡입하는 복수의 흡입슬릿이 형성되는 하부 구조물;상기 하부 구조물 중에 배치되며, 상기 주입슬릿과 연통되며 전구체 가스를 상기 주입슬릿의 전 영역에 고르게 분배되도록 형성되는 주입홀과, 상기 흡입슬릿과 연통되어 상기 기판으로부터 흡입되는 전구체 가스가 이동하는 흡입홀이 마련되며, 상기 주입홀은 상기 주입슬릿의 길이 방향을 따라 서로 일정 간격 이격되도록 복수 개가 마련되어 전구체 가스가 하부로 고르게 분배되고 하부로 갈수록 단면적이 좁아지는 형상을 가져 전구체 가스가 상기 주입홀을 통과하면서 유속이 증가하는 미들헤드부;를 포함하며,상기 하부 구조물은 상기 상부 구조물의 직하방에 배치되는 상측 하부 구조물과 상기 상측 하부 구조물의 하부에 배치되는 하측 하부 구조물이 별개로 구분되게 구성되며,상기 미들헤드부는 상기 상측 하부 구조물과 하측 하부 구조물 사이에 배치되고, 상기 주입홀은 흡입홀 사이사이에 배치되되, 상기 흡입홀은 상기 흡입슬릿의 형성방향과 동일하게 길게 형성되는 장공형으로 되고, 상기 주입홀은 상기 흡입홀의 길이방향을 따라 배치되는 단공형으로 된 것을 더 포함하는 원자층 증착 헤드
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제 1항에 있어서,상기 상부 구조물에는 상기 주입구가 복수 개 형성되며, 복수의 상기 주입구로는 서로 다른 종류의 전구체 가스가 주입되고, 각각의 전구체 가스는 특정한 상기 주입슬릿으로만 공급되는 원자층 증착 헤드
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제 4항에 있어서,상기 주입구와 연통되며, 복수의 상기 주입슬릿 중 특정한 상기 주입슬릿과 대응되는 복수의 중간주입슬릿이 형성되어 상기 전구체 가스를 특정한 상기 주입슬릿으로만 공급하는 중간 구조물을 더 포함하는 원자층 증착 헤드
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제 5항에 있어서,상기 중간 구조물에는 상기 흡입구 및 상기 흡입슬릿과 대응되는 복수의 중간흡입슬릿이 형성되는 원자층 증착 헤드
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제 5항에 있어서,상기 상부 구조물에는,복수의 상기 주입구와 각각 연통되는 상부구획공간이 형성되고, 상기 중간주입슬릿은 하나의 상부구획공간과 연통되어, 하나의 주입구를 통해 주입된 전구체 가스가 특정한 상기 주입슬릿으로 주입되는 원자층 증착 헤드
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1 산업기술평가원 제주대학교 산학협력단 산업핵심기술개발사업 스마트 박막소자 제조를 위한 롤투롤 연속공정 기반 저온 상압 패턴 증착 장비 개발