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상면에 비구면 반사경이 형성되는 반사경 모재에 굽힘력을 인가하는 반사경 모재 굽힘 장치에 있어서,상기 반사경 모재의 하면에 접하여 지지력을 인가하는 지지부 및 상기 지지력을 생성하여 상기 지지부에 전달하는 지지력생성부를 포함하는 중앙지지유닛;상기 반사경 모재의 하면을 진공-흡착하여 굽힘력을 인가하는 진공흡착부 및 상기 굽힘력을 생성하여 상기 진공흡착부에 전달하는 굽힘력생성부를 포함하는 외주굽힘유닛; 및진공압을 생성하는 진공압 생성부 및 일측 단부가 상기 진공압 생성부에 연결되고 타측 단부가 상기 진공흡착부에 연결되어 상기 진공압을 상기 진공흡착부에 인가하는 진공압배관부를 포함하는 진공생성유닛;를 포함하며,상기 지지력은 상방으로 작용하고 상기 굽힘력은 하방으로 작용하고,상기 진공흡착부는,판형이며 그 상면과 하면을 관통하는 진공포트를 구비하는 진공척과, 상기 진공척의 상면에 돌출되도록 구비되어 상기 진공포트가 그 내측에 배치되는 오링(O-ring)을 포함하여,상기 진공압배관부의 타측 단부가 상기 진공포트에 연결되고,상기 오링의 돌출 부위가 상기 반사경 모재의 하면과 접하여,상기 반사경 모재와 상기 진공척 상면 및 상기 오링의 측면으로 형성되는 폐공간이 감압되는 것을 특징으로 하는 진공흡착을 이용한 반사경 모재 굽힘장치
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제 1 항에 있어서, 상기 진공흡착부는 복수개가 구비되고,상기 진공압배관부는 상기 복수개의 진공흡착부에 병렬로 연결됨으로써,상기 진공압이 상기 복수개의 진공흡착부에 균등하게 분배되는 것을 특징으로 하는 진공흡착을 이용한 반사경 모재 굽힘장치
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제 3 항에 있어서, 상기 진공흡착부와 상기 굽힘력생성부는 힌지축을 매개로 힌지결합하여 상기 진공흡착부가 상하방으로 회동할 수 있으며,상기 힌지축의 중심과 상기 반사경 모재의 중심점을 연결하는 가상선은 상기 힌지축의 축방향과 수직으로 접하는 것을 특징으로 하는 진공흡착을 이용한 반사경 모재 굽힘장치
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제 3 항에 있어서, 상기 지지력 생성부는, 제1본체와 상기 제1본체의 축방향을 따라 왕복 운동하는 제1슬라이더를 구비하는 제1선형 액츄에이터(linear actuator)로 구성되고,상기 굽힘력생성부는, 제2본체와 상기 제2본체의 축방향을 따라 왕복 운동하는 제2슬라이더를 구비하는 제2선형 액츄에이터(linear actuator)로 구성되며,상기 제1슬라이더의 끝단부는 상기 지지부와 결합하고,상기 제2슬라이더의 끝단부는 상기 진공흡착부와 결합하는 것을 특징으로 하는 진공흡착을 이용한 반사경 모재 굽힘장치
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제 5 항에 있어서, 상기 지지력 생성부는, 상기 제1슬라이더의 스트로크 길이를 포함하는 제1스트로크 길이 정보를 생성하는 제1슬라이더-측정부를 더 포함하고,상기 중앙지지유닛은, 상기 제1슬라이더의 끝단부와 상기 지지부 사이에 인가되는 지지력을 측정하여 지지력정보를 생성하는 지지력-로드셀을 더 포함하고, 상기 굽힘력 생성부는, 상기 제2슬라이더의 스트로크 길이를 포함하는 제2스트로크 길이 정보를 생성하는 제2슬라이더-측정부를 더 포함하고,상기 외주굽힘유닛은, 상기 제2슬라이더의 끝단부와 상기 진공흡착부 사이에 인가되는 굽힘력을 측정하여 굽힘력정보를 생성하는 굽힘력-로드셀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공흡착을 이용한 반사경 모재 굽힘장치
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제 6 항에 있어서, 상기 제1스트로크 길이 정보와 상기 지지력정보를 기반으로 하여, 상기 제1스트로크 길이에 따른 상기 지지력 사이의 비율을 계산하여 지지하중-민감도를 산출하고, 상기 제2스트로크 길이 정보와 상기 굽힘력정보를 기반으로 하여, 상기 제2스트로크 길이에 따른 상기 굽힘력 사이의 비율을 계산하여 굽힘하중-민감도를 산출하는 계산부를 포함하는 제어유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공흡착을 이용한 반사경 모재 굽힘장치
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제 7 항에 있어서, 상기 제어유닛은,사용자로부터 상기 반사경 모재의 설계된 굽힘 형상 정보를 포함하는 굽힘 형상정보를 입력받는 입력부를 더 포함하고,상기 계산부는 상기 지지하중-민감도와 상기 굽힘하중-민감도 및 상기 굽힘 형상 정보를 기반으로 하여, 상기 반사경모재를 상기 설계된 굽힘 형상으로 변형하기 위해 필요한, 상기 지지력-로드셀의 지지하중-목표값 및 상기 굽힘력-로드셀의 굽힘하중-목표값을 산출하는 것을 특징으로 하는 진공흡착을 이용한 반사경 모재 굽힘장치
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제 8 항에 있어서, 상기 제어유닛은,상기 지지하중-목표값과 상기 굽힘하중-목표값을 기반으로 하여, 상기 제1선형 액츄에이터 및 상기 제2선형 액츄에이터의 스트로크 작동을 제어하는 액츄에이터 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공흡착을 이용한 반사경 모재 굽힘장치
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제 9 항에 있어서, 상기 반사경 모재의 하면에 복수개의 스트레인 게이지를 부착하여, 상기 제1선형 액츄에이터 및 상기 제2선형 액츄에이터의 스트로크 작동시 상기 반사경 모재의 변형의 측정하는 것을 특징으로 하는 진공흡착을 이용한 반사경 모재 굽힘장치
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제 3 항에 있어서, 상기 복수개의 진공흡착부에 형성되는 복수개의 상기 폐공간에 배치되는 압력센서와, 상기 압력센서에서 측정된 압력 측정값들을 압력차이값을 산출하여 사용자에게 알림하는 흡착-모니터링부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공흡착을 이용한 반사경 모재 굽힘장치
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제1항에 따른 진공흡착을 이용한 반사경 모재 굽힘장치의 작동 방법에서, 상기 반사경 모재를 상기 굽힘장치에 로딩하고 진공압생성부를 작동하여 진공흡착부와 상기 반사경 모재의 하면이 흡착하는 단계(S01);굽힘력생성부를 작동하여 상기 반사경 모재의 외주에 하방의 굽힘력을 인가하는 단계;상기 반사경 모재의 상면을 연마하는 단계(S02);상기 굽힘력생성부의 작동을 중지하여 상기 굽힘력을 제거하는 단계(S03);상기 진공압생성부의 작동을 중지하여 상기 진공흡착부와 상기 반사경모재의 흡착을 제거하는 단계(S04);및상기 반사경 모재를 상기 굽힘장치에서 언로딩하는 단계(S05);를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공흡착을 이용한 반사경 모재 굽힘장치의 작동방법
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제 12 항에 있어서, 상기 S04 단계와 S05 단계 사이에, 상기 반사경 모재의 상면에 형성된 반사경의 형상을 측정하는 단계(S06);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공흡착을 이용한 반사경 모재 굽힘장치의 작동방법
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제9항에 따른 진공흡착을 이용한 반사경 모재 굽힘장치의 작동 방법에서, 상기 반사경 모재를 상기 굽힘장치에 로딩하는 단계; (S01);진공압생성부를 작동하여 진공흡착부와 상기 반사경 모재의 하면이 흡착하고, 제1선형 액츄에이터 및 제2선형 액츄에이터를 작동하여 상기 반사경 모재에 상기 지지력과 상기 굽힙력을 인가하는 단계(S02);제1슬라이더-측정부가 제1스트로크 길이정보를 생성하고, 제2슬라이더-측정부가 제2스트로크 길이정보를 생성하며, 지지력-로드셀이 지지력정보를 생성하고 굽힘력-로드셀이 굽힘력정보를 생성하는 단계(S03);계산부는 서로 다른 제1스트로크 길이에 매칭하는 서로 다른 지지력을 기반으로 하여 지지하중-민감도를 산출하고, 서로 다른 제2스트로크 길이에 매칭하는 서로 다른 굽힘력을 기반으로 하여 굽힘하중-민감도를 산출하는 단계(S04);입력부는 사용자로부터 상기 반사경 모재의 설계된 굽힘 형상 정보를 포함하는 굽힘 형상정보 및 상기 반사경 모재의 상면에 형성되는 반사경의 설계 형상정보 및 반사경 형상에러범위를 입력받는 단계(S05);상기 계산부는 상기 지지하중-민감도와 상기 굽힘하중-민감도 및 상기 굽힘 형상 정보를 기반으로 하여, 상기 반사경 모재를 상기 설계된 굽힘 형상으로 변형하기 위해 필요한, 상기 지지력-로드셀의 지지하중-목표값 및 상기 굽힘력-로드셀의 굽힘하중-목표값을 산출하는 단계(S06);액츄에이터제어부는 상기 지지하중-목표값과 상기 굽힘하중-목표값을 기반으로 하여, 상기 제1선형 액츄에이터 및 상기 제2선형 액츄에이터를 작동하여 상기 반사경 모재에 상기 지지력과 상기 굽힘력을 인가하는 단계(S07);상기 반사경 모재의 상면을 가공하는 단계(S08);상기 굽힘력생성부의 작동을 중지하여 상기 굽힘력을 제거하는 단계(S09);상기 진공압생성부의 작동을 중지하여 상기 진공흡착부와 상기 반사경모재의 흡착을 제거하는 단계(S10);및상기 반사경 모재를 상기 굽힘장치에서 언로딩하는 단계(S11);를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공흡착을 이용한 반사경 모재 굽힘장치의 작동방법
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제 14항에 있어서, 상기 S10 단계와 상기 S11 단계 사이에,제어유닛이 반사경 모재의 상면에 형성된 반사경의 형상을 측정하여 반사경의 가공 형상정보를 생성하는 단계(S12); 상기 제어유닛이 상기 반사경의 가공 형상정보와 상기 반사경의 설계 형상정보의 차이를 산출하여 가공 에러정보를 생성하는 단계(S13);상기 제어유닛이 상기 반사경 형상 에러범위와 상기 가공에러 정보를 기반으로 하여, 재가공 수행이 필요한 것인지를 판단하는 단계(S14);재가공 수행이 필요한 것으로 판단되면 상기 S02 단계로 이동하는 단계(S15);및재가공 수행이 불필요한 것으로 판단되면 상기 S11단계로 이동하는 단계(S16);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공흡착을 이용한 반사경 모재 굽힘장치의 작동방법
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