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2차원 박리층을 이용하여 대상층을 기판에서 박리하는 방법

  • 기술번호 : KST2019005018
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 2차원 박리층을 이용하여 화학적 경화에 의해 형성된 대상층을 기판에서 박리하는 방법에 관한 것으로, 본 발명의 방법은 기판 위에 2차원 소재를 합성하여 박리층을 형성하는 단계(S1); 상기 S1 단계에서 형성된 박리층에 대상물질을 코팅한 후, 화학적 경화를 통해 대상층을 형성하는 단계(S2); 및 상기 S2 단계에서 대상층이 형성된 박리층을 분리하는 단계(S3)를 포함하는 것으로, 상기 방법을 이용할 경우 대상물질의 특성 변화를 주지 않고 용이하게 박리가 가능한 장점이 있다.
Int. CL H01L 21/78 (2006.01.01) H01L 21/768 (2006.01.01) H01L 21/762 (2006.01.01)
CPC H01L 21/7806(2013.01) H01L 21/7806(2013.01) H01L 21/7806(2013.01) H01L 21/7806(2013.01)
출원번호/일자 1020170146440 (2017.11.06)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0051123 (2019.05.15) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.06)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강상우 대전광역시 서구
2 문지훈 대전시 유성구
3 김태완 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길* (역삼동, 조이타워), ***호(대신특허사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2017-1096264-22
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2017-1105234-75
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2017-1116196-85
4 보정요구서
Request for Amendment
2017.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0164425-75
5 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2017.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-1133545-60
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2018-1110780-34
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.12.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
11 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.01.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0007131-65
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.03.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0162456-66
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2019-0387816-18
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.04.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0387815-73
15 등록결정서
Decision to grant
2019.09.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0631640-39
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번호 청구항
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기판 위에 2차원 소재를 합성하여 박리층을 형성하는 단계(S1);상기 S1 단계에서 형성된 박리층에 대상물질을 코팅한 후, 화학적 경화를 통해 대상층을 형성하는 단계(S2); 및상기 S2 단계에서 대상층이 형성된 박리층을 분리하는 단계(S3)를 포함하고,상기 기판 및 2차원 소재는 반데르발스(van der Waals) 힘으로 결합되며,상기 S3 단계의 분리는 기판에 물을 처리하는 방법을 통해 수행되고,상기 대상물질은 폴리아믹산이고, 대상층은 폴리이미드층이며,상기 기판은 소수성 또는 친수성을 가지도록 처리되고, 상기 기판이 친수성을 가지도록 처리될 경우에는 수산화포타슘 용액을 사용하며,상기 화학적 경화는 이미드화에 의한 경화이고,상기 이미드화는 300 내지 400℃에서 수행되며,상기 2차원 소재는 이황화몰리브덴이고,상기 기판은 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는, 2차원 박리층을 이용하여 화학적 경화에 의해 형성된 대상층을 기판에서 박리하는 방법
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제1항의 방법을 통해 박리된 대상층
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제11항에 있어서,상기 대상층은 폴리이미드층인 것을 특징으로 하는, 대상층
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제 11 항의 대상층을 포함하는 디스플레이
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국표준과학연구원 국가연구개발사업 3-3-1차세대초박막공정용측정기술개발
2 산업통상자원부 한국표준과학연구원 국가연구개발사업 차세대 고이동도 전자소자용 이차원 혼성박막소재 유연기판 직접증착을 위한 저온공정 원천기술 개발 및 상용화