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신축성 폴리이미드 기판 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2019005092
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 신축성 폴리이미드 기판 및 그 제조방법에 대한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 고강성 폴리이미드 및 다공성 폴리이미드를 포함하는 신축성 폴리이미드 기판 및 그 제조방법에 대한 것이다. 본 발명은 제1 방향 및 제2 방향을 따라 서로 이격되는 고강성 폴리이미드부들 및 상기 고강성 폴리이미드부들 사이의 다공성 폴리이미드부를 포함하고, 상기 다공성 폴리이미드부는 기공들 및 폴리이미드 입자들을 포함하는 신축성 폴리이미드 기판을 제공한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/28 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02118(2013.01) H01L 21/02118(2013.01) H01L 21/02118(2013.01) H01L 21/02118(2013.01)
출원번호/일자 1020170148281 (2017.11.08)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0052529 (2019.05.16) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.10.05)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기현 대전시 유성구
2 김철암 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2017-1109930-27
2 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
2020.10.05 수리 (Accepted) 1-1-2020-1044202-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 방향 및 제2 방향을 따라 서로 이격되는 고강성 폴리이미드부들; 및 상기 고강성 폴리이미드부들 사이의 다공성 폴리이미드부를 포함하고,상기 다공성 폴리이미드부는 기공들 및 폴리이미드 입자들을 포함하는 신축성 폴리이미드 기판
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 다공성 폴리이미드부에서 상기 기공들이 차지하는 부피 비율은 50% 이상이고 90% 이하인 신축성 폴리이미드 기판
3 3
제 1 항에 있어서,상기 기공들은 서로 인접하는 상기 폴리이미드 입자들 사이에 형성되는 제1 기공들; 및 상기 폴리이미드 입자 내에 형성되는 제2 기공들을 포함하는 신축성 폴리이미드 기판
4 4
제 1 항에 있어서,상기 다공성 폴리이미드부의 두께는 상기 고강성 폴리이미드부의 두께보다 얇은 신축성 폴리이미드 기판
5 5
제 1 항에 있어서,상기 다공성 폴리이미드부의 두께 및 상기 고강성 폴리이미드부의 두께는 0
6 6
제 3 항에 있어서,상기 제2 기공들은 독립기공형 또는 연속기공형의 형태인 신축성 폴리이미드 기판
7 7
제 1 항에 있어서,상기 다공성 폴리이미드부를 구성하는 폴리이미드의 화학적 조성과 상기 고강성 폴리이미드부를 구성하는 폴리이미드의 화학적 조성은 서로 다른 신축성 폴리이미드 기판
8 8
제1 지지기판에 고강성 폴리이미드부들 및 상기 고강성 폴리이미드부들 사이의 분리 영역을 형성하는 단계;상기 분리 영역에 다공성 폴리이미드부를 선택적으로 형성하는 단계; 및상기 고강성 폴리이미드부들 및 상기 다공성 폴리이미드부로부터 상기 제1 지지기판을 박리하는 단계를 포함하는 신축성 폴리이미드 기판 제조방법
9 9
제 8 항에 있어서,상기 고강성 폴리이미드부들 및 상기 분리 영역을 형성하는 단계는:상기 제1 지지기판에 감광성 폴리이미드층을 형성하는 단계; 및상기 감광성 폴리이미드층을 패터닝하는 단계를 포함하는 신축성 폴리이미드 기판 제조방법
10 10
제 8 항에 있어서,상기 고강성 폴리이미드부들 및 분리 영역을 형성하는 단계는:제2 지지기판에 고강성 폴리이미드층을 형성하는 단계; 및상기 고강성 폴리이미드층을 상기 제1 지지기판에 선택적으로 전사하는 단계를 포함하는 신축성 폴리이미드 기판 제조방법
11 11
제 10 항에 있어서,상기 고강성 폴리이미드층은 레이저 전사법을 통해 상기 제1 지지기판에 선택적으로 전사되는 신축성 폴리이미드 기판 제조방법
12 12
제 8 항에 있어서,상기 다공성 폴리이미드부를 선택적으로 형성하는 단계는:상기 분리 영역에 폴리아믹산 입자들을 선택적으로 채워 제1 기공들을 형성하는 단계; 및채워진 상기 폴리아믹산 입자들에 이미드화 반응을 수행하여, 제2 기공들을 형성하는 단계를 포함하는 신축성 폴리이미드 기판 제조방법
13 13
제 12 항에 있어서,상기 폴리아믹산 입자들은 계면 특성을 이용하거나 인쇄 공법을 이용하여 상기 분리 영역에 선택적으로 채워지는 신축성 폴리이미드 기판 제조방법
14 14
제 8 항에 있어서,상기 다공성 폴리이미드부를 선택적으로 형성하는 단계는:제3 지지기판에 폴리아믹산 입자들을 코팅하여 제1 기공들을 형성하는 단계;코팅된 상기 폴리아믹산 입자들에 이미드화 반응을 수행하여, 제2 기공들을 포함하는 다공성 폴리이미드층을 형성하는 단계; 및상기 다공성 폴리이미드층을 상기 분리 영역에 선택적으로 전사하는 단계를 포함하는 신축성 폴리이미드 기판 제조방법
15 15
제 14 항에 있어서,상기 다공성 폴리이미드층은 레이저 전사법을 통해 상기 분리 영역에 선택적으로 전사되는 신축성 폴리이미드 기판 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 방위사업청 전자부품연구원 민군겸용기술개발사업 전자종이를 이용한 능동구동 위장막 기술 개발