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온도 측정 웨이퍼 센서의 교정 장치 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2019005155
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 온도 측정 웨이퍼 센서의 교정 장치는 온도 측정 웨이퍼 센서에 형성되어 있는 각 온도 센서로 레이저 빔을 출력하여 각 온도 센서가 특정 온도가 되도록 가열하고, 각 온도 센서의 온도를 측정한 후, 측정된 온도 값과 기준값의 편차에 따라 교정 값을 산출한다. 온도 측정 웨이퍼 센서를 검사하기 위한 가열 수단으로 레이저 빔을 사용하므로 간단하고 정확한 검사가 가능해진다. 또한, 실제 반도체 제조 공정에서 잘못된 웨이퍼 온도 검사에 따른 생산 수율 감소 등 여러 문제점을 막을 수 있어 공정의 신뢰도를 높게 유지할 수 있다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01) G01J 5/00 (2006.01.01) H01L 21/66 (2006.01.01)
CPC H01L 21/67248(2013.01) H01L 21/67248(2013.01) H01L 21/67248(2013.01) H01L 21/67248(2013.01) H01L 21/67248(2013.01)
출원번호/일자 1020170148920 (2017.11.09)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0052993 (2019.05.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.09)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태완 대전광역시 유성구
2 강상우 대전광역시 서구
3 김용규 대전광역시 서구
4 권수용 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길* (역삼동, 조이타워), ***호(대신특허사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2017-1113763-48
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2018-0047293-19
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.06.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.08.13 수리 (Accepted) 9-1-2018-0041747-60
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2018-1088702-21
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2018-1089051-85
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2019.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-0165191-30
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.03.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0223129-16
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.04.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0340512-10
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2019-0340511-64
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.09.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0648413-79
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번호 청구항
1 1
온도 측정 웨이퍼 센서에 형성되어 있는 각 온도 센서를 향해 레이저 빔을 출력하기 위한 레이저 출력부;상기 레이저 출력부가 레이저를 출력하도록 제어하는 레이저 제어부; 및상기 온도 측정 웨이퍼 센서에 형성되어 있는 각 온도 센서의 온도를 측정하는 검수부를 포함하는 온도 측정 웨이퍼 센서의 교정 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 레이저 제어부는 상기 온도 측정 웨이퍼 센서에 형성되어 있는 각 온도 센서를 특정 온도로 맞추기 위해 설정된 파워로 상기 레이저 출력부를 제어하는 것을 특징으로 하는 온도 측정 웨이퍼 센서의 교정 장치
3 3
제 1 항에 있어서,상기 레이저 출력부는 상기 온도 측정 웨이퍼 센서의 각 온도 센서와 일대일 대응하여 구비되는 것을 특징으로 하는 온도 측정 웨이퍼 센서의 교정 장치
4 4
제 1 항에 있어서,상기 검수부는 상기 각 온도 센서의 온도 편차에 따라 상기 각 온도 센서에 대한 교정 값을 산출하는 것을 특징으로 하는 온도 측정 웨이퍼 센서의 교정 장치
5 5
제 4 항에 있어서,상기 검수부는 상기 각 온도 센서의 온도 편차에 따라 복수 개의 온도 센서에 대한 교정 값을 일괄적으로 산출하는 것을 특징으로 하는 온도 측정 웨이퍼 센서의 교정 장치
6 6
챔버 내에 배치된 온도 측정 웨이퍼 센서에 형성되어 있는 각 온도 센서로 레이저 빔을 출력하는 단계;상기 각 온도 센서의 온도를 측정하는 단계; 및상기 각 온도 센서로부터 측정된 온도 값과 기준값의 편차에 따라 교정 값을 산출하는 단계를 포함하는 온도 측정 웨이퍼 센서의 교정 방법
7 7
제 6 항에 있어서,상기 레이저 빔은 상기 온도 측정 웨이퍼 센서에 형성되어 있는 각 온도 센서를 특정 온도로 맞추기 위해 설정된 파워로 출력하는 것을 특징으로 하는 온도 측정 웨이퍼 센서의 교정 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국표준과학연구원 국가연구개발사업 3-3-1차세대초박막공정용측정기술개발