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방열 기능을 갖는 웨이퍼 센서 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019005157
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 방열 기능을 갖는 웨이퍼 센서는 일면에 방열 홈이 형성되어 있는데, 이 방열 홈은 메인 기판에 형성될 수도 있고, 별도의 방열 층에 형성될 수도 있다. 이에 따라, 웨이퍼 센서가 척의 표면에 놓였을 때 척으로부터의 열 전달을 감소시킬 수 있으며, 방열 홈을 통해 공기가 흐를 수 있어 더욱 효과적으로 열 전달을 차단할 수 있다. 웨이퍼 센서를 불필요한 열의 영향으로부터 보호할 수 있으며, 웨이퍼 센서의 내부에 배치되는 각종 부품도 열로부터 보호할 수 있게 되는 효과가 있다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/66 (2006.01.01)
CPC H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01)
출원번호/일자 1020170148919 (2017.11.09)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0052992 (2019.05.17) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.09)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태완 대전광역시 유성구
2 강상우 대전광역시 서구
3 김용규 대전광역시 서구
4 권수용 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길* (역삼동, 조이타워), ***호(대신특허사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2017-1113762-03
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2018-0047358-99
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.06.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.08.06 수리 (Accepted) 9-1-2018-0038075-15
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2018-1088657-64
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2018-1089098-19
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2019.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-0165069-78
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.03.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0215563-75
12 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2019-0522802-69
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.06.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0642159-90
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2019-0642160-36
15 등록결정서
Decision to grant
2019.10.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0740200-98
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번호 청구항
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챔버 내 환경을 모니터링하기 위한 웨이퍼 센서로서,상기 웨이퍼 센서의 일면에는 단열재로 이루어지는 단열 층이 구비되고,상기 단열 층에는 상기 웨이퍼 센서가 척의 표면에 놓였을 때 공기가 흐를 수 있도록 단열 홈이 형성되며,상기 단열 홈은 상기 웨이퍼 센서가 상기 척의 표면에 놓였을 때 상기 웨이퍼 센서의 둘레에 형성되는 복수 개의 틈이 서로 연결되는 통로를 이루도록 구성되고, 상기 복수 개의 틈 중 어느 두 개의 틈을 연결하는 모든 통로는 적어도 한번 이상 직각이 아닌 각도로 꺾어지도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 단열 기능을 갖는 웨이퍼 센서
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국표준과학연구원 국가연구개발사업 3-3-1차세대초박막공정용측정기술개발