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소스 가스 공급 장치

  • 기술번호 : KST2019005175
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 내부에 소스 액체가 수용되는 수용 영역을 구비하는 버블링 용기와, 상기 버블링 용기로 공급되는 상기 소스 액체를 저장하는 저장 영역을 구비하는 저장 용기와, 상기 버블링 용기와 저장 용기를 연결하여 상기 저장 용기의 액체 소수가 상기 버블링 용기로 공급되는 경로를 제공하는 용기 연결관과, 상기 버블링 용기의 하중을 감지하는 하중 감지 수단 및 상기 저장 용기를 상하로 승강시키는 저장 용기 승강 수단을 포함하며, 상기 버블링 용기는 수용 영역에 수용되는 소스 액체의 수위가 설정 수용 범위를 유지하도록 상기 하중 감지 수단의 신호에 의하여 상기 저장 용기 승강 수단이 상기 저장 용기를 상승시키는 의 소스 가스 공급 장치를 개시한다.
Int. CL C23C 16/448 (2006.01.01) C23C 16/32 (2006.01.01)
CPC C23C 16/4482(2013.01) C23C 16/4482(2013.01)
출원번호/일자 1020170148235 (2017.11.08)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0052506 (2019.05.16) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.08)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최균 서울시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김호종 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **-*, *층 (역삼동, 신도빌딩)(태산특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2017-1109612-13
2 직권정정안내서
Notification of Ex officio Correction		 2017.11.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0165763-60
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.11.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.01.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0055246-76
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0381840-11
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2019.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-0777032-22
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2019.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2019-0883065-37
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-1001644-44
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.09.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1001646-35
10 등록결정서
Decision to grant		 2020.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0141716-19
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
내부에 소스 액체가 수용되는 수용 영역을 구비하는 버블링 용기와,상기 버블링 용기로 공급되는 상기 소스 액체를 저장하는 저장 영역을 구비하는 저장 용기와,상기 버블링 용기와 저장 용기를 연결하여 상기 저장 용기의 소스 액체가 상기 버블링 용기로 공급되는 경로를 제공하는 용기 연결관과,상기 버블링 용기의 하중을 감지하는 하중 감지 수단 및상기 저장 용기를 상하로 승강시키는 저장 용기 승강 수단을 포함하며,상기 버블링 용기의 수용 영역에 수용되는 소스 액체의 수위가 설정 수용 범위를 유지하도록 상기 하중 감지 수단의 신호에 의하여 상기 저장 용기 승강 수단이 상기 저장 용기를 상승시키며,상기 버블링 용기는 수용 영역의 하부에 위치하는 소스 액체 유입구를 구비하고, 상기 저장 용기는 저장 영역의 하부에 위치하는 소스 액체 유출구를 구비하며,상기 용기 연결관은 플렉서블한 튜브로 형성되어 상기 소스 액체 유입구와 상기 소스 액체 유출구 사이에 결합되며,상기 소스 액체는 중력에 의하여 상기 저장 용기로부터 상기 버블링 용기로 공급되는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 버블링 용기는 캐리어 가스 유입구와 혼합 가스 유출구를 구비하며,상기 캐리어 가스 유입구를 관통하여 상기 버블링 용기에 수용된 소스 액체의 하부까지 연장되는 캐리어 가스 유입관 및상기 혼합 가스 유출구에 결합되어 상기 혼합 가스를 외부로 유출시키는 혼합 가스 유출관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서,상기 용기 연결관은 벨로우즈관 또는 주름관으로 형성되는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치
6 6
제 1 항에 있어서,상기 버블링 용기는 수용 영역에 수용되는 소스 액체를 가열하는 버블링 용기 가열 수단을 더 포함하며,상기 저장 용기는 항온 수조 또는 냉각 탱크로 형성되는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치
7 7
제 1 항에 있어서,상기 저장 용기는 하부에 하부 소스 액체 레벨 센서를 구비하며, 상기 하부 소스 액체 레벨 센서는 상기 저장 용기의 소스 액체의 수위가 최소 수위에 오면 신호를 발생시켜 상기 저장 용기 승강 수단이 상기 저장 용기를 하강시키도록 형성되는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치
8 8
제 7 항에 있어서,상기 하부 소스 액체 레벨 센서는 비접촉식 센서인 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.