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나노-마이크로 복합 패턴 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019005238
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 복수개의 마이크로 패턴; 및 상기 각각의 마이크로 패턴을 구성하는 복수개의 나노패턴을 포함하며, 상기 복수개의 나노패턴은 각각 상부영역은 밀집되어 있고, 하부영역은 일정 간격 이격되어 위치하는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 복합 패턴 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 간단하고, 저가의 공정으로 마이크로-나노 복합 패턴을 제조하는 방법을 제공할 수 있다.
Int. CL F21V 8/00 (2016.01.01) G02F 1/1335 (2019.01.01) B82Y 30/00 (2017.01.01)
CPC G02B 6/0065(2013.01) G02B 6/0065(2013.01) G02B 6/0065(2013.01) G02B 6/0065(2013.01) G02B 6/0065(2013.01)
출원번호/일자 1020170147775 (2017.11.08)
출원인 창원대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0052259 (2019.05.16) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.08)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 창원대학교 산학협력단 대한민국 경상남도 창원시 의창구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조영태 대전광역시 중구
2 정연호 경상남도 김해시 대청로***번길 **
3 신승항 경상남도 창원시 성산구
4 최현민 경상남도 김해시 분성로 **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인가산 대한민국 서울 서초구 남부순환로 ****, *층(서초동, 한원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 창원대학교 산학협력단 경상남도 창원시 의창구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2017-1106438-50
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.07.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.09.10 수리 (Accepted) 9-1-2018-0048165-16
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0119420-25
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2019-0403347-83
6 [출원서 등 보정(보완)]보정서
2019.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2019-0403348-28
7 [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서
[Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)] Submission of Document
2019.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2019-0403349-74
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.08.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0599587-65
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2019-1068645-93
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.10.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1068644-47
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.04 수리 (Accepted) 4-1-2019-5229792-25
12 등록결정서
Decision to grant
2020.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0127966-98
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2020-5073723-40
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번호 청구항
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나노-마이크로 복합 패턴의 제조방법에 있어서,상기 나노-마이크로 복합 패턴의 제조방법은,베이스 부재를 제공하는 단계;상기 베이스 부재의 제1면에 경화성 수지를 도포하는 단계;상기 경화성 수지의 상면에 템플레이트를 위치시키는 단계;상기 템플레이트의 관통홀에 경화성 수지를 주입하는 단계;상기 템플레이트의 관통홀에 위치하는 경화성 수지를 경화하여 나노단위 패턴을 형성하는 단계;상기 템플레이트를 식각하는 단계; 및상기 템플레이트가 식각되면서, 상기 나노단위 패턴들의 상부 영역이 밀집되어, 상기 나노단위 패턴들이 존재하는 영역들이 구획되고, 상기 구획된 영역들에 의해 각각 마이크로단위 패턴이 형성되는 단계를 포함하는 나노-마이크로 복합 패턴의 제조방법
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제 4 항에 있어서,상기 템플레이트는 일정 높이(h)를 포함하는 몸체부; 상기 몸체부의 상부에 위치하는 상면; 상기 몸체부의 하부에 위치하는 하면; 및 상기 상면과 상기 하면을 관통하는 상기 관통홀을 포함하는 나노-마이크로 복합 패턴의 제조방법
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제 5 항에 있어서,상기 템플레이트의 관통홀에 경화성 수지를 주입하는 단계는,상기 경화성 수지의 상면에 위치하는 상기 템플레이트의 하면으로부터 상기 경화성 수지가 주입되어, 상기 템플레이트의 상면 방향으로 상기 경화성 수지가 주입됨으로써, 상기 관통홀의 내측 영역에 경화성 수지를 주입하는 것인 나노-마이크로 복합 패턴의 제조방법
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제 6 항에 있어서,상기 템플레이트의 관통홀에 경화성 수지를 주입하는 단계는,상기 베이스 부재의 제1면에 위치하는 상기 경화성 수지 중 일부의 경화성 수지는 상기 관통홀로 주입되어, 상기 관통홀의 내측 영역에 위치하는 경화성 수지를 구성하며, 다른 일부의 경화성 수지는 상기 베이스 부재의 제1면에 여전히 위치하여 잔존 경화성 수지를 구성하는 나노-마이크로 복합 패턴의 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 경화성 수지를 경화하는 것은 UV를 조사하여 경화하는 것인 나노-마이크로 복합 패턴의 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 템플레이트의 관통홀에 위치하는 경화성 수지를 경화하는 단계를 통하여, 상기 잔존 경화성 수지도 경화되어 경화 수지층을 구성하는 나노-마이크로 복합 패턴의 제조방법
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제 4 항에 있어서,상기 템플레이트를 식각하는 것은, 수산화나트륨(NaOH) 용액, 수산화칼륨(KOH) 용액, 인산(H3PO4) 용액 또는 질산(HNO3) 용액을 사용하는 나노-마이크로 복합 패턴의 제조방법
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제 4 항에 있어서,상기 마이크로단위 패턴이 형성되는 단계이후,상기 나노-마이크로 복합 패턴에 UV-ozone 처리를 하는 단계를 더 포함하는 나노-마이크로 복합 패턴의 제조방법
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