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유기반도체 박막의 제조방법 및 그를 포함하는 가스 센서의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019005420
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판, 상기 기판상에 형성된 유기반도체 박막과, 소스 전극과, 드레인 전극을 포함하는 가스 센서의 제조방법에 있어서, 상기 유기반도체 박막의 제조방법은 (a) 유기반도체 화합물이 용해된 용액을 준비하고, 상기 용액을 교반하는 시간을 조절함으로써 상기 용액에서 상기 유기반도체의 결정핵(crystal nucleus)의 개수를 증가시키는 단계; (b) 결정핵의 개수가 증가된 상기 용액을 상기 기판 상에 코팅하고 건조시켜 박막을 제조하는 단계; 및 (c) 상기 박막을 용매 증기와 접촉시켜 상기 박막의 유기반도체 화합물을 결정화시킴으로써, 다수의 상기 결정핵의 중심으로부터 성장된 다수의 결정 그레인(crystal grain)이 서로 만나 형성된 응집 결정을 포함하는 유기반도체 박막을 제조하는 단계;를 포함하는 가스 센서의 제조방법이 제공된다. 본 발명의 유기반도체 박막의 제조방법은 유기반도체 용액의 교반 시간을 조절함으로써 유기반도체의 응집 개수를 조절하여, 유기반도체 박막의 결정립계(grain boundary)의 밀도를 증가시킬 수 있다. 또한, 결정립계(grain boundary)의 밀도가 높은 유기반도체 박막을 적용하여 반응속도 및 민감도가 향상된 가스 센서의 제조방법을 제공할 수 있다.
Int. CL G01N 27/12 (2006.01.01) H01L 51/05 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01) G01N 33/00 (2006.01.01)
CPC G01N 27/125(2013.01) G01N 27/125(2013.01) G01N 27/125(2013.01) G01N 27/125(2013.01) G01N 27/125(2013.01)
출원번호/일자 1020170150783 (2017.11.13)
출원인 재단법인 나노기반소프트일렉트로닉스연구단, 건국대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2007409-0000 (2019.07.30)
공개번호/일자 10-2019-0054482 (2019.05.22) 문서열기
공고번호/일자 (20190805) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.13)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 나노기반소프트일렉트로닉스연구단 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 건국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이위형 서울특별시 성동구
2 서예나 서울특별시 광진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이수열 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **(서초동) *층(국제특허다호)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 나노기반소프트일렉트로닉스연구단 경상북도 포항시 남구
2 건국대학교 산학협력단 서울특별시 광진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-1125880-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.02.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.05.08 수리 (Accepted) 9-1-2018-0019624-92
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0138862-82
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.04.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0427260-61
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2019-0427239-12
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2019.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0433557-58
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2019-0721397-25
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2019.07.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0721421-34
10 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2019.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0539171-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판, 상기 기판상에 형성된 유기반도체 박막과, 소스 전극과, 드레인 전극을 포함하는 가스 센서의 제조방법에 있어서,상기 유기반도체 박막의 제조방법은(a) 유기반도체 화합물이 용해된 용액을 준비하고, 상기 용액을 교반하는 시간을 조절함으로써 상기 용액에서 상기 유기반도체의 결정핵(crystal nucleus)의 개수를 증가시키는 단계; (b) 결정핵의 개수가 증가된 상기 용액을 상기 기판 상에 코팅하고 건조시켜 박막을 제조하는 단계; 및 (c) 상기 박막을 용매 증기와 접촉시켜 상기 박막의 유기반도체 화합물을 결정화시킴으로써, 다수의 상기 결정핵의 중심으로부터 성장된 다수의 결정 그레인(crystal grain)이 서로 만나 형성된 응집 결정을 포함하는 유기반도체 박막을 제조하는 단계;를 포함하는 가스센서의 제조방법이고,단계 (c)에서 다수의 상기 결정 그레인(crystal grain)이 서로 만나 형성된 계면이 결정립계(grain boundary)를 형성하고,단계 (a)의 결정핵의 개수가 증가함에 따라 상기 단계 (c)의 응집 결정 내부의 결정 그레인의 크기(grain size)가 감소하고,단계 (a)의 결정핵의 개수가 증가함에 따라 상기 단계 (c)의 응집 결정 내부의 결정립계(grain boundary)의 밀도가 증가하고,상기 결정립계(grain boundary)는 가스 분자의 확산경로 역할을 하고,단계 (a)의 교반하는 시간이 12시간 이상이고,단계 (a)의 교반이 무산소의 어두운 조건에서 수행되고,단계 (a)의 교반의 속도가 500rpm이고,단계 (a)의 상기 용액의 용매가 톨루엔을 포함하고,단계 (c)의 유기반도체 박막의 상기 결정 그레인(crystal grain)의 크기가 200 μm 미만이고,상기 유기반도체 화합물이 트리에틸실릴에티닐 안트라디티오펜(TES-ADT)을 포함하고,상기 가스센서는 이산화질소(NO2)를 감지하기 위한 것인 가스 센서의 제조방법
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제1항에 있어서,단계 (c)의 용매 증기가 디클로로에탄(1,2-dichloroethane), 톨루엔, 벤젠, 디클로로메탄, 클로로벤젠 및 클로로포름 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 센서의 제조방법
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제14항에 있어서,상기 용매 증기가 디클로로에탄(1,2-dichloroethane)을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 센서의 제조방법
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