| 1 |
1
열진공 시험실에 설치된 열진공 챔버의 내부에서 외부까지 이어진 레일 상에서 슬라이딩 이동할 수 있는 이송용 대차;상기 이송용 대차 위에 배치되며, 공기 주입 호스를 통해 전달받은 공기를 분출하는 복수 개의 공기 분출구를 포함하여, 광학 벤치를 띄워 올릴 수 있는 에어 패드; 상기 광학 벤치의 기울어짐을 감지할 수 있는 센싱 장치; 및상기 센싱 장치로부터 신호를 수신하여 상기 공기 분출구의 공기 분사 세기를 조절하는 제어 장치;를 포함하고, 상기 센싱 장치는, 상기 광학 벤치 상에 배치되는 기울기 센서를 포함하는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 센싱 장치는, 상기 이송용 대차 상에 배치되어 상기 광학 벤치와 상기 에어 패드의 거리를 감지할 수 있는 거리 측정 센서를 포함하는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치
|
| 4 |
4
제3항에 있어서, 상기 제어 장치는, 상기 광학 벤치를 상승시킬 때, 상기 거리 측정 센서로부터 측정된 거리가 기정된 값에 이를 때까지 상기 공기 분출구의 공기 분사 세기를 증가시키는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치
|
| 5 |
5
제3항에 있어서, 상기 제어 장치는, 상기 거리 측정 센서로부터 측정된 거리가 기정된 값에 이른 시점의 상기 공기 분출구의 공기 분사 세기를 유지하는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 상기 제어 장치는, 상기 공기 분출구에 연결된 제어 밸브를 통해 상기 복수 개의 공기 분출구의 공기 분사 세기를 조절하여, 상기 광학 벤치의 롤링(rolling)과 피칭(pitching)을 조절하여 상기 광학 벤치의 수평을 맞추는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치
|
| 7 |
7
열진공 시험실에 설치된 열진공 챔버의 내부에서 외부까지 이어진 레일;상기 레일 상에서 슬라이딩 이동할 수 있는 이송용 대차;상기 이송용 대차 위에 배치되며, 공기 주입 호스를 통해 전달받은 공기를 분출하는 복수 개의 공기 분출구를 포함하여, 광학 벤치를 띄워 올릴 수 있는 에어 패드;상기 광학 벤치의 기울어짐을 감지할 수 있는 센싱 장치;상기 센싱 장치로부터 신호를 수신하여 상기 공기 분출구의 공기 분사 세기를 조절하는 제어 장치;상기 레일 바깥에 배치되고, 상기 열진공 챔버 외부에 배치되어 상기 광학 벤치가 상기 열진공 챔버 외부에 위치할 때 상기 광학 벤치를 지지할 수 있는 복수 개의 플로어 포스트; 및상기 레일 바깥에 배치되고, 상기 열진공 챔버 내부에 배치되어 상기 광학 벤치가 상기 열진공 챔버 내부에 위치할 때 상기 광학 벤치를 지지할 수 있는 복수 개의 챔버 포스트;를 포함하고, 상기 센싱 장치는, 상기 광학 벤치 상에 배치되는 기울기 센서를 포함하는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 시스템
|
