| 1 |
1
열진공 시험실에 설치된 열진공 챔버의 내부에서 외부까지 이어진 레일;상기 레일 상에서 슬라이딩 이동할 수 있는 이송용 대차;상기 이송용 대차 위에 배치되며, 공기 주입 호스를 통해 전달받은 공기를 분출하는 복수 개의 공기 분출구를 포함하여, 광학 벤치를 띄워 올릴 수 있는 에어 패드;상기 공기 분출구의 공기 분사 세기를 조절하는 제어 장치; 상기 레일 바깥에 배치되고, 상기 열진공 챔버 외부에 배치되어 상기 광학 벤치가 상기 열진공 챔버 외부에 위치할 때 상기 광학 벤치를 지지할 수 있는 복수 개의 플로어 포스트; 및상기 레일 바깥에 배치되고, 상기 열진공 챔버 내부에 배치되어 상기 광학 벤치가 상기 열진공 챔버 내부에 위치할 때 상기 광학 벤치를 지지할 수 있는 복수 개의 챔버 포스트;를 포함하고, 상기 에어 패드의 윗면의 높이는, 상기 플로어 포스트 및 상기 챔버 포스트의 윗면의 높이보다 낮은, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 시스템
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 에어 패드는, 상기 광학 벤치를 상기 플로어 포스트 및 상기 챔버 포스트의 윗면의 높이보다 높게 띄울 수 있는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 시스템
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 제어 장치는, 상기 광학 벤치의 이송 시에는 상기 공기 분출구의 공기 분사 세기를 증가시켜 상기 광학 벤치를 띄우고, 상기 광학 벤치를 상기 플로어 포스트 또는 상기 챔버 포스트에 안착시킬 때는 상기 공기 분출구의 공기 분사 세기를 감소시키는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 시스템
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 레일은, 상기 열진공 챔버의 입구를 경계로 분리될 수 있는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 시스템
|
| 6 |
6
열진공 시험실에 설치된 열진공 챔버의 내부에서 외부까지 이어진 레일 상에서 슬라이딩 이동할 수 있는 이송용 대차;상기 이송용 대차 위에 배치되며, 공기 주입 호스를 통해 전달받은 공기를 분출하는 복수 개의 공기 분출구를 포함하여, 광학 벤치를 띄워 올릴 수 있는 에어 패드; 및상기 공기 분출구의 공기 분사 세기를 조절하는 제어 장치;를 포함하고, 상기 에어 패드는, 적어도 상기 이송용 대차의 양단에 각각 하나씩 배치되는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치
|
| 7 |
7
제6항에 있어서, 상기 이송용 대차는 일단에서 수직으로 돌출된 손잡이를 포함하는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치
|
| 8 |
8
삭제
|
| 9 |
9
제6항에 있어서, 상기 공기 주입 호스는 상기 이송용 대차 내부에 삽입되는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치
|
| 10 |
10
제6항에 있어서, 상기 제어 장치는, 상기 복수 개의 공기 분출구의 공기 분사 세기를 다르게 조절하여 상기 광학 벤치의 수평을 맞출 수 있는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치
|
